金属学报  1991, Vol. 27 Issue (6): 122-125

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钢中含碳量对化学气相沉积TiN涂层的影响

陈二保

华东冶金学院;副教授

EFFECT OF CARBON CONTENT INSUBSTRATE ON CVD TiN COATING

CHEN Erbao East China Institute of Metallurgy; Maanshan; Anhui

陈二保. 钢中含碳量对化学气相沉积TiN涂层的影响[J]. 金属学报, 1991, 27(6): 122-125.
. EFFECT OF CARBON CONTENT INSUBSTRATE ON CVD TiN COATING[J]. Acta Metall Sin, 1991, 27(6): 122-125.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(482 KB)   摘要: 在不同含碳量的钢基体上化学气相沉积TiN层,其沉积速度随基体含碳量增多而线性增大.TiN层的X射线衍射和扫描电镜能谱分析表明,除TiN衍射峰外,还有α Fe衍射峰。沉积温度升高,在Cr12MoV基体上TiN(220)面择优成长增加.TiN层表面白亮区和层内部只有Ti能谱,黑暗区则有Ti和Fe能谱。 关键词 ： TiN,  化学气相沉积,  涂层     Abstract：Effect of carbon content in substrate, made of 7 steels separately, on thel chemica vapour deposition of TiN has been investigated. The increment of deposition rate is linearly related to the increase of carbon conient in own substrate. The α-Fe peak, besides TiN, is revealed in X-ray diffraction pattern of the TiN coating.The (220) preferred growth of TiN deposited on Cr12MoV steel substrate increases with the increase of depositing temperature. Only Ti energy spectrum is found from the bright region at coating surface and the interior, while both Ti and Fe energy spectra from dark region. Key words： TiN    chemical vapour deposition    coating 收稿日期: 1991-06-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 陈二保 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1991/V27/I6/122 1 陈二保,郭万华.华东冶金学院学报,1987;4(4) :36 2 Kim M S, Chun J S. Proc Eur Conf CVD, 4th, 1983: 517--303 [1] 宫声凯, 刘原, 耿粒伦, 茹毅, 赵文月, 裴延玲, 李树索. 涂层/高温合金界面行为及调控研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1097-1108. [2] 袁江淮, 王振玉, 马冠水, 周广学, 程晓英, 汪爱英. Cr2AlC涂层相结构演变对力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 961-968. [3] 冯力, 王贵平, 马凯, 杨伟杰, 安国升, 李文生. 冷喷涂辅助感应重熔合成AlCo x CrFeNiCu高熵合金涂层的显微组织和性能[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 703-712. [4] 黄鼎, 乔岩欣, 杨兰兰, 王金龙, 陈明辉, 朱圣龙, 王福会. 基体表面喷丸处理对纳米晶涂层循环氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 668-678. [5] 王京阳, 孙鲁超, 罗颐秀, 田志林, 任孝旻, 张洁. 以抗CMAS腐蚀为目标的稀土硅酸盐环境障涂层高熵化设计与性能提升[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 523-536. [6] 王迪, 贺莉丽, 王栋, 王莉, 张思倩, 董加胜, 陈立佳, 张健. Pt-Al涂层对DD413合金高温拉伸性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(3): 424-434. [7] 李斗, 徐长江, 李旭光, 李双明, 钟宏. La掺杂P型CeyFe3CoSb12 热电材料及涂层的热电性能[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 237-247. [8] 丛鸿达, 王金龙, 王成, 宁珅, 高若恒, 杜瑶, 陈明辉, 朱圣龙, 王福会. 新型无机硅酸盐复合涂层制备及其在高温水蒸气环境的氧化行为[J]. 金属学报, 2022, 58(8): 1083-1092. [9] 赵晓峰, 李玲, 张晗, 陆杰. 热障涂层高熵合金粘结层材料研究进展[J]. 金属学报, 2022, 58(4): 503-512. [10] 冯凯, 郭彦兵, 冯育磊, 姚成武, 朱彦彦, 张群莉, 李铸国. 激光熔覆高强韧铁基涂层精细组织调控与性能研究[J]. 金属学报, 2022, 58(4): 513-528. [11] 王浩伟, 赵德超, 汪明亮. 原位自生TiB2/Al基复合材料的腐蚀防护技术研究现状[J]. 金属学报, 2022, 58(4): 428-443. [12] 张世宏, 胡凯, 刘侠, 杨阳. 发电锅炉材料与防护涂层的磨蚀机制与研究展望[J]. 金属学报, 2022, 58(3): 272-294. [13] 董昕远, 雒晓涛, 李成新, 李长久. B清除大气等离子喷涂CuNi熔滴氧化物效应[J]. 金属学报, 2022, 58(2): 206-214. [14] 李文亚, 张正茂, 徐雅欣, 宋志国, 殷硕. 冷喷涂Ni及镍基复合涂层研究进展[J]. 金属学报, 2022, 58(1): 1-16. [15] 崔洪芝, 姜迪. 高熵合金涂层研究进展[J]. 金属学报, 2022, 58(1): 17-27. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed