金属学报  2008, Vol. 44 Issue (1): 125-128

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一种测量硬质薄膜残余应力的新方法

赵升升;华伟刚;杜昊;宫骏;孙超;李家宝

中科院金属所

A Novel Method for Determining the Residual Stresses of Hard Coatings

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中科院金属所

赵升升; 华伟刚; 杜昊; 宫骏; 孙超; 李家宝 . 一种测量硬质薄膜残余应力的新方法[J]. 金属学报, 2008, 44(1): 125-128 .
, , , , , . A Novel Method for Determining the Residual Stresses of Hard Coatings[J]. Acta Metall Sin, 2008, 44(1): 125-128 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(358 KB)   摘要: 提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法——剥层曲率半径法， 并设计了一套光杠杆系统，可以精确测量 镀膜样品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径， 从而计算出薄膜的残余应力. 通过对 仪器测量误差的考察和电弧离子镀(Ti, Al)N 薄膜残余应力的测定，证明了该方法的有效性. 关键词 ： 硬质薄膜,  残余应力,  测量方法     Abstract：A new method was put forward to determine the residual stresses of hard coatings. A set of optical lever system was designed to measure accurately the curvature of the sample bended by the stresses of the films, and then the residual stress can be calculated. Through detecting the error of the measuring equipment and testing the residual stresses in (Ti,Al)N films deposited using by arc ion plating, the effectiveness of the method was exhibited. Key words： 收稿日期: 2007-03-09      ZTFLH:  TG115.222   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 赵升升 华伟刚 杜昊 宫骏 孙超 李家宝 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y2008/V44/I1/125 [1]Li L.Sci Technol Rev,1997;(2):9 (李林．科技导报，1997；(2)：9) [2]Haase E L.Thin Solid Films,1985;124:283 [3]Stoney G G.Proc R Soc London,1909;82A:172 [4]Ma C H,Huang J H,Chen H.Thin Solid Films,2002; 418:73 [5]ASM Handbook Committee.Metals HandbOok.Vol.10, Metals Park,OH:ASM,1986 [6]Hollstein F,Wiedemann R,Scholz J.Surf Coat Technol, 2003;162:261 [1] 杜金辉, 毕中南, 曲敬龙. 三联冶炼GH4169合金研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1159-1172. [2] 毕中南, 秦海龙, 刘沛, 史松宜, 谢锦丽, 张继. 高温合金锻件残余应力量化表征及控制技术研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1144-1158. [3] 李时磊, 李阳, 王友康, 王胜杰, 何伦华, 孙光爱, 肖体乔, 王沿东. 基于中子与同步辐射技术的工程材料/部件多尺度残余应力评价[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1001-1014. [4] 王重阳, 韩世伟, 谢峰, 胡龙, 邓德安. 固态相变和软化效应对超高强钢焊接残余应力的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1613-1623. [5] 张开元, 董文超, 赵栋, 李世键, 陆善平. 固态相变对Fe-Co-Ni超高强度钢长臂梁构件焊接-淬火过程应力和变形的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1633-1643. [6] 卢海飞, 吕继铭, 罗开玉, 鲁金忠. 激光热力交互增材制造Ti6Al4V合金的组织及力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 125-135. [7] 吴进, 杨杰, 陈浩峰. 纳入残余应力时不同拘束下DMWJ的断裂行为[J]. 金属学报, 2022, 58(7): 956-964. [8] 张新房, 向思奇, 易坤, 郭敬东. 脉冲电流调控金属固体中的残余应力[J]. 金属学报, 2022, 58(5): 581-598. [9] 苏凯新, 张继旺, 张艳斌, 闫涛, 李行, 纪东东. 微弧氧化6082-T6铝合金的高周疲劳性能及残余应力松弛机理[J]. 金属学报, 2022, 58(3): 334-344. [10] 骆文泽, 胡龙, 邓德安. SUS316不锈钢马鞍形管-管接头的残余应力数值模拟及高效计算方法开发[J]. 金属学报, 2022, 58(10): 1334-1348. [11] 邱龙时, 赵婧, 潘晓龙, 田丰. 高速钢表面TiN薄膜的界面疲劳剥落行为[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1039-1047. [12] 李索, 陈维奇, 胡龙, 邓德安. 加工硬化和退火软化效应对316不锈钢厚壁管-管对接接头残余应力计算精度的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(12): 1653-1666. [13] 姜霖, 张亮, 刘志权. Al中间层和Ni(V)过渡层对Co/Al/Cu三明治结构靶材背板组件焊接残余应力的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(10): 1433-1440. [14] 毕中南,秦海龙,董志国,王相平,王鸣,刘永泉,杜金辉,张继. 高温合金盘锻件制备过程残余应力的演化规律及机制[J]. 金属学报, 2019, 55(9): 1160-1174. [15] 秦海龙,张瑞尧,毕中南,杜洪标,张金辉. GH4169合金圆盘时效过程残余应力的演化规律研究[J]. 金属学报, 2019, 55(8): 997-1007. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed