金属学报  1988, Vol. 24 Issue (6): 443-446

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Ni基体磁控溅射离子镀Al膜的电镜观察

万立骏;陈宝清;郭可信

大连海运学院材料工艺研究所;大连工学院;中国科学院金属研究所

TEM OBSERVATION OF ION-PLATED Al FILM ON Ni SUBSTRATE

WAN Lijun;CHEN Baoqing;GUO Kexin Dalian Maritime University Dalian Institute of Technology K. H. Kuo Institute of Metal Research; Academia Sinica; Shenyang

万立骏;陈宝清;郭可信. Ni基体磁控溅射离子镀Al膜的电镜观察[J]. 金属学报, 1988, 24(6): 443-446.
, , . TEM OBSERVATION OF ION-PLATED Al FILM ON Ni SUBSTRATE[J]. Acta Metall Sin, 1988, 24(6): 443-446.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1135 KB)   摘要: 利用横截面电镜样品,对Ni基体磁控溅射离子镀Al膜进行了透射电镜观察。研究了不同工艺条件下镀膜的组织形态,相结构以及相分布。镀覆5min时,在Ni基体和镀Al膜交界处,发现一个Al-Ni系中迄今未见报道的未知相。经电子衍射分析其为体心四方点阵,a=b=0.588nm,c=0.480nm。研究了随时间变化的镀膜组织结构变化情况。 关键词 ： 磁控溅射,  离子镀,  微观结构,  镀膜     Abstract：A new phase is found at the interface between Al film and Ni substrate when thetime of ion-plating has come to 5 min. And it is identified to be body centered tetragonal latticewith the constants a=b=0.588 nm, c=0.480 nm. The varieties of the microstractures and phases withthe ion-plating time are observed. Based on these results, the ion-plating film formation mechanismis also discussed. Key words： magentron sputtering    ion-plating    microstructure    plated film 收稿日期: 1988-06-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 万立骏 陈宝清 郭可信 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1988/V24/I6/443 1 Mattox D M, McDonald J E. J Appl Phys, 1963; 34: 2493 2 Mattox D M. Electronchem Technol, 1964; 9: 295 3 山中久彦,纲沢栄二,金属材料;1977;17:85 4 郭可信,叶恒强,吴玉琨.电子衍射图,科学出版社,1983:241 [1] 张德印, 郝旭, 贾宝瑞, 吴昊阳, 秦明礼, 曲选辉. Y2O3 含量对燃烧合成Fe-Y2O3 纳米复合粉末性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 757-766. [2] 刘满平, 薛周磊, 彭振, 陈昱林, 丁立鹏, 贾志宏. 后时效对超细晶6061铝合金微观结构与力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 657-667. [3] 黄鼎, 乔岩欣, 杨兰兰, 王金龙, 陈明辉, 朱圣龙, 王福会. 基体表面喷丸处理对纳米晶涂层循环氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 668-678. [4] 杨超, 卢海洲, 马宏伟, 蔡潍锶. 选区激光熔化NiTi形状记忆合金研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 55-74. [5] 解磊鹏, 孙文瑶, 陈明辉, 王金龙, 王福会. 制备工艺对FGH4097高温合金微观组织与性能的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(8): 992-1002. [6] 李金富, 李伟. 铝基非晶合金的结构与非晶形成能力[J]. 金属学报, 2022, 58(4): 457-472. [7] 张显程, 张勇, 李晓, 王梓萌, 贺琛贇, 陆体文, 王晓坤, 贾云飞, 涂善东. 异构金属材料的设计与制造[J]. 金属学报, 2022, 58(11): 1399-1415. [8] 马敏静, 屈银虎, 王哲, 王军, 杜丹. Ag-CuO触点材料侵蚀过程的演化动力学及力学性能[J]. 金属学报, 2022, 58(10): 1305-1315. [9] 刘冠熙, 黄光宏, 罗学昆, 申造宇, 何利民, 李建平, 牟仁德. 表面喷丸处理对NiCrAlYSi涂层恒温氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 684-692. [10] 王洪伟, 何竹风, 贾楠. 非均匀组织FeMnCoCr高熵合金的微观结构和力学性能[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 632-640. [11] 曹庆平, 吕林波, 王晓东, 蒋建中. 物理气相沉积制备金属玻璃薄膜及其力学性能的样品尺寸效应[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 473-490. [12] 潘杰, 段峰辉. 非晶合金的回春行为[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 439-452. [13] 李宁, 黄信. 块体非晶合金的3D打印成形研究进展[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 529-541. [14] 周丽, 李明, 王全兆, 崔超, 肖伯律, 马宗义. 31%B4Cp/6061Al复合材料的热变形及加工图的研究[J]. 金属学报, 2020, 56(8): 1155-1164. [15] 刘艳梅, 王铁钢, 郭玉垚, 柯培玲, 蒙德强, 张纪福. Ti-B-N纳米复合涂层的设计、制备及性能[J]. 金属学报, 2020, 56(11): 1521-1529. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed