金属学报  2008, Vol. 44 Issue (9): 1099-1104

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铝膜电导率尺寸效应对其微波性能的影响

刘志敏;杜昊;石南林;闻立时

中国科学院金属研究所材料表面工程研究部

The influence of size effect of conductivity on the microwave absorption properties of thin Al films

terry liau;Hao Du;;;;Li-shi WEN

中科院金属所

刘志敏; 杜昊; 石南林; 闻立时 . 铝膜电导率尺寸效应对其微波性能的影响[J]. 金属学报, 2008, 44(9): 1099-1104 .
, , , . The influence of size effect of conductivity on the microwave absorption properties of thin Al films[J]. Acta Metall Sin, 2008, 44(9): 1099-1104 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1850 KB)   摘要: 采用中频磁控溅射法制备不同厚度的Al膜。利用直线型四探针法测量不同厚度Al膜的电导率，研究薄膜直流电导率随厚度的变化关系（尺寸效应）；并利用网络矢量分析仪测量Al膜与FR4-epoxy环氧树脂玻璃板复合结构微波吸收率，研究电导率尺寸效应对Al膜微波吸收性能的影响。实验结果表明：薄膜厚度对金属Al膜的电导率产生主要影响；在Al膜和FR4-epoxy环氧树脂玻璃板复合结构中，Al膜电导率变化对复合结构的最大吸收峰值以及吸收峰值对应的Al膜厚度会产生显著影响。实验结果利用传输矩阵方法计算得到了验证。 关键词 ： 铝膜,  电导率,  尺寸效应,  微波吸收率     Abstract：Thin Aluminum films with different thickness were deposited on PET substrate by Mid-frequency Magnetron Sputtering (MFMS). The DC conductivity of these thin films was measured using linear four probe method. The microwave absorption properties of the Al-FR4 epoxy layered structure were characterized by vector network analyzer. The results indicated that the size effect on conductivity have a pronounced influence on microwave absorption properties of the thin aluminum film, which were verified by theoretical calculation with transfer matrix method. Key words： aluminum films    size effect    microwave absorption    transfer matrix method 收稿日期: 2007-12-17      ZTFLH:  O484.5   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 刘志敏 杜昊 石南林 闻立时 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y2008/V44/I9/1099 [1]Born M,Wolf E.Principles of Optics.Oxford:Pergamon Press,1983:612 [2]Kong J A.Electromagnetic Wave Theory.Cambridge, MA:EMW Publishing,2005:181 [3]Bosman H L,Lau Y Y,Gilgenbach R M.Appl Phys Lett, 2003;82:1353 [4]Bosman H L,Lau Y Y,Gilgenbach R M.IEEE Trans Plasma Sci,2004;32:1292 [5]Chambers B,Tennant A.Electron Lett,1994;30:1797 [6]Chambers B.Electron Lett,1994;30:1626 [7]Eriksson A,Deleniv A,Gevorgian S.2002 IEEE MTTS International Microwave Symposium Digest,Vol.3,Seat- tle,WA,MTT-S,2002:2009 [8]Fuchs K.Proc Cambridge Philas Soc,1938;34:100 [9]Sondheimer E H.Adv Phys,1952;1:1 [10]Softer S B.J Appl Phys,1967;38:1710 [11]Namba Y.Jpn J Appl Phys,1970;9:1326 [12]Govindaxaj G,Devanathan V.Phys Rev,1986;34B:5904 [13]Trivedi N,Ashcroft N W.Phys Rev,1988;38B:12298 [14]Makarov N M,Moroz A V,Yampolskii V A.Phys Rev, 1995;52B:6087 [15]Ashcroft N W,Mermin N D.Solid State Physics.New York:Brooks/Cole,1976:350 [16]Mayadas A F,Shatzkes M,Janak J F.Phys Rev,1970; 1B:1382 [17]Pozar D M.Microwave Engineering.3rd ed.,New York: Wiley,2005:51 [18]Lee M-H J,Collier R J.Microelectron Eng,2004;73-74: 916 [19]Kittel C.Introduction to Solid State Physics.New York: Wiley,2004:213 [20]Ramo S,Whinnery J R,Duzer T V.Fields and Waves in Communication Electronics.3rd ed.,New York:Wiley, 1994:290 [21]Shavit R,Smolski A P,Michielssen E,Mitta R.IEEE Trans Antennas Propag,1992;40:126 [22]Misran N,Cahill R,Fusco V F.Electron Lett,2003;39: 1628 [23]Frenkel A.Electron Lett,2001;37:1374 [24]Matsumoto M,Miyata Y.IEEE Trans Magn,1997;33: 4459 [1] 侯娟, 代斌斌, 闵师领, 刘慧, 蒋梦蕾, 杨帆. 尺寸设计对选区激光熔化304L不锈钢显微组织与性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 623-635. [2] 赵亚峰, 刘苏杰, 陈云, 马会, 马广财, 郭翼. 铁素体-贝氏体双相钢韧性断裂过程中的夹杂物临界尺寸及孔洞生长[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 611-622. [3] 李斗, 徐长江, 李旭光, 李双明, 钟宏. La掺杂P型CeyFe3CoSb12 热电材料及涂层的热电性能[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 237-247. [4] 于少霞, 王麒, 邓想涛, 王昭东. GH3600镍基高温合金极薄带的制备及尺寸效应[J]. 金属学报, 2023, 59(10): 1365-1375. [5] 屈瑞涛, 王晓地, 吴少杰, 张哲峰. 金属玻璃的剪切带变形与断裂机制研究进展[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 453-472. [6] 曹庆平, 吕林波, 王晓东, 蒋建中. 物理气相沉积制备金属玻璃薄膜及其力学性能的样品尺寸效应[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 473-490. [7] 崔洋, 李寿航, 应韬, 鲍华, 曾小勤. 基于第一性原理的金属导热性能研究[J]. 金属学报, 2021, 57(3): 375-384. [8] 王霞, 王维, 杨光, 王超, 任宇航. 激光沉积薄壁结构热力演化的尺寸效应[J]. 金属学报, 2020, 56(5): 745-752. [9] 宋贵宏,李贵鹏,刘倩男,杜昊,胡方. 溅射沉积Mg2(Sn, Si)薄膜组织结构与导电性能[J]. 金属学报, 2019, 55(11): 1469-1476. [10] 张广平, 陈红蕾, 罗雪梅, 张滨. 微纳米尺度金属导电材料热疲劳研究进展[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 357-366. [11] 马也飞, 宋竹满, 张思倩, 陈立佳, 张广平. 小尺度CA6NM马氏体不锈钢样品疲劳性能评价研究[J]. 金属学报, 2018, 54(10): 1359-1367. [12] 杨蕊,潘艳,陈威,孙巧艳,肖林,孙军. 微尺度Ti-10V-2Fe-3Al单晶压缩变形行为及其微观机制*[J]. 金属学报, 2016, 52(2): 135-142. [13] 孙军, 张金钰, 吴凯, 刘刚. Cu系纳米金属多层膜微柱体的形变与损伤及其尺寸效应*[J]. 金属学报, 2016, 52(10): 1249-1258. [14] 黄晓旭. 金属强度的尺寸效应*[J]. 金属学报, 2014, 50(2): 137-140. [15] 张金钰, 刘刚, 孙军. 纳米金属多层膜的变形与断裂行为及其尺寸效应*[J]. 金属学报, 2014, 50(2): 169-182. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed