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金属学报  2004, Vol. 40 Issue (8): 791-794     
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利用Ni催化型探测器测量原子氧密度
多树旺; 李美栓
(中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室; 沈阳 110016)
MEASUREMENT OF ATOMIC OXYGEN DENSITY BY A Ni CATALYTIC PROBE
Duo Shuwang;LiMeishuan
引用本文:

多树旺; 李美栓 . 利用Ni催化型探测器测量原子氧密度[J]. 金属学报, 2004, 40(8): 791-794 .
, . MEASUREMENT OF ATOMIC OXYGEN DENSITY BY A Ni CATALYTIC PROBE[J]. Acta Metall Sin, 2004, 40(8): 791-794 .

全文: PDF(167 KB)  
摘要: 利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度. 原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的. 纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30min, 使其表面充分活化形成一层NiO. 探测器活化后测量其在不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化. 发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关. 当气压从10-3 Pa—10-2 Pa之间变化时原子氧密度在10-16—10-17/m3之间变化. 采用聚酰亚胺侵蚀法测得的原子氧密度与Ni探测器确定的基本一致.
关键词 原子氧Ni探测器    
Key words
收稿日期: 1900-01-01     
ZTFLH:  TG216.5  
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