金属学报  1992, Vol. 28 Issue (8): 67-71

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大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织

冯钟潮;郭良;梁勇;韩健;侯万良;宁小光

中国科学院金属研究所;副研究员;沈阳(110015);中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所

PERFORMANCE AND MICROSTRUCTURE OF SUPERHARD Si_3N_4 FILM BY HIGH POWER CO_2 LASER CVD

FENG Zhongchao; GUO Liang; LIANG Yong; HAN Jian; HOU Wanliang; NING Xiaoguang (Institute of Metal Resarch; Academia Sinica; Shenyang)

冯钟潮;郭良;梁勇;韩健;侯万良;宁小光. 大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织[J]. 金属学报, 1992, 28(8): 67-71.
, , , , , . PERFORMANCE AND MICROSTRUCTURE OF SUPERHARD Si_3N_4 FILM BY HIGH POWER CO_2 LASER CVD[J]. Acta Metall Sin, 1992, 28(8): 67-71.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1303 KB)   摘要: 用大功率(kW级)CO_2激光在金属基材上通过化学气相沉积获得α-Si_3N_4膜。膜层多为细小的Si_3N_4颗粒组成,与基材有良好的结合,具有超硬和优良的耐磨抗蚀等性能,厚度在5—30μm范围内可控。 关键词 ： 激光化学气相沉积,  Si_3N_4膜,  组织结构,  硬度,  耐磨,  抗蚀     Abstract：A superhard α-Si_3N_4 film, deposited on metal substrate, was made by laser chemical vapour deposition adopting a kW-level high power CO_2 laser, Most films are of fine grain Si_3N_4. They join the metal substrate in strong bond. The films have super hardness, excellent resistances to wear and corrosion, etc. Their thickness may be controlled within 5—30μm. Key words： laser chemical vapour deposition    Si_3N_4 film    microstructure    hardness    wear resistance    corrosion resistance 收稿日期: 1992-08-18      基金资助:国家自然科学基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 冯钟潮 郭良 梁勇 韩健 侯万良 宁小光 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1992/V28/I8/67 1 冯钟潮.全国激光涂层科学与技术研讨会文集,沈阳,1991:87-95 2 Sugimura A, Fukuda Y, Hanabusa M. J Appl Phys, 1987; 62:3222 3 Pan E T-S, Flint J H, Adler D, Haggerty J S. J Appl Phys, 1987; 61:4535 4 冯钟潮,梁勇,郭良,佟百运,韩健.全国首届激光加工学术讨论会论文集,北京,1989:113-117 5 Feng Zhongchao, Liang Yong, Guo Liang, Tong Baiyun, Han Jian. In: Huang Liji ed., Thin Films and Beam-Solid Interactions, CMRS Int. 1990 Conf, Vol. 4, Beijing, 18-22 June, 1990, Amsterdam: North-Holland. 1991: 459-463Z [1] 王海峰, 张志明, 牛云松, 杨延格, 董志宏, 朱圣龙, 于良民, 王福会. 前置渗氧对TC4钛合金低温等离子复合渗层微观结构和耐磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(10): 1355-1364. [2] 梁琛, 王小娟, 王海鹏. 快速凝固Ti-Al-Nb合金B2相形成机制与显微力学性能[J]. 金属学报, 2022, 58(9): 1169-1178. [3] 王韬, 龙弟均, 余黎明, 刘永长, 李会军, 王祖敏. 超高压烧结制备14Cr-ODS钢及微观组织与力学性能[J]. 金属学报, 2022, 58(2): 184-192. [4] 韩汝洋, 杨庚蔚, 孙新军, 赵刚, 梁小凯, 朱晓翔. 钒微合金化中锰马氏体耐磨钢奥氏体晶粒长大行为[J]. 金属学报, 2022, 58(12): 1589-1599. [5] 项兆龙, 张林, XIN Yan, 安佰灵, NIU Rongmei, LU Jun, MARDANI Masoud, HAN Ke, 王恩刚. Cr含量对FeCrCoSi永磁合金调幅分解组织及其性能的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(1): 103-113. [6] 胡龙, 王义峰, 李索, 张超华, 邓德安. 基于SH-CCT图的Q345钢焊接接头组织与硬度预测方法研究[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1073-1086. [7] 王文权, 杜明, 张新戈, 耿铭章. H13钢表面电火花沉积WC-Ni基金属陶瓷涂层微观组织及摩擦磨损性能[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1048-1056. [8] 曹庆平, 吕林波, 王晓东, 蒋建中. 物理气相沉积制备金属玻璃薄膜及其力学性能的样品尺寸效应[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 473-490. [9] 童文辉, 张新元, 李为轩, 刘玉坤, 李岩, 国旭明. 激光工艺参数对TiC增强钴基合金激光熔覆层组织及性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(9): 1265-1274. [10] 张林, 郭晓, 高建文, 邓安元, 王恩刚. 电磁搅拌对TiB2颗粒增强钢组织和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(9): 1239-1246. [11] 魏世忠, 徐流杰. 钢铁耐磨材料研究进展[J]. 金属学报, 2020, 56(4): 523-538. [12] 孙新军,刘罗锦,梁小凯,许帅,雍岐龙. 高钛耐磨钢中TiC析出行为及其对耐磨粒磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(4): 661-672. [13] 吴翔,左秀荣,赵威威,王中洋. NM500耐磨钢拉伸过程中TiN的破碎机制[J]. 金属学报, 2020, 56(2): 129-136. [14] 邓聪坤,江鸿翔,赵九洲,何杰,赵雷. Ag-Ni偏晶合金凝固过程研究[J]. 金属学报, 2020, 56(2): 212-220. [15] 许帅, 孙新军, 梁小凯, 刘俊, 雍岐龙. 热轧变形量对高钛耐磨钢组织与力学性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(12): 1581-1591. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed