金属学报  1989, Vol. 25 Issue (4): 148-150

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镍基合金辉光放电阴极溅射表面形貌

任建世;赵惠林;张功杼

中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所

OBSERVATION ON SPUTTERING SURFACE OF ALLOYS IN GLOW DISCHARGE

REN Jianshi;ZHAO Huilin;ZHANG Gongshu Institute of Metal Research; Academia Sinica; Shenyang

任建世;赵惠林;张功杼. 镍基合金辉光放电阴极溅射表面形貌[J]. 金属学报, 1989, 25(4): 148-150.
, , . OBSERVATION ON SPUTTERING SURFACE OF ALLOYS IN GLOW DISCHARGE[J]. Acta Metall Sin, 1989, 25(4): 148-150.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1308 KB)   摘要: 用能量色散X射线谱仪和电子探针,研究两种含有第二相沉淀和喷射弥散强化镍基合金的阴极溅射表面微观形貌,发现形成的溅射锥体是由于第二相沉淀和氧化物质点的存在,使局部溅射率改变和引起静电效应的结果。 关键词 ： 辉光放电,  阴极溅射,  镍基合金     Abstract：Glow discharge cathodic sputtering of alloys containing second phase precipitatesor injection of oxide particles has been observed with an energy dispersive X-ray spectrometerand scanning electron microprobe. It was shown that the formation of cones during thesputtering in these alloys is due to masking of the matrix by glow sputtering second phaseprecipitates or oxide particles. At steady state, the number density was lound to be a functionof precipitate or oxide particle density in bulk alloys. In addition to local sputtering rate changes,the electrostate effect ?ay play a role in the formation of cones. Key words： glow discharge    cathodic sputtering    nickel base alloy 收稿日期: 1989-04-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 任建世 赵惠林 张功杼 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1989/V25/I4/148 1 Jager H, Blum F. Spectrochim Acta, 1974; 29B: 73 2 Greene J E, Natarajan B R. J Appl Phys, 1978; 49: 417 3 张匀,赵洪恩,郭建亭.金属学报,1988;24:A63 4 张洪度,于波,任建世.分析化学,1980;8:265B [1] 韩恩厚, 王俭秋. 表面状态对核电关键材料腐蚀和应力腐蚀的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 513-522. [2] 余春, 徐济进, 魏啸, 陆皓. 核级镍基合金焊接材料失塑裂纹研究现状[J]. 金属学报, 2022, 58(4): 529-540. [3] 王迪, 王栋, 谢光, 王莉, 董加胜, 陈立佳. Pt-Al涂层对一种镍基单晶高温合金抗热腐蚀行为的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(6): 780-790. [4] 余磊, 曹睿. 镍基合金焊接裂纹研究现状[J]. 金属学报, 2021, 57(1): 16-28. [5] 华涵钰,谢君,舒德龙,侯桂臣,盛乃成,于金江,崔传勇,孙晓峰,周亦胄. W含量对一种高W镍基高温合金显微组织的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(2): 161-170. [6] 李克俭, 张宇, 蔡志鹏. 异种金属焊接接头在热-力耦合作用下的断裂位置转移机理[J]. 金属学报, 2020, 56(11): 1463-1473. [7] 王资兴,黄烁,张北江,王磊,赵光普. 高合金化GH4065镍基变形高温合金点状偏析研究[J]. 金属学报, 2019, 55(3): 417-426. [8] 韦康, 张麦仓, 谢锡善. 超超临界电站用镍基合金热加工过程的再结晶机理[J]. 金属学报, 2017, 53(12): 1611-1619. [9] 欧美琼,刘扬,查向东,马颖澈,程乐明,刘奎. 一种新型镍基合金在超临界多种离子共存环境下的腐蚀行为*[J]. 金属学报, 2016, 52(12): 1557-1564. [10] 谢君,于金江,孙晓峰,金涛,杨彦红. 温度对高W含量K416B镍基合金拉伸行为的影响*[J]. 金属学报, 2015, 51(8): 943-950. [11] 谢君, 于金江, 孙晓峰, 金涛, 孙元. 高钨K416B铸造镍基合金高温蠕变期间碳化物演化行为[J]. 金属学报, 2015, 51(4): 458-464. [12] 谢君,田素贵,刘姣,周晓明,苏勇. FGH95粉末镍基合金蠕变期间位错网的形成与分析[J]. 金属学报, 2013, 49(7): 838-844. [13] 张姝,田素贵,于慧臣,于莉丽,于兴福. [111]取向镍基单晶合金在蠕变期间组织演化的有限元分析[J]. 金属学报, 2012, 48(5): 561-568. [14] 张胜寒 檀玉 梁可心. 光电化学法研究镍基合金在288℃高温水中生成氧化膜的半导体性质[J]. 金属学报, 2011, 47(9): 1147-1152. [15] 赵帅 李秀艳 戎利建. 一种奥氏体FeNi基合金中的锯齿流变现象[J]. 金属学报, 2011, 47(8): 1017-1021. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed