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金属学报  1996, Vol. 32 Issue (11): 1209-1214    
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Co/Ti非晶多层膜晶化过程中结构及磁性的变化
吴萍;姜恩永;刘裕光;王存达
天津大学;天津大学应用物理系
EVOLUTION OF STRUCTURE AND MAGNETIC PROPERTIES DURING CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS Co/Ti MULTILAYER FILMS
WU Ping; JIANG Enyong; LIU Yuguang; WANG Cunda(Tianjin University; Tianjin 300072)
引用本文:

吴萍;姜恩永;刘裕光;王存达. Co/Ti非晶多层膜晶化过程中结构及磁性的变化[J]. 金属学报, 1996, 32(11): 1209-1214.
, , , . EVOLUTION OF STRUCTURE AND MAGNETIC PROPERTIES DURING CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS Co/Ti MULTILAYER FILMS[J]. Acta Metall Sin, 1996, 32(11): 1209-1214.

全文: PDF(495 KB)  
摘要: 利用双对向靶溅射方法在室温下制备Co/Ti非晶多层膜,并采用原位退火透射电镜和原位热重法,观测了Co/Ti多层膜结构与磁性随温度的变化,结果表明:退火温度ta为400℃时,薄膜开始晶化,Co,Ti颗粒析出并粗化;ta>600℃时,具有铁磁性的Co单质完全消失,全部转化为Co2Ti相.热磁测量在390及520℃附近出现了两个明显的磁性转变峰,与薄膜结构变化对应.适当温度(400—520℃)的退火可获得高饱和磁化强度的Co-Ti颗粒膜.
关键词 Co/Ti多层膜非晶晶化饱和磁化强度    
Abstract:The Co / Ti multilayer thin films with an amorphous microstructure are prepared by dual facing target sputtering (DFTS) at room temperature. The evolution of the microstructure and magnetization in Co / Ti multilayer thin film during annealing has been investigated by in situ saturation magnetization measurements and the conventional transmission electron microscopy (TEM). Annealing results showed that crystalline Ti precipitated at 400℃ and Co at 500℃. Increasing temperature resulted in the coarsening of Co precipitates and the simultaneous growth of Ti grains. At temperature of about 600℃, Co phase disappeared and Co2Ti phase formed. The thermal magnetic measurement result also shows two clear magnetic changes at 390 and 520℃ respectively, corresponding to the changes in the microstructure of the film. The Co-Ti magnetic granular films can be obtained by annealing at moderate temperature. Correspondent: WU Ping, Department of Applied Physics, Tianjin University, Tianjin 300072
Key words Co / Ti multilayer film    amorphous    crystallization    saturation magnetization
收稿日期: 1996-11-18     
基金资助:国家自然科学基金;;北京中关村地区联合测试中心基金
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