金属学报  1994, Vol. 30 Issue (18): 270-272

论文 本期目录 | 过刊浏览 |

Si衬底上Co薄膜氧化观察

张灶利;肖治纲;杜国维

北京科技大学

OBSERVATION OF Co FILM OXIDATION ON Si SUBSTRATE

ZHANG Zaoli; XIAO Zhigang; DU Guowei(University of Science and Technology Beijing)

张灶利;肖治纲;杜国维. Si衬底上Co薄膜氧化观察[J]. 金属学报, 1994, 30(18): 270-272.
, , . OBSERVATION OF Co FILM OXIDATION ON Si SUBSTRATE[J]. Acta Metall Sin, 1994, 30(18): 270-272.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(193 KB)   摘要: 用透射电子显微镜和Ｘ射线衍射方法研究Ｓｉ衬底上的Ｃｏ薄膜氧化．发现：在５５０℃以下，薄膜氧化产物是ＣｏＯ；在９００℃再次进行真空热处理，ＣｏＯ能转变为硅化物．薄膜氧化，对Ｃｏ／Ｓｉ界面硅化物转变有影响． 关键词 ： 薄膜,  Ｃｏ－Ｓｉ化合物,  氧化     Abstract：The oxidation of Co film on Si substrate during heat treatment was studied by TEM and XRD. The oxidized product of the film, annealed below 550℃, was found to be CoO, and to change into a silicide after further heating under vacuum at 900℃. The oxidation of the film has an important effect on the Co/Si interface reaction. Key words： film    cobalt-silicide    oxidation      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张灶利 肖治纲 杜国维 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1994/V30/I18/270 1Arnaud．J．d'Avitaya,ChroboczekY,d'AnterrocherC,GlastreG,CampidelliY,RosencherE．JCrystGrowth,1987:81;4632PhilipsJM,BatstoneJL,HenselJC,CerulloM,UnterwaldFC．JMaterRes,1989:4;1443VeaillenJY,DerrienJ,BadozDA,RosencherE,D'AnterrochesC．ApplPhysLett,1987:51;14484LorettoD,GibsonJM,YalisoveSM．MatResSocSympProc,1989:138;4035LauSS,MayerJ,TuKN．JApplPhys,1978:49;40056CheavalliverJ,LarsonAN．ApplPhys,1986:A39;141f [1] 司永礼, 薛金涛, 王幸福, 梁驹华, 史子木, 韩福生. Cr添加对孪生诱发塑性钢腐蚀行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 905-914. [2] 黄鼎, 乔岩欣, 杨兰兰, 王金龙, 陈明辉, 朱圣龙, 王福会. 基体表面喷丸处理对纳米晶涂层循环氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 668-678. [3] 沈朝, 王志鹏, 胡波, 李德江, 曾小勤, 丁文江. 镁合金抗高温氧化机理研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(3): 371-386. [4] 刘来娣, 丁彪, 任维丽, 钟云波, 王晖, 王秋良. DZ445镍基高温合金高温长时间氧化形成的多层膜结构[J]. 金属学报, 2023, 59(3): 387-398. [5] 李昕, 江河, 姚志浩, 董建新. O原子对高温合金基体Ni、Co和NiCr晶界作用的理论计算分析[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 309-318. [6] 芮祥, 李艳芬, 张家榕, 王旗涛, 严伟, 单以银. 新型纳米复合强化9Cr-ODS钢的设计、组织与力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1590-1602. [7] 徐文国, 郝文江, 李应举, 赵庆彬, 卢炳聿, 郭和一, 刘天宇, 冯小辉, 杨院生. 微量Al、Ti对Inconel 690合金高温氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1547-1558. [8] 胡敏, 周生玉, 国京元, 胡明昊, 李冲, 李会军, 王祖敏, 刘永长. 多相Ni3Al基高温合金微区氧化行为[J]. 金属学报, 2023, 59(10): 1346-1354. [9] 金鑫焱, 储双杰, 彭俊, 胡广魁. 露点对连续退火0.2%C-1.5%Si-2.5%Mn高强钢选择性氧化及脱碳的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(10): 1324-1334. [10] 丛鸿达, 王金龙, 王成, 宁珅, 高若恒, 杜瑶, 陈明辉, 朱圣龙, 王福会. 新型无机硅酸盐复合涂层制备及其在高温水蒸气环境的氧化行为[J]. 金属学报, 2022, 58(8): 1083-1092. [11] 解磊鹏, 孙文瑶, 陈明辉, 王金龙, 王福会. 制备工艺对FGH4097高温合金微观组织与性能的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(8): 992-1002. [12] 任师浩, 刘永利, 孟凡顺, 祁阳. 应变工程中Bi(111)薄膜的半导体-半金属转变及其机理[J]. 金属学报, 2022, 58(7): 911-920. [13] 孙蓉蓉, 姚美意, 林晓冬, 张文怀, 仇云龙, 胡丽娟, 谢耀平, 杨健, 董建新, 成国光. 添加Ti对Fe22Cr5Al3Mo合金在500℃过热蒸汽中腐蚀行为的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(5): 610-622. [14] 赵晓峰, 李玲, 张晗, 陆杰. 热障涂层高熵合金粘结层材料研究进展[J]. 金属学报, 2022, 58(4): 503-512. [15] 苏凯新, 张继旺, 张艳斌, 闫涛, 李行, 纪东东. 微弧氧化6082-T6铝合金的高周疲劳性能及残余应力松弛机理[J]. 金属学报, 2022, 58(3): 334-344. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed