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金属学报  1993, Vol. 29 Issue (6): 95-96    
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利用电子衍射照片确定ZrO_2薄膜的织构状态
王英华
清华大学材料科学与工程系;副教授;北京100084
DETERMINATION OF TEXTURE STATE OF THIN FILM ZrO_2 BY ELECTRON DIFFRACTION PATTERN
WANG Yinghua;Department of Materials Science and Engineering.Tsinghua University;Beijing 100084
引用本文:

王英华. 利用电子衍射照片确定ZrO_2薄膜的织构状态[J]. 金属学报, 1993, 29(6): 95-96.
. DETERMINATION OF TEXTURE STATE OF THIN FILM ZrO_2 BY ELECTRON DIFFRACTION PATTERN[J]. Acta Metall Sin, 1993, 29(6): 95-96.

全文: PDF(338 KB)  
摘要: 阐述了一种利用电子衍射照片半定量地确定薄膜织构状态的原理和方法,并确定了立方ZrO_2薄膜的织构状态.
关键词 电子衍射ZrO_2薄膜织构    
Abstract:A method for determining thin film texture by electron diffraction pattern ispresented. Using this method, the texture state of the ZrO_2 thin film has been determined.
Key wordstexture    thin film    electron diffraction
收稿日期: 1993-06-18     
1 Cullity B D. Elements of X-Ray Diffraction. Reading Mass: Addison-Wesley, 1978
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