金属学报  2002, Vol. 38 Issue (2): 149-152

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Ta等离子体渗氮的非平衡热力学

张德元; 李放; 罗文; 曾卫军; 付青峰; 林勤

北京科技大学理化系; 北京 100083

张德元; 李放; 罗文; 曾卫军; 付青峰; 林勤 . Ta等离子体渗氮的非平衡热力学[J]. 金属学报, 2002, 38(2): 149-152 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(140 KB)   摘要: 讨论了Ta表面等离子体渗氮的热力学问题, 将超平衡氢和非平衡热力学的反应耦合理论引入离子渗氮反应的计算, 从理论上解释了等离子体和氢在Ta表面渗氮过程中的作用, 给出了渗氮条件下的Ta-N-O非平衡定态相图, 与实验结果符合得较好. 实验表明, 氢和等离子体的存在, 有利于提高氮原子的活度, 促进热力学上不稳定的Ta的氮化物的形成, 抑制粗糙的Ta的氧化物的形成. 关键词 ： Ta,  等离子体渗氮,  非平衡热力学     Key words： 收稿日期: 2001-06-18      ZTFLH:  TG156.82   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张德元 李放 罗文 曾卫军 付青峰 林勤 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2002/V38/I2/149 [1]　Zhang　D　Y,　Li　F,　Luo　W,　Cai　L,　Xu　L　P,　Lin　Q.　Chin　JNowtrmua　Metals,　2000;　10:　189 (张德元,李　放,罗　文,蔡　莉,许兰萍,林　勤.中国有色金属学报,2000;10:189) [2]Prigogine.I.Introduction　to　Thermodynamics　of　Irre-　　　　versible　Process,3rd　Ed.New　York:Interscience　Pub,　　　　1967 [3]Spitsyn　B　V,Derjaguin　D　B.Sci　Am,1975;233:102 [4]　Spitsyn　B　V,Builov　L　L,Derjaguin　D　B.J　Cryst　Growth,　　　　1981;52:219 [5]Babab　zahaknibin　A　A　ed,Li　F　Z　trans.Electrochemical　　　　Heat　Treatment　with　Glow　Discharge.Beijing:Machinery　　　　Industry　Press;1985:17 (Babad　zahaknibin　A　A　著,　李凤照译.辉光放电化学热处理,北京:机械工业出版社,　1985:　17) [6]　Wang　J　T,Carlsson　J　O.Surf　Coat　Technol,1990;43/44:1 [7]　Wang　J　T,Zhang　P　T,Yang　Q　H.In:Ravi　K　V,DismukesJ　P　eds,　Diamond　Materials　IV　NJ:　The　Electrochem　SocInc　Pennington,　1995;　PV　95-4:　13 [8]　Zhang　D　Y,　Li　Q,　Zeng　W　J,　Li　F,　Lu　D　P.　Proc　1st　InterConf　on　Mechan　Eng,　Shanghai:　2000;　18-22:　601 [9]　Zhang　D　Y,　Li　Q,　Zeng　W　J,　Li　F,　Xu　L　P　Fu　Q　F.　TransNonferrous　Met　Soc　Chin,　2001;　11:　281 [10]　Qiao　Z　Y,　Xu　Z　H,　Liu　H　L,　Computerized　Physical　Chem-istry　of　Materials　and　Metallurgy.　Beijing:　MetallurgyIndustry　Press,　1999:　142 侨芝郁,许志宏,刘洪霖.冶金和材料计算物理化学.北京:冶金工业出版社1999:142) [11]　Zhang　D　Y,　Zeng　W　J,　Fu　Q　F,　Li　F,　Lin　Q,　Luo　W.　TransMater　Heat　hatment,　2001;　22(2):　48 (张德元,曾卫军,付青峰,李　放,林　勤,罗　文.　材料热处理学报,2001;22(2):48)) [1] 白佳铭, 刘建涛, 贾建, 张义文. 高W高Ta型粉末高温合金的蠕变性能及溶质原子偏聚[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1230-1242. [2] 张旭, 田谨, 薛敏涛, 江峰, 李苏植, 张博召, 丁俊, 李小平, 马恩, 丁向东, 孙军. 2000℃高温高承载的Ta-W难熔合金[J]. 金属学报, 2022, 58(10): 1253-1260. [3] 杨志昆, 王浩, 张义文, 胡本芙. Ta含量对镍基粉末高温合金高温蠕变变形行为和性能的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1027-1038. [4] 黄松鹏, 彭灿, 曹公望, 王振尧. 受BTA保护的白铜在模拟工业大气环境中的腐蚀行为[J]. 金属学报, 2021, 57(3): 317-326. [5] 李晓倩, 王富国, 梁爱民. 喷涂工艺对Ta2O5原位复合钽基纳米晶涂层微观结构及摩擦磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(2): 237-246. [6] 林彰乾, 郑伟, 李浩, 王东君. 放电等离子烧结TA15钛合金及石墨烯增强TA15复合材料微观组织与力学性能[J]. 金属学报, 2021, 57(1): 111-120. [7] 程超,陈志勇,秦绪山,刘建荣,王清江. TA32钛合金厚板的微观组织、织构与力学性能[J]. 金属学报, 2020, 56(2): 193-202. [8] 祝佳林,刘施峰,曹宇,柳亚辉,邓超,刘庆. 交叉轧制周期对高纯Ta板变形及再结晶梯度的影响[J]. 金属学报, 2019, 55(8): 1019-1033. [9] 杨莎莎,杨峰,陈明辉,牛云松,朱圣龙,王福会. N掺杂对磁控溅射Ta涂层微观结构与耐磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2019, 55(3): 308-316. [10] 徐江, 鲍习科, 蒋书运. 纳米晶Ta2N涂层在模拟人体环境中的耐蚀性能研究[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 443-456. [11] 种晓宇, 汪广驰, 杜军, 蒋业华, 冯晶. ZTAp/HCCI复合材料凝固过程中的温度场和热应力的数值模拟[J]. 金属学报, 2018, 54(2): 314-324. [12] 王垚,李春福,林元华. Cr对Fe-Cr合金耐蚀性能影响的电子理论研究[J]. 金属学报, 2017, 53(5): 622-630. [13] 宋鹏, 陈榕, 冯晶, 吕建国, 陆建生. 镍基合金表面Pt改性铝化物涂层的初期Al2O3微观结构分析[J]. 金属学报, 2017, 53(11): 1504-1510. [14] 赵德伟, 李军雷. 多孔Ta的制备及其作为骨植入材料的应用进展[J]. 金属学报, 2017, 53(10): 1303-1310. [15] 毕宗岳,杨军,刘海璋,张万鹏,杨耀彬,田磊,黄晓江. TA1/X65复合板焊接工艺及焊缝组织和性能研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(8): 1017-1024. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed