金属学报  2002, Vol. 38 Issue (8): 795-798

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内应力对金属薄膜生长织构的影响

周浪　 周耐根　 朱圣龙

南昌大学化学与材料科学学院;南昌330047

周浪; 周耐根; 朱圣龙 . 内应力对金属薄膜生长织构的影响[J]. 金属学报, 2002, 38(8): 795-798 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(212 KB)   摘要: 基于FS型原子镶嵌势(EAM势)用分子动力学模拟了金属多晶薄膜的原子沉积生长过程,通过预设恒定应变在薄膜生长过程中引入了单轴压应力,模拟研究了应力对呈丝织构的多晶薄膜中晶粒沿丝轴旋转取向择优的影响.模拟结果表明,在固定压应变条件下,最密排方向偏离压应力轴的晶粒较为优先生长发展;在生长过程中,取向择优的晶粒从沉积表面开始逐渐扩张吞并相邻晶粒.模拟结果还显示,这种生长织构的发展随沉积膜厚增加有显著的临界特征;在织构发展过程中被吞并的晶粒局部出现孪晶,继而转换为择优生长晶粒的结构;在被吞并的晶粒最终消失处将会留下失配位错. 关键词 ： 薄膜,  织构,  分子动力学     Key words： 收稿日期: 2001-11-06      ZTFLH:  O484.1   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 周浪 周耐根 朱圣龙 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2002/V38/I8/795 [1] Tracy D P, Knorr D B. J Electron Mater, 1993; 22: 611 [2] Gilmer G H, Huang H, de la Rubia T D, Torre J D, Bau-mann F. Thin Solid Films, 2000; 365: 189 [3] Stearns M B, Lee C H, Chang C-H, Petford-Long A K. In: Hong M, Wolf S, Gubser D C eds., Metallic Multilayers and Epitaxy, Warrendale, PA: TMS, 1988: 55 [4] Smith D L. Thin-Film Deposition. New York: McGraw-Hill Inc, 1995: 156 [5] Li C-Z, Lodder J C, Szpunar J A. IEEE Trans Magn,1994; 30: 1373 [6] Zhou L, Ye R Z, Zhang S H, Gao L. Chin J Met Sci Tech-nol, 1989; 5: 346 [7] Carel R, Thompson C V, Frost H J. Ada Mater, 1996; 44:2479 [8] Wang Y D, Liu Y D, Xu J Z, Liang Z D. Ada Metall Sin, 1998; 34: 313（王沿东,刘沿东,徐家桢,梁志德.金属学报,1998;34:313） [9] Ackland G J, Thetford R. Philos Mag, 1987; 56: 15 [10] Ackland G J, Tichy G, Vitek V, Finnis M W. Philos Mag,1987; 56A: 735 [11] Liu W C, Shi S Q, Woo C H, Huang H. Comput ModelEng Sci, 2002; 23: 155 [12] Parrinello M, Rahman A. J Appl Phys, 1981; 52: 7182 [13] Toxvared S. Phys Rev, 1993; 47E: 343 [14] Dong L, Srolovitz D J. J Appl Phys, 1998; 84: 5261 [15] Ying F, Smith R W, Srolovitz D J. Appl Phys Lett, 1996;69: 3007 [16] Zhou L, Wei X Q. J Mater Sci, 1998; 33: 1487 [17] Zhou X W, Wadley H N G. Ada Mater, 1999; 47: 1063 [1] 常松涛, 张芳, 沙玉辉, 左良. 偏析干预下体心立方金属再结晶织构竞争[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1065-1074. [2] 娄峰, 刘轲, 刘金学, 董含武, 李淑波, 杜文博. 轧制态Mg-xZn-0.5Er合金板材组织及室温成形性能[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1439-1447. [3] 任师浩, 刘永利, 孟凡顺, 祁阳. 应变工程中Bi(111)薄膜的半导体-半金属转变及其机理[J]. 金属学报, 2022, 58(7): 911-920. [4] 李海勇, 李赛毅. 纯Al <111>对称倾斜晶界迁移行为温度相关性的分子动力学研究[J]. 金属学报, 2022, 58(2): 250-256. [5] 姜伟宁, 武晓龙, 杨平, 顾新福, 解清阁. 热轧硅钢表层动态再结晶区形成规律及剪切织构特征[J]. 金属学报, 2022, 58(12): 1545-1556. [6] 杨平, 王金华, 马丹丹, 庞树芳, 崔凤娥. 成分对真空脱锰法相变控制高硅电工钢{100}织构的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(10): 1261-1270. [7] 邱龙时, 赵婧, 潘晓龙, 田丰. 高速钢表面TiN薄膜的界面疲劳剥落行为[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1039-1047. [8] 丁宁, 王云峰, 刘轲, 朱训明, 李淑波, 杜文博. 高应变速率多向锻造Mg-8Gd-1Er-0.5Zr合金的微观组织、织构及力学性能[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1000-1008. [9] 颜孟奇, 陈立全, 杨平, 黄利军, 佟健博, 李焕峰, 郭鹏达. 热变形参数对TC18钛合金β相组织及织构演变规律的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(7): 880-890. [10] 曹庆平, 吕林波, 王晓东, 蒋建中. 物理气相沉积制备金属玻璃薄膜及其力学性能的样品尺寸效应[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 473-490. [11] 左良, 李宗宾, 闫海乐, 杨波, 赵骧. 多晶Ni-Mn-X相变合金的织构化与功能行为[J]. 金属学报, 2021, 57(11): 1396-1415. [12] 梁晋洁, 高宁, 李玉红. 体心立方Fe中微裂纹与间隙型位错环相互作用的分子动力学模拟[J]. 金属学报, 2020, 56(9): 1286-1294. [13] 许占一, 沙玉辉, 张芳, 章华兵, 李国保, 储双杰, 左良. 取向硅钢二次再结晶过程中的取向选择行为[J]. 金属学报, 2020, 56(8): 1067-1074. [14] 李源才, 江五贵, 周宇. 纳米孔洞对单晶/多晶Ni复合体拉伸性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(5): 776-784. [15] 李美霖, 李赛毅. 金属Mg二阶锥面<c+a>刃位错运动特性的分子动力学模拟[J]. 金属学报, 2020, 56(5): 795-800. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed