金属学报  1998, Vol. 34 Issue (3): 305-312

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CVD金刚石薄膜及膜-基界面形态

匡同春;刘正义;周克崧;王德政;代明江

华南理工大学机电系;广州;510641;华南理工大学机电系;广州;510641;广州有色金属研究院;广州;510651;广州有色金属研究院;广州;510651;广州有色金属研究院;广州;510651

MORPHOLOGIES AND STRUCTURES OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITED DIAMOND FILMS AND FILM-SUBSTRATE INTERFACES

KUANG Tongchun; LIU Zhengyi(Department of Mechanical and Electric Engineering; South China University of Technology; Guangzhou 510641 )ZHOU Kesong; WANG Dezheng; DAI Mingjiang (Guangzhou Research Institute of Non-Ferrous Metals; Guangzhou 510651)

匡同春;刘正义;周克崧;王德政;代明江. CVD金刚石薄膜及膜-基界面形态[J]. 金属学报, 1998, 34(3): 305-312.
, , , , . MORPHOLOGIES AND STRUCTURES OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITED DIAMOND FILMS AND FILM-SUBSTRATE INTERFACES[J]. Acta Metall Sin, 1998, 34(3): 305-312.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(4965 KB)   摘要: 采用直流等离子体财流CVD法在硬质合金基体上沉积了多晶金刚石薄膜，借助XRD、Raman光谱、SEM和EPMA等对金刚石薄膜及膜-基界面的结构、形貌和成分进行了研究.结果表明，结晶度高的刻面型金刚石薄膜质量、纯度较好，膜-基界面处较致密，机械锚固作用明显，结合性能较好沉积前后基体表面形貌变化很大，存在数十微米厚的脱钴-等离子体刻蚀层，等离子体刻蚀导致脱钻表面更加凹凸不平，为金刚石形核提供了有利条件. 关键词 ： CVD金刚石薄膜,  界面,  结合性能,  形态     Abstract：Polycrystalline diamond films were deposited on cemented carbide substrates using direct current plasma jet chemical vapor deposition (CVD) method. The structures, morphologies and compositions of diamond films and film-substrate interfaces have been characterized by XRD, Raman spectroscopy, SEM and EPMA. The results show that the faceted type diamond film with high crystallinity has good quality, high purity and excellent adhesion. Its film-substrate interface is dense and tortuous, and there is a significant mechanical anchoring effect between diamond film and substrate. The morphologies of substrate surfaces change greatly after deposition, there is several tens of microns in thickness cobalt-etched layer sequentially etched by plasma. The plasma etching leads to the cobalt-etched layer much rougher, which is beneficial to the diamond nucleation. Key words： chemical vapor deposited diamond film    interface    adhesion    morphology 收稿日期: 1998-03-18      基金资助:广东省科委资助项目!950263;;广东省高教厅资助!960004 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 匡同春 刘正义 周克崧 王德政 代明江 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1998/V34/I3/305 1姚英学, 张宏志, 袁哲俊, 黄树涛. 高技术通讯,1996; 1: 54(YaO Yingxue, Zhang Hongzhi, Yuang Zhejun, Huang Shutao. High Technol Lett, 1996; 1: 54) 2Soderberg S, Gerendas A, Sjostrand M. Vacuum, 1990; 41: 1317 3Park B S, Baik Y J, Lee K R. Diamond Relat Maten 1993; 2: 910 4Zhou Kesong, Wang Jian, Wang Desheng. Trans Non-Fermus Metals Soc Chin, 1993; 3(3): 88 5Klein C A, Cardmale G F. Diamond Relat Maten 1993; 2: 918 6Chalker P R, Jones A M, Johnston C, Buckley-Golder I M. Surf Coat Technol, 1991; 47: 365 7何崇智, 郗秀英杰, 孟庆恩, 余玉, 吕世琴. X射线衍射实验技术. 上海: 上海科学技术出版社, 1988:321(He Chognzhi, Xi Xiurong, Meng Qing'en, Tong Yukun, LU Shiqin. Eperimental TeChnique of X-rayDiffraction. Shanghai: Shanghai Press of Science and Technology 1988: 321) 8Boppart H, Straaten J V, Silvera I F. Phys Rev, 1985; B32: 1423 9Soto Y, Kamo M. Surf Coat Technol, 1989; 39/40: 183 10Cheng T K, Tyan Y Y, Ting H H, Hsu S E. J Mater Res, 1990; 5: 2515 [1] 宫声凯, 刘原, 耿粒伦, 茹毅, 赵文月, 裴延玲, 李树索. 涂层/高温合金界面行为及调控研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1097-1108. [2] 王宗谱, 王卫国, Rohrer Gregory S, 陈松, 洪丽华, 林燕, 冯小铮, 任帅, 周邦新. 不同温度轧制Al-Zn-Mg-Cu合金再结晶后的{111}/{111}近奇异晶界[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 947-960. [3] 王福容, 张永梅, 柏国宁, 郭庆伟, 赵宇宏. Al掺杂Mg/Mg2Sn合金界面的第一性原理计算[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 812-820. [4] 李谦, 孙璇, 罗群, 刘斌, 吴成章, 潘复生. 镁基材料中储氢相及其界面与储氢性能的调控[J]. 金属学报, 2023, 59(3): 349-370. [5] 夏大海, 计元元, 毛英畅, 邓成满, 祝钰, 胡文彬. 2024铝合金在模拟动态海水/大气界面环境中的局部腐蚀机制[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 297-308. [6] 陈凯旋, 李宗烜, 王自东, Demange Gilles, 陈晓华, 张佳伟, 吴雪华, Zapolsky Helena. Cu-2.0Fe合金等温处理过程中富Fe析出相的形态演变[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1665-1674. [7] 周小宾, 赵占山, 汪万行, 徐建国, 岳强. 渣-金界面气泡夹带行为数值物理模拟[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1523-1532. [8] 沈莹莹, 张国兴, 贾清, 王玉敏, 崔玉友, 杨锐. SiCf/TiAl复合材料界面反应及热稳定性[J]. 金属学报, 2022, 58(9): 1150-1158. [9] 宋庆忠, 潜坤, 舒磊, 陈波, 马颖澈, 刘奎. 镍基高温合金K417G与氧化物耐火材料的界面反应[J]. 金属学报, 2022, 58(7): 868-882. [10] 郑士建, 闫哲, 孔祥飞, 张瑞丰. 纳米金属层状材料强塑性的界面调控[J]. 金属学报, 2022, 58(6): 709-725. [11] 丁宗业, 胡侨丹, 卢温泉, 李建国. 基于同步辐射X射线成像液/固复层界面氢气泡的形核、生长演变与运动行为的原位研究[J]. 金属学报, 2022, 58(4): 567-580. [12] 卢磊, 赵怀智. 异质纳米结构金属强化韧化机理研究进展[J]. 金属学报, 2022, 58(11): 1360-1370. [13] 王硕, 王俊升. Al-Li合金中 δ′/θ′/δ′复合沉淀相结构演化及稳定性的第一性原理探究[J]. 金属学报, 2022, 58(10): 1325-1333. [14] 胡标, 张华清, 张金, 杨明军, 杜勇, 赵冬冬. 界面热力学与晶界相图的研究进展[J]. 金属学报, 2021, 57(9): 1199-1214. [15] 赵宇宏, 景舰辉, 陈利文, 徐芳泓, 侯华. 装甲防护陶瓷-金属叠层复合材料界面研究进展[J]. 金属学报, 2021, 57(9): 1107-1125. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed