金属学报  1993, Vol. 29 Issue (4): 81-84

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Ti对磁控溅射不锈钢薄膜结构的影响

杨德钧;周虹辉;李辉勤

北京科技科技大学腐蚀工程系;教授;北京100083;北京科技大学;北京科技大学

EFFECT OF Ti ON MICROSTRUCTURE OF STEEL 321 FILM SYNTHESIZED BY MAGNETRON SPUTTERING DEPOSITION

YANG Dejun;ZHOU Honghui;LI Huiqin University of Science and Technology Beijing professor;Department of Corrosion Engineering; University of Science and Technology Beijing; Beijing 100083

杨德钧;周虹辉;李辉勤. Ti对磁控溅射不锈钢薄膜结构的影响[J]. 金属学报, 1993, 29(4): 81-84.
, , . EFFECT OF Ti ON MICROSTRUCTURE OF STEEL 321 FILM SYNTHESIZED BY MAGNETRON SPUTTERING DEPOSITION[J]. Acta Metall Sin, 1993, 29(4): 81-84.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(589 KB)   摘要: 研究了磁控溅射321不锈钢薄膜内Ti对膜结构由晶态向非晶态转化的影响用X射线衍射分析了膜的结构,结果表明,膜的结构随含Ti量不同而有变化在Ti含量(wt-％)为0—3,3—10,10-18,18-30时,膜的结构分别为α-Fe,α-Fe+x相,非晶+微晶,非晶态 关键词 ： 磁控溅射,  薄膜,  321不锈钢,  Ti     Abstract：Effect of increasing content of Ti on the crystalline to amorphous transition inalloy films of stainless steel 321 plus Ti synthesized by high rate magnetron sputtering deposi-tion is reported. X-ray diffraction analysis revealed that the microstructure of film issequently changed from α-Fe, α-Fe+x-phase, microcrystalline-amorphous into amorphouswith increasing content of Ti from 0-3, 3-10, 10-18 to 18-30wt-% respectively. Key words： magnetron sputtering    stainless steel film    Ti    microstructure 收稿日期: 1993-04-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 杨德钧 周虹辉 李辉勤 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1993/V29/I4/81 1 单大勇.北京科技大学硕士学位论文,1989 2 Dahlgren S D. Metall Trans, 1970; 1: 2095 3 Andrews K W. Nature, 1949: 164: 1015 4 Hughes H, Llewelyn, D. J Iron Steel Inst, 1959; 192: 170 5 Brimhall J L. Charlot L A, Kissinger H E. J Mater Sci, 1982; 17: 1149 6 王一禾,杨膺善主编,非晶态合金,北京:冶金工业出版社,1989 7 戴道生,韩汝琪编.非晶态物理.北京:电子工业出版社,1989 8 Wang Rong. In: Bennett L ed., Theory of Alloy Phase Formation, New York: AIME, 1980: P472 9 Wang Rong, J Mater Sci, 1982; 17: 1142 [1] 冯艾寒, 陈强, 王剑, 王皞, 曲寿江, 陈道伦. 低密度Ti2AlNb基合金热轧板微观组织的热稳定性[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 777-786. [2] 张东阳, 张钧, 李述军, 任德春, 马英杰, 杨锐. 热处理对选区激光熔化Ti55531合金多孔材料力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 647-656. [3] 黄鼎, 乔岩欣, 杨兰兰, 王金龙, 陈明辉, 朱圣龙, 王福会. 基体表面喷丸处理对纳米晶涂层循环氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 668-678. [4] 许林杰, 刘徽, 任玲, 杨柯. Cu对Ni-Ti合金抗支架内再狭窄与耐蚀性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 577-584. [5] 王虎, 赵琳, 彭云, 蔡啸涛, 田志凌. 激光熔化沉积TiB2 增强TiAl基合金涂层的组织及力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 226-236. [6] 朱智浩, 陈志鹏, 刘田雨, 张爽, 董闯, 王清. 基于不同 α / β 团簇式比例的Ti-Al-V合金的铸态组织和力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1581-1589. [7] 姜江, 郝世杰, 姜大强, 郭方敏, 任洋, 崔立山. NiTi-Nb原位复合材料的准线性超弹性变形[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1419-1427. [8] 高晗, 刘力, 周笑宇, 周心怡, 蔡汶君, 周泓伶. Ti6Al4V表面微纳结构的制备及生物活性[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1466-1474. [9] 李小兵, 潜坤, 舒磊, 张孟殊, 张金虎, 陈波, 刘奎. W含量对Ti-42Al-5Mn-xW合金相转变行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(10): 1401-1410. [10] 杨超, 卢海洲, 马宏伟, 蔡潍锶. 选区激光熔化NiTi形状记忆合金研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 55-74. [11] 卢海飞, 吕继铭, 罗开玉, 鲁金忠. 激光热力交互增材制造Ti6Al4V合金的组织及力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 125-135. [12] 孙腾腾, 王洪泽, 吴一, 汪明亮, 王浩伟. 原位自生2%TiB2 颗粒对2024Al增材制造合金组织和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 169-179. [13] 陈斐, 邱鹏程, 刘洋, 孙兵兵, 赵海生, 沈强. 原位激光定向能量沉积NiTi形状记忆合金的微观结构和力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 180-190. [14] 高栋, 周宇, 于泽, 桑宝光. 液氮温度下纯Ti动态塑性变形中的孪晶变体选择[J]. 金属学报, 2022, 58(9): 1141-1149. [15] 梁琛, 王小娟, 王海鹏. 快速凝固Ti-Al-Nb合金B2相形成机制与显微力学性能[J]. 金属学报, 2022, 58(9): 1169-1178. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed