Please wait a minute...
金属学报  2002, Vol. 38 Issue (6): 652-656     
  论文 本期目录 | 过刊浏览 |
脉冲高能量密度等离子体表面改性AlN膜的形成和结构
吴杏芳  韦鲲  单小鸥  杨思泽
北京科技大学材料物理系;北京100083
引用本文:

吴杏芳; 韦鲲; 单小鸥; 杨思泽 . 脉冲高能量密度等离子体表面改性AlN膜的形成和结构[J]. 金属学报, 2002, 38(6): 652-656 .

全文: PDF(157 KB)  
摘要: 利用脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)表面改性技术,在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜.采用XRD,XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构.研究表明,改性膜是由10 nm尺寸的AlN相组成,AlN相结构随基体的结构而异,在具有面心立方结构的基体上,形成具有面心立方结构的c-AlN相,而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相.从热力学角度,讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性.
关键词 脉冲高能量密度等离子体立方AlN六方AlN    
Key words
收稿日期: 2002-04-09     
ZTFLH:  TG17  
[1] Yan P X, Yang S Z, Li B, Chen X S. Phy Stat Sol(A),1994; 145: k29
[2] Wei K, Wu X F, Yang S Z, Li B. Mater Sci Eng, 1998;A254:129
[3] Fu Y, Wu X F, Wang Y, Li B, Yang S Z. Appl Surf Sci,2000; 157: 167
[4] Yan P X, Yang S Z, Chen X S. Acta Metall Sin (Englishlett), 1994; 11: 24
[5] Wei k, Wu X F, Fu Y. J Mater Sci, 1999; 34: 4633
[6] Yan P X, Yang S Z. Chin Phys Lett, 1994; 11: 558
[7] Briggs D, Seah M P. Practical Surface Analysis-Auger andX-ray Photoelectronscopy. Wiley: Chichester, 1990:1
[8]Wills D A, Xu X F, Poon G C, Tam A C. Opt Eng, 1998;37:1033
[9]Pauling G, Thorpe S J, Aust K T. Scr Metall Mater, 1990;24: 1347
[10]Chritensen N E, Goreczya L. Phys Rev B, 1993; 47: 4307
[11]Wang J, Wang W L, Ding P D, Yang Y X, Fang L, EsteveJ, Polo M C, Sanchez G. Diamond Relat Mater, 1999; 8:1342
[1] 徐文国, 郝文江, 李应举, 赵庆彬, 卢炳聿, 郭和一, 刘天宇, 冯小辉, 杨院生. 微量AlTiInconel 690合金高温氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1547-1558.
[2] 胡文滨, 张晓雯, 宋龙飞, 廖伯凯, 万闪, 康磊, 郭兴蓬. 共晶高熵合金AlCoCrFeNi2.1H2SO4 溶液中的腐蚀行为[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1644-1654.
[3] 张伟东, 崔宇, 刘莉, 王文泉, 刘叡, 李蕊, 王福会. 600℃ NaCl盐雾环境下GH4169合金的腐蚀行为[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1475-1486.
[4] 宋嘉良, 江紫雪, 易盼, 陈俊航, 李曌亮, 骆鸿, 董超芳, 肖葵. 高铁转向架用钢G390NH在模拟海洋和工业大气环境下的腐蚀行为及产物演化规律[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1487-1498.
[5] 高晗, 刘力, 周笑宇, 周心怡, 蔡汶君, 周泓伶. Ti6Al4V表面微纳结构的制备及生物活性[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1466-1474.
[6] 王海峰, 张志明, 牛云松, 杨延格, 董志宏, 朱圣龙, 于良民, 王福会. 前置渗氧对TC4钛合金低温等离子复合渗层微观结构和耐磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(10): 1355-1364.
[7] 宋昱杉 刘叡 崔宇 刘莉 王福会. 静水压力和拉伸应力交互作用下Ni-Cr-Mo-V钢应力腐蚀行为研究[J]. 金属学报, 0, (): 0-0.
[8] 李小涵, 曹公望, 郭明晓, 彭云超, 马凯军, 王振尧. 低碳钢Q235、管线钢L415和压力容器钢16MnNi在湛江高湿高辐照海洋工业大气环境下的初期腐蚀行为[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 884-892.
[9] 袁江淮, 王振玉, 马冠水, 周广学, 程晓英, 汪爱英. Cr2AlC涂层相结构演变对力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 961-968.
[10] 陈润农, 李昭东, 曹燕光, 张启富, 李晓刚. 9%Cr合金钢在含Cl环境中的初期腐蚀行为及局部腐蚀起源[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 926-938.
[11] 司永礼, 薛金涛, 王幸福, 梁驹华, 史子木, 韩福生. Cr添加对孪生诱发塑性钢腐蚀行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 905-914.
[12] 赵平平, 宋影伟, 董凯辉, 韩恩厚. 不同离子对TC4钛合金电化学腐蚀行为的协同作用机制[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 939-946.
[13] 李谦, 刘凯, 赵天亮. 弹性拉应力下Q235碳钢在5%NaCl盐雾中的成锈行为及其机理[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 829-840.
[14] 王慕亮 孙玉朋 陈磊 魏洁 董俊华. 含Cr耐蚀钢筋在模拟高碱性混凝土孔隙液中的钝化行为研究[J]. 金属学报, 0, (): 0-0.
[15] 黄鼎, 乔岩欣, 杨兰兰, 王金龙, 陈明辉, 朱圣龙, 王福会. 基体表面喷丸处理对纳米晶涂层循环氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 668-678.