用双面氧化弯曲方法测定Al2O3膜生长应力

金属学报

1999, Vol. 35

Issue (6): 618-622

论文

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用双面氧化弯曲方法测定Al2O3膜生长应力

李美栓钱余海　辛丽周龙江

中国科学院金属腐蚀与防护研究所;沈阳 110015

引用本文:

李美栓; 钱余海; 辛丽; 周龙江 . 用双面氧化弯曲方法测定Al2O3膜生长应力[J]. 金属学报, 1999, 35(6): 618-622 .

全文: PDF(379 KB)

摘要: 提出了一种测定氧化膜生长应力的双面氧化弯曲方法, 经不象常规弯曲法那样为防止试样一个侧在发生氧化度制保护除层, 因而可用于较高温度及较长时间的氧化情况并可测定Ａｌ２Ｏ３膜的生长应力, 由于高温下合金及薄氧化膜发生蠕变, 从而释放膜内应力. 新方法应用于合金的蠕变数据, 并采用数值计算来获得氧化膜应力值.

关键词 ：生长应力, 弯曲法, 蠕变, 氧化, 氧化铝膜

Key words：

收稿日期: 1998-12-31

ZTFLH:

O484.5

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