金属学报  2006, Vol. 42 Issue (12): 1233-1237

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多晶柱状Cu膜的表面粗化与织构

杨吉军;马 飞;徐可为

西安交通大学金属材料强度国家重点实验室

SURFACE ROUGHENING AND TEXTURE OF THE POLYCRYSTALLINE COLUMNAR Cu FILMS

Jijun Yang;

西安交通大学材料科学与工程学院

杨吉军; 马飞; 徐可为 . 多晶柱状Cu膜的表面粗化与织构[J]. 金属学报, 2006, 42(12): 1233-1237 .
, , . SURFACE ROUGHENING AND TEXTURE OF THE POLYCRYSTALLINE COLUMNAR Cu FILMS[J]. Acta Metall Sin, 2006, 42(12): 1233-1237 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1137 KB)   摘要: 用磁控溅射工艺分别在Si和Al2O3衬底上沉积两种不同织构组分的多晶柱状Cu膜, 基于动力学标度方法表征两种薄膜的表面粗化特征. 结果表明, Cu(111)取向晶粒组分多的薄膜的生长指数较大、表面粗化速率较快. 对于较低温度下沉积的多晶柱状薄膜, 基于其晶粒几何形态和弱化的晶界限制的特点, 提出了一种表面粗化机制, 认为薄膜的表面粗化主要依赖于其晶粒表面的粗化过程, 而薄膜织构决定了薄膜表面粗化速率. 关键词 ： Cu膜,  表面粗化,  织构,  动力学标度     Abstract：In this paper Cu thin films with different texture components were deposited on Si(111) and Al2O3 substrates by magnetron sputtering technology at room temperature. And the dynamic scaling method was developed to characterize surface roughening of the two films. The result shows that the growth exponent increases when the intensity of Cu (111) orientation increases. A surface roughening mechanism of polycrystalline columnar films growth was proposed to explain this phenomena，in which the influence of grain configuration and grain boundary can be negligible and the texture component is an important factor for surface roughening process. Key words： Cu film    surface roughening    texture    dynamic scaling 收稿日期: 2006-03-29      ZTFLH:  TB43   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 杨吉军 马飞 徐可为 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y2006/V42/I12/1233 [1] Dumay B, Finot E, Theobald M, Legaie O, Durand J, Baclet P, Goudonnet J P. J Appl Phys, 2002; 92: 6572 [2] Family F, Vicsek T. J Phys, 1985; 18A: L75 [3] Chame A, Reis F D A A. Surf Sci, 2004; 553: 145 [4] Kardar M, Parisi G, Zhang Y C. Phys Rev Lett, 1986; 56: 889 [5] Lai Z W, Sarma S D. Phys Rev Lett, 1991; 66: 2348 [6] Karabacak T, Zhao Y P, Wang G C, Lu T M. Phys Rev, 2001; 64B: 085323 [7] Dalakos G T, Plawsky J P, Persans P D. Phys Rev, 2005; 72B: 205305 [8] Tong W M, Williams R S, Yanase A, Segawa Y, Anderson M S. Phys Rev Lett, 1994; 72: 3374 [9] Knepper R, Messier R. Proc SPIE, 2001; 4467: 87 [10] Xia L F. Duffuaion in Metals. Harbin: Publishing House of Harbin Institute of Technology, 1989: 137 (夏立芳．金属中的扩散．哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,1989: 137) [11] Mullins W W. J Appl Phys, 1957; 28: 333 [12] Herring C. Phys Rev, 1951; 82: 87 [13] Okolo B, Lamparter P, Welzel U, Wagner T, Mittemeijer E J. Thin Solid Films, 2005; 474: 50 [14] Tang W, Xu K W, Wang P, Li X. Acta Metall Sin, 2002; 38: 9 (唐武,徐可为,王平,李弦．金属学报,2002;38:9) [15] Freund L B, Suresh S. Thin Film Materials Stress, Defect Formation and Surface Evolution. Cambridge: Cambridge University Press, 2003: 550 [16] Lita A E, Sanchez J E. Phys Rev, 2000; 61 B: 7692 [17] Siegert M. Phys Rev Lett, 1998; 81: 548 [18] Lukaszew R A, Clarke R. Appl Surf Sci, 2002; 191: 118A [1] 常松涛, 张芳, 沙玉辉, 左良. 偏析干预下体心立方金属再结晶织构竞争[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1065-1074. [2] 娄峰, 刘轲, 刘金学, 董含武, 李淑波, 杜文博. 轧制态Mg-xZn-0.5Er合金板材组织及室温成形性能[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1439-1447. [3] 姜伟宁, 武晓龙, 杨平, 顾新福, 解清阁. 热轧硅钢表层动态再结晶区形成规律及剪切织构特征[J]. 金属学报, 2022, 58(12): 1545-1556. [4] 杨平, 王金华, 马丹丹, 庞树芳, 崔凤娥. 成分对真空脱锰法相变控制高硅电工钢{100}织构的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(10): 1261-1270. [5] 丁宁, 王云峰, 刘轲, 朱训明, 李淑波, 杜文博. 高应变速率多向锻造Mg-8Gd-1Er-0.5Zr合金的微观组织、织构及力学性能[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1000-1008. [6] 颜孟奇, 陈立全, 杨平, 黄利军, 佟健博, 李焕峰, 郭鹏达. 热变形参数对TC18钛合金β相组织及织构演变规律的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(7): 880-890. [7] 左良, 李宗宾, 闫海乐, 杨波, 赵骧. 多晶Ni-Mn-X相变合金的织构化与功能行为[J]. 金属学报, 2021, 57(11): 1396-1415. [8] 许占一, 沙玉辉, 张芳, 章华兵, 李国保, 储双杰, 左良. 取向硅钢二次再结晶过程中的取向选择行为[J]. 金属学报, 2020, 56(8): 1067-1074. [9] 于雷,罗海文. 部分再结晶退火对无取向硅钢的磁性能与力学性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(3): 291-300. [10] 程超,陈志勇,秦绪山,刘建荣,王清江. TA32钛合金厚板的微观组织、织构与力学性能[J]. 金属学报, 2020, 56(2): 193-202. [11] 杜子杰, 李文渊, 刘建荣, 锁红波, 王清江. CMT增材制造TC4-DT合金组织均匀性与力学性能一致性研究[J]. 金属学报, 2020, 56(12): 1667-1680. [12] 李鑫,董月成,淡振华,常辉,方志刚,郭艳华. 等通道角挤压制备超细晶纯Ti的腐蚀性能研究[J]. 金属学报, 2019, 55(8): 967-975. [13] 邓丽萍,崔凯旋,汪炳叔,向红亮,李强. AZ31镁合金室温多道次压缩过程微观组织和织构演变的研究[J]. 金属学报, 2019, 55(8): 976-986. [14] 刘征,刘建荣,赵子博,王磊,王清江,杨锐. 电子束快速成形制备TC4合金的组织和拉伸性能分析[J]. 金属学报, 2019, 55(6): 692-700. [15] 刘后龙,马明玉,刘玲玲,魏亮亮,陈礼清. 热轧板退火工艺对19Cr2Mo1W铁素体不锈钢织构与成形性能的影响[J]. 金属学报, 2019, 55(5): 566-574. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed