金属学报  1996, Vol. 32 Issue (3): 308-312

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超薄铝膜电导特性的原位测量研究

唐兆麟;黄荣芳;闻立时

中国科学院金属研究所

IN SITU MEASUREMENT OF ELECTRIC CONDUCTIVITY OF ULTRA THIN Al FILM

TANG Zhaolin; HUANG Rongfang; WEN Lishi(Institute of Metal Research;Chinese Academy of Sciences; Shenyang 110015) (Manuscript received 1995-05-04; in revised form 1995-08- 15)

唐兆麟;黄荣芳;闻立时. 超薄铝膜电导特性的原位测量研究[J]. 金属学报, 1996, 32(3): 308-312.
, , . IN SITU MEASUREMENT OF ELECTRIC CONDUCTIVITY OF ULTRA THIN Al FILM[J]. Acta Metall Sin, 1996, 32(3): 308-312.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(350 KB)   摘要: 在真空室内原位测量了磁控溅射超薄铝膜的电阻率和薄膜厚度之间的关系以及各种工艺参数对其影响，薄膜的不同厚度阶段，具有不同的导电特性。分析表明：表面和晶界对传导电子的散射是构成薄膜电阻率尺寸效应的原因． 关键词 ： 超薄膜,  电导率,  尺寸效应     Abstract：The electric conductivity of sputtered ultrathin Al films as a function of thickness has been measured in situ during vacuum deposition process. At different stages of growth, the films have the different electric conductivity characteristics. Therotical analysis showed that surface scattering and grain boundary scattering played a main role in size effect of resistivity. Correspondent: TANG Zhaolin, Institute of Corrosion and Protection of Metals, Chinese Academy of Scicnces,Shenyang 110015 Key words： ultrathin film    electric conductivity    size effect 收稿日期: 1996-03-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 唐兆麟 黄荣芳 闻立时 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1996/V32/I3/308 1SondheimerEH．AdvPhys,1952;1:12MayadasAF,ShatzkesM．PhysRev,1970;B1:13823TesanovicZ,JaricMV,MackawaS．PhyRevLett,1986;57:27684TrivediN,AshcronftNW．PhysRev,1988;B38:2985FichmanG,ColeckiD．PhysRevLett,1989;62:13026ShenggL,ShengL,XingDY,WangZD．PhysRev,1995;B51:73257KadereitHG．ThinSolidFilm,1971;1:1098FridrichJ．ThinSoidFilm,1971;7:2179MinnSS,RechJ．CentrNatlResSciLab,(BellevueParis)1960:5110VansteenselK．PhillipsResRep,1967;22:24611NeugebauerA,WebbMB．JApplPhys,1962;33:7412ShengP,AbelesB,ArieY．PhysReyLett,1973:31:4413ShengP．PhilosMag,1992:B65:35714HolwechI,JeppesenJ．PhilosMag,1967;15:21715WenLS,HuangRF,GuoLP,WeiTY,ChuangYZ．JMagnMagnMater1993;126:200 [1] 侯娟, 代斌斌, 闵师领, 刘慧, 蒋梦蕾, 杨帆. 尺寸设计对选区激光熔化304L不锈钢显微组织与性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 623-635. [2] 赵亚峰, 刘苏杰, 陈云, 马会, 马广财, 郭翼. 铁素体-贝氏体双相钢韧性断裂过程中的夹杂物临界尺寸及孔洞生长[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 611-622. [3] 李斗, 徐长江, 李旭光, 李双明, 钟宏. La掺杂P型CeyFe3CoSb12 热电材料及涂层的热电性能[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 237-247. [4] 于少霞, 王麒, 邓想涛, 王昭东. GH3600镍基高温合金极薄带的制备及尺寸效应[J]. 金属学报, 2023, 59(10): 1365-1375. [5] 曹庆平, 吕林波, 王晓东, 蒋建中. 物理气相沉积制备金属玻璃薄膜及其力学性能的样品尺寸效应[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 473-490. [6] 屈瑞涛, 王晓地, 吴少杰, 张哲峰. 金属玻璃的剪切带变形与断裂机制研究进展[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 453-472. [7] 崔洋, 李寿航, 应韬, 鲍华, 曾小勤. 基于第一性原理的金属导热性能研究[J]. 金属学报, 2021, 57(3): 375-384. [8] 王霞, 王维, 杨光, 王超, 任宇航. 激光沉积薄壁结构热力演化的尺寸效应[J]. 金属学报, 2020, 56(5): 745-752. [9] 宋贵宏,李贵鹏,刘倩男,杜昊,胡方. 溅射沉积Mg2(Sn, Si)薄膜组织结构与导电性能[J]. 金属学报, 2019, 55(11): 1469-1476. [10] 张广平, 陈红蕾, 罗雪梅, 张滨. 微纳米尺度金属导电材料热疲劳研究进展[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 357-366. [11] 马也飞, 宋竹满, 张思倩, 陈立佳, 张广平. 小尺度CA6NM马氏体不锈钢样品疲劳性能评价研究[J]. 金属学报, 2018, 54(10): 1359-1367. [12] 杨蕊,潘艳,陈威,孙巧艳,肖林,孙军. 微尺度Ti-10V-2Fe-3Al单晶压缩变形行为及其微观机制*[J]. 金属学报, 2016, 52(2): 135-142. [13] 孙军, 张金钰, 吴凯, 刘刚. Cu系纳米金属多层膜微柱体的形变与损伤及其尺寸效应*[J]. 金属学报, 2016, 52(10): 1249-1258. [14] 黄晓旭. 金属强度的尺寸效应*[J]. 金属学报, 2014, 50(2): 137-140. [15] 张金钰, 刘刚, 孙军. 纳米金属多层膜的变形与断裂行为及其尺寸效应*[J]. 金属学报, 2014, 50(2): 169-182. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed