金属学报  1997, Vol. 33 Issue (3): 320-324

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用DC-PCVD装置对钢沉积Si_3N_4薄膜

吴大兴;杨川;高国庆

西南交通大学;成都;610031;西南交通大学;成都;610031;西南交通大学;成都;610031

DEPOSITION OF Si_3N_4 THIN FILM ON STEELS BY DC-PCVD DEVICE

WU Daxing; YANG Chuan; GAO Guoqing (Southwest Jiaotong University;Chengdu 610031)

吴大兴;杨川;高国庆. 用DC-PCVD装置对钢沉积Si_3N_4薄膜[J]. 金属学报, 1997, 33(3): 320-324.
, , . DEPOSITION OF Si_3N_4 THIN FILM ON STEELS BY DC-PCVD DEVICE[J]. Acta Metall Sin, 1997, 33(3): 320-324.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1676 KB)   摘要: 控制工艺参数，用直流等离于化学气相沉积（DCPCVD）装置，对碳钢、合金结构钢、高速钢等沉积Si3N4非晶态薄膜，并研究了薄膜的成分、结构、形貌及硬度 关键词 ： 钢,  Si_3N_4薄膜,  直流等离子化学气相沉积     Abstract：Si3N4 thin film has been deposited on the matrixes of carbon steels, alloy structure steels, speed steels and stainless steels by using a direct current plasma chemical vapor deposition (DC-PCVD) device under controlling processing parameters. Component,structure, morphology and hardness of the film were measured. This thin film consists mainly of the component of Si3N4 with amorphous structure. Key words： steel    Si_3N_4 film    DC-PCVD 收稿日期: 1997-03-18      基金资助:国家自然科学基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 吴大兴 杨川 高国庆 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1997/V33/I3/320 1 Aron P R,Grill A.Thin Solid Films,1982;96:87 2 GrillA, Aron P R. Thin Solid Films, 1983;108:173 3吴大兴,周海,杨川,高国庆.硅酸盐学报,1992;20:248 4 Gupta Manju,Rothi V K,Thangara R,Agmihotri O P.Thin Solid Films,1991;204:77 5王建琪,胡文辉,冯大明电子能谱(UPS)学引论.北京:国防工业出版社,1992:2 6甑汉生.薄膜科学与技术,1988;1(1):10 7宇田川和,柳田博明,须藤仪一著,钱钧,安时天,张中,金宗哲,何欧里译.新型无机硅化合物(基础与应用).北京:中国建筑工业出版社,1989:12 8王一禾,杨膺善.非晶态合金.北京:冶金工业出版社,1989:124 [1] 陈礼清, 李兴, 赵阳, 王帅, 冯阳. 结构功能一体化高锰减振钢研究发展概况[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1015-1026. [2] 丁桦, 张宇, 蔡明晖, 唐正友. 奥氏体基Fe-Mn-Al-C轻质钢的研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1027-1041. [3] 张奇亮, 王玉超, 李光达, 李先军, 黄一, 徐云泽. EH36钢在不同粒径沙砾冲击下的冲刷腐蚀耦合损伤行为[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 893-904. [4] 陈润农, 李昭东, 曹燕光, 张启富, 李晓刚. 9%Cr合金钢在含Cl－环境中的初期腐蚀行为及局部腐蚀起源[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 926-938. [5] 司永礼, 薛金涛, 王幸福, 梁驹华, 史子木, 韩福生. Cr添加对孪生诱发塑性钢腐蚀行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 905-914. [6] 李小涵, 曹公望, 郭明晓, 彭云超, 马凯军, 王振尧. 低碳钢Q235、管线钢L415和压力容器钢16MnNi在湛江高湿高辐照海洋工业大气环境下的初期腐蚀行为[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 884-892. [7] 李谦, 刘凯, 赵天亮. 弹性拉应力下Q235碳钢在5%NaCl盐雾中的成锈行为及其机理[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 829-840. [8] 王周头, 袁清, 张庆枭, 刘升, 徐光. 冷轧中碳梯度马氏体钢的组织与力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 821-828. [9] 侯娟, 代斌斌, 闵师领, 刘慧, 蒋梦蕾, 杨帆. 尺寸设计对选区激光熔化304L不锈钢显微组织与性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 623-635. [10] 王滨, 牛梦超, 王威, 姜涛, 栾军华, 杨柯. 含Cu马氏体时效不锈钢的组织与强韧性[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 636-646. [11] 赵亚峰, 刘苏杰, 陈云, 马会, 马广财, 郭翼. 铁素体-贝氏体双相钢韧性断裂过程中的夹杂物临界尺寸及孔洞生长[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 611-622. [12] 刘继浩, 周健, 武会宾, 马党参, 徐辉霞, 马志俊. 喷射成形M3高速钢偏析成因及凝固机理[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 599-610. [13] 吴欣强, 戎利建, 谭季波, 陈胜虎, 胡小锋, 张洋鹏, 张兹瑜. 耐Pb-Bi腐蚀Si增强型铁素体/马氏体钢和奥氏体不锈钢的研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 502-512. [14] 韩恩厚, 王俭秋. 表面状态对核电关键材料腐蚀和应力腐蚀的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 513-522. [15] 程远遥, 赵刚, 许德明, 毛新平, 李光强. 奥氏体化温度对Si-Mn钢热轧板淬火-配分处理后显微组织和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(3): 413-423. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed