对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究

金属学报

1999, Vol. 35

Issue (7): 762-766

论文

本期目录 | 过刊浏览

对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究

白海力姜恩永　吴萍王怡王存达

天津大学理学院; 天津 300072

引用本文:

白海力; 姜恩永; 吴萍; 王怡; 王存达 . 对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究[J]. 金属学报, 1999, 35(7): 762-766 .

全文: PDF(254 KB)

摘要: 用Ｒａｍａｎ散射研究了对向靶反应溅射制备的ＣＮ薄膜的键结构, 研究表明, 在Ｃ膜中掺杂Ｎ可以抑制ＣＮ膜中ｓｐ＾３键的形成, 提高ｓｐ＾２键的相对含量, 改善Ｃ膜的结构热稳定性.

关键词 ： Raman散射, CN薄膜, 对向靶反应溅射, 热稳定性

Key words：

收稿日期: 1999-01-11

ZTFLH:

O484.1 O657.37

	服务

	把本文推荐给朋友
	加入引用管理器
	E-mail Alert
	RSS
	作者相关文章
	白海力
	姜恩永
	吴萍
	王怡
	王存达
44.8K

链接本文:

https://www.ams.org.cn/CN/Y1999/V35/I7/762

[1] Underwood J H, Barbee T W Jr.Nature, 1981;294: 429
[2] Spiller E, Golub L.Appl Opt, 1989; 28: 2969
[3]Arbaoui M,Barchewitz R;Sella C,Youn K B.Appl Opt, 1990; 29: 477
[4]Dillon R O,Woollam J A,Katkanant V.Phys Rev,1984; 29B:3482
[5]Beeman D,Silverman J,Lynds R,Anderson M R.Phys Rev, 1984 30B:870
[6]Bai H L, Jiang E Y, Wang C D J Appl Phys,1996;80: 1428

[1]	袁江淮, 王振玉, 马冠水, 周广学, 程晓英, 汪爱英. Cr₂AlC涂层相结构演变对力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 961-968.
[2]	冯艾寒, 陈强, 王剑, 王皞, 曲寿江, 陈道伦. 低密度Ti₂AlNb基合金热轧板微观组织的热稳定性[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 777-786.
[3]	聂金凤, 伍玉立, 谢可伟, 刘相法. Al-AlN异构纳米复合材料的组织构型与热稳定性[J]. 金属学报, 2022, 58(11): 1497-1508.
[4]	王一涵, 原园, 喻嘉彬, 吴宏辉, 吴渊, 蒋虽合, 刘雄军, 王辉, 吕昭平. 纳米晶合金热稳定性的熵调控设计[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 403-412.
[5]	王晓波, 王墉哲, 程旭东, 蒋蓉. 大气条件下AlCrON基光谱选择性吸收涂层的热稳定性[J]. 金属学报, 2021, 57(3): 327-339.
[6]	彭艳艳, 余黎明, 刘永长, 马宗青, 刘晨曦, 李冲, 李会军. 650 ℃时效对9Cr-ODS钢显微组织和性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(8): 1075-1083.
[7]	黄宇, 成国光, 李世健, 代卫星. Ce微合金化H13钢中一次碳化物的析出机理及热稳定性研究[J]. 金属学报, 2019, 55(12): 1487-1494.
[8]	邹建雄,刘波,林黎蔚,任丁,焦国华,鲁远甫,徐可为. MoC掺杂钌基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究[J]. 金属学报, 2017, 53(1): 31-37.
[9]	郭巍巍,齐成军,李小武. 共轭和临界双滑移取向Cu单晶体疲劳位错结构的热稳定性研究^*[J]. 金属学报, 2016, 52(6): 761-768.
[10]	刘刚, 李超, 马野, 张瑞君, 刘勇凯, 沙玉辉. 异步轧制硅钢表面纳米结构稳定性与渗硅行为^*[J]. 金属学报, 2016, 52(3): 307-312.
[11]	杨滨, 李鑫, 罗文东, 李宇翔. 微量添加Sn和Nb对Zr-Cu-Fe-Al块体非晶合金热稳定性和塑性的影响[J]. 金属学报, 2015, 51(4): 465-472.
[12]	柳文波,张弛,杨志刚,夏志新,高古辉,翁宇庆. 表面纳米化对低活化钢的组织及其热稳定性的影响[J]. 金属学报, 2013, 49(6): 707-716.
[13]	张立东,王飞,陈顺礼,汪渊. AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N双层扩散阻挡层的制备及热稳定性[J]. 金属学报, 2013, 49(12): 1611-1616.
[14]	方璐,丁贤飞,张来启,郝国建,林均品. 长期热循环条件下全片层高Nb－TiAl合金显微组织稳定性[J]. 金属学报, 2013, 49(11): 1416-1422.
[15]	张彦坡,任丁,林黎蔚,杨斌,王珊玲,刘波,徐可为. Cu/Cu(Ge, Zr)/SiO₂/Si多层膜界面可控反应及热稳定性研究[J]. 金属学报, 2013, 49(10): 1264-1268.

Viewed

Full text

Abstract

Cited

Shared

Discussed