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金属学报  1999, Vol. 35 Issue (6): 654-658     
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不锈钢表面沉积SiC作为氢渗透阻挡层的研究
王佩璇 王宇 史宝贵
北京科技大学材料物理系;北京 100083
引用本文:

王佩璇; 王宇; 史宝贵 . 不锈钢表面沉积SiC作为氢渗透阻挡层的研究[J]. 金属学报, 1999, 35(6): 654-658 .

全文: PDF(341 KB)  
摘要: 在316L不锈钢片表面上用离子束辅助沉积(IBAD)和溅射沉积加上离子注入方法制备Si-C薄膜, 测量氚通过钢片的渗透率, 并用XPS, AES, XRD及TEM等分析薄膜的成分和结构, 结果表明, 改性膜使不锈钢的氚渗透降低近5个数量级, 随着制备条件的汪同, 膜中的C/Si原子比不同, 用双靶(Si, C)加C离子轰击的IBAD方法可得到的较高的C/Si比.
关键词 碳化硅渗透不锈钢IBAD氢渗透阻挡层    
Key words
收稿日期: 1998-03-18     
ZTFLH:  TG174.453  
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