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金属学报  2000, Vol. 36 Issue (1): 67-71     
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氮化铝基板与Cu和Al的接合及其表面改质效果
潘文霞 吴承康
中国科学院力学研究所; 北京 100080
引用本文:

潘文霞; 吴承康 . 氮化铝基板与Cu和Al的接合及其表面改质效果[J]. 金属学报, 2000, 36(1): 67-71 .

全文: PDF(190 KB)  
摘要: 对AlN陶瓷基板进行了减压直流等离子体喷涂镀Al, 在基板表面形成厚度约2μm的金属Al薄层, 实现了Al与AlN中的良好接合.
关键词 氮化铝接合表面处理    
Key words
收稿日期: 1999-08-27     
ZTFLH:  TG174.442 TM286  
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