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金属学报  1999, Vol. 35 Issue (7): 762-766     
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对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究
白海力 姜恩永 吴萍 王怡 王存达
天津大学理学院; 天津 300072
引用本文:

白海力; 姜恩永; 吴萍; 王怡; 王存达 . 对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究[J]. 金属学报, 1999, 35(7): 762-766 .

全文: PDF(254 KB)  
摘要: 用Raman散射研究了对向靶反应溅射制备的CN薄膜的键结构, 研究表明, 在C膜中掺杂N可以抑制CN膜中sp^3键的形成, 提高sp^2键的相对含量, 改善C膜的结构热稳定性.
关键词 Raman散射CN薄膜对向靶反应溅射热稳定性    
Key words
收稿日期: 1999-01-11     
ZTFLH:  O484.1 O657.37  
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