金属学报  2001, Vol. 37 Issue (1): 82-86

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温度对N离子注入金属深度分布的影响

白彬　 张鹏程　 邹觉生　 陈元儒

中国工程物理研究院;绵阳621900

白彬; 张鹏程; 邹觉生; 陈元儒 . 温度对N离子注入金属深度分布的影响[J]. 金属学报, 2001, 37(1): 82-86 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(196 KB)   摘要: 研究了N离子注入金属表面时温度对N原子深度分布的影响.在常温-460℃范围内N离子注入到α-Fe和316L奥氏体不锈钢中的深度分布显著依赖于注入温度和基体材料.随注入温度升高,α-Fe中N深度分布形态为准Gauss形、梯形和扩散形,并发现N注入存在"盲区"注入温度,N表观扩散系数与注入温度的关系完全偏离Arrhenius方程.在316L不锈钢中,N呈扩散形分布,其表观扩散系数与注入温度的关系与Arrhenius方程较吻合.通过Auger谱线形分析、X射线衍射分析和TEM组织分析,认为N注入金属深度分布由离子注入混合作用、化学效应和热扩散作用中占主导地位者决定. 关键词 ： 离子注入,  温度,  深度分布,  N     Key words： 收稿日期: 2000-03-23      ZTFLH:  TG174.444   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 白彬 张鹏程 邹觉生 陈元儒 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2001/V37/I1/82 [1] Straede C A, Mikkelseen N J. Surf Coat Technol,1998;103/104: 189 [2] Wei R, Wilbur P J, Ozturk O. Nucl Instrum Methods,1991; B59/60:731 [3] Wilbur P J W, Buchholtz B. Surf Coat Technol,1996;79:1 [4] Wei R, Dhogrin B, Wilbur P J. J Tribol, 1994;. 116: 870 [5] Wei R, Wilbur P J, Sampath W S. J Tribol, 1991; 113:166 [6] Rehn L H, Aerback R S, Okamoto P R. Mater Sci Eng,1985; 69:1 [7] Terwagne G, Piette M, Bodart F. Mater Sci Eng, 1989;A115: 25 [8] Lueas S, Chevallier J, Chechen N G. Surf Coat Technol,1994; 66: 334 [9] Ohtani S, Inoue M, Takagi T. Nucl Instrum Methods,1997; B121: 319 [10] Vglov V V P, Rusalsky O P,. Vkhodasevich V. Surf CoatTechnol, 1998; 103/104: 323 [11] Zhang T H, Wu Y G. Optimizing Pressing of Ion Implantation. Beijing: Metallurgical industry Press, 1993: 155(张通和,吴瑜光.离子注入表面优化技术.北京:冶金工业出版社,1993:155) [12] Zhang T H, Wu Y G, Ji C Z. Nucl Instrum Methods, 1992;B67: 458 [13] Wang A M, Ji C Z, Zhang T H. J Beijing Norm Univ(NatSci), 1992; 28: 482(王安明,姬成周,张通和.北京师范大学学报(自然科学版),1992;28:482) [14] Ji C Z, Wang A M, Zhang T H. J Beijing Norm Univ (NatSci), 1992; 28: 323(姬成周,王安明,张通和.北京师范大学学报(自然科学版),1992;28:323) [15] Ozturk O, Williamson D L. J Appl Phys, 1995; 77: 3839 [16] Zhang T H, Wu Y G. Material Modification Science andIts Application by Ion Beam. Beijing: Metallurgical Industry Press, 1999: 42(张通和,吴瑜光.离子束材料表面改性科学及应用.北京:冶金工业出版社,1999:42) [17] Kpcewie M, Jagielski J, Gawlik G. Nucl Instram Methods,1995; B95: 208 [18] Bai B. Master Thesis, Southwest Jiaotong University,Chengdu, 1999: 47(白 彬.西南交通大学硕士学位论文,成都,1999:47) [19] Shi D K. Dislocation and Strength of Materials. Xi'an:Xi'an Jiaotong University Press, 1988: 62(石德珂.位错与材料强度. 西安:西安交通大学出版社,1988:62)M [1] 江河, 佴启亮, 徐超, 赵晓, 姚志浩, 董建新. 镍基高温合金疲劳裂纹急速扩展敏感温度及成因[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1190-1200. [2] 丁桦, 张宇, 蔡明晖, 唐正友. 奥氏体基Fe-Mn-Al-C轻质钢的研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1027-1041. [3] 刘兴军, 魏振帮, 卢勇, 韩佳甲, 施荣沛, 王翠萍. 新型钴基与Nb-Si基高温合金扩散动力学研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 969-985. [4] 李小涵, 曹公望, 郭明晓, 彭云超, 马凯军, 王振尧. 低碳钢Q235、管线钢L415和压力容器钢16MnNi在湛江高湿高辐照海洋工业大气环境下的初期腐蚀行为[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 884-892. [5] 王宗谱, 王卫国, Rohrer Gregory S, 陈松, 洪丽华, 林燕, 冯小铮, 任帅, 周邦新. 不同温度轧制Al-Zn-Mg-Cu合金再结晶后的{111}/{111}近奇异晶界[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 947-960. [6] 王法, 江河, 董建新. 高合金化GH4151合金复杂析出相演变行为[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 787-796. [7] 冯艾寒, 陈强, 王剑, 王皞, 曲寿江, 陈道伦. 低密度Ti2AlNb基合金热轧板微观组织的热稳定性[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 777-786. [8] 王福容, 张永梅, 柏国宁, 郭庆伟, 赵宇宏. Al掺杂Mg/Mg2Sn合金界面的第一性原理计算[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 812-820. [9] 徐磊, 田晓生, 吴杰, 卢正冠, 杨锐. 热等静压成形Inconel 718粉末合金的显微组织和力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 693-702. [10] 许林杰, 刘徽, 任玲, 杨柯. Cu对Ni-Ti合金抗支架内再狭窄与耐蚀性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 577-584. [11] 张志东. 铁磁性三维Ising模型精确解及时间的自发产生[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 489-501. [12] 程远遥, 赵刚, 许德明, 毛新平, 李光强. 奥氏体化温度对Si-Mn钢热轧板淬火-配分处理后显微组织和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(3): 413-423. [13] 王迪, 贺莉丽, 王栋, 王莉, 张思倩, 董加胜, 陈立佳, 张健. Pt-Al涂层对DD413合金高温拉伸性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(3): 424-434. [14] 李斗, 徐长江, 李旭光, 李双明, 钟宏. La掺杂P型CeyFe3CoSb12 热电材料及涂层的热电性能[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 237-247. [15] 徐文国, 郝文江, 李应举, 赵庆彬, 卢炳聿, 郭和一, 刘天宇, 冯小辉, 杨院生. 微量Al、Ti对Inconel 690合金高温氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1547-1558. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed