金属学报  2001, Vol. 37 Issue (9): 922-926

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Al合金等离子体基离子注入形成AlN/DLC层结构研究

廖家轩　 夏立芳　 孙跃

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院;哈尔滨150001

廖家轩; 夏立芳; 孙跃 . Al合金等离子体基离子注入形成AlN/DLC层结构研究[J]. 金属学报, 2001, 37(9): 922-926 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(198 KB)   摘要: 用X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入N+原位注入C形成AlN/DLC(类金刚石碳膜)改性层的成分分布及相结构,用激光Raman光谱分析了表面单一碳层的结构,对过渡层元素进行了Gaussian-Lorentzion峰位拟合分析.结果表明,N浓度在注入层呈Gauss分布,C浓度沿注入方向逐渐减小.C的注入使N分布有所拓宽.C在表面还能形成一层单一稳定的400 nm厚的DLC膜.过渡层主要由Al4C3,Al2O3,AlN,β-C3N4等组成.改性层总厚度达800 nm. 关键词 ： 铝合金,  等离子体基离子注入     Key words： 收稿日期: 2000-11-03      ZTFLH:  TG142.2   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 廖家轩 夏立芳 孙跃 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2001/V37/I9/922 [1] Guzman L, Bonini G, Adami M, Ossi P M, Miotello A,Vittori-Antisari M, Serventi A M, Voltolini E. Surf CoatTechnol, 1996; 83: 284. [2] Xia L F, Wang R Z, Ma X X, Sun Y. J Vac Sci Technol,1994; B12: 931 [3] Lucas S, Chevallier J. Surf Coat Technol, 1994; 65: 128 [4] Madakson Peter B. J Appl Phys, 1984; 55: 3308 [5] Conrad J R, Radtke J L, Dodd R A, Frank J W, Ngoc CT. J Appl Phys, 1987; 62: 4591 [6] Xia L F. CN ZL921137176, 1992(夏立芳.中国专利　921137176,1992) [7] Gunzel R, Wieser E, Richter E, Steffen J. J Vac Sci Tech-nol, 1994; 12B: 927 [8] Walter K C. J Vac Sci Technol, 1994; 12B: 945 [9] Zhan Z J, Ma X X, Sun Y, Xia L F, Liu Q Y. Surf CoatTechnol, 2000; 128-129: 256 [10] Moulder J F, Stickle W F, Sobol P E, Bomben K D. Hand-book of X-ray Photoelectron Spectroscopy. Minnesota:Physical Electronics, 1995. 137 [11] Liao J X, Xia L F. Chin J Nonferrous Met, 2001; 11: 449(廖家轩,夏立芳 中国有色金属学报,2001;11:449) [12] Diane S K, William B W. J Mater Res, 1989: 385 [13] Dowling D P, Ahern M J, Kelly T C, Meenan S J, BrownN M D, Connor G M O, Glynn T J. Surf Coat Technol,1992; 53: 177 [14] Hauert R, Patscheider J, Tobler M, Zehringer R. Surf Sci,1993; 292: 121 [15] Ernst K H, Patscheider J, Hauert R, Tobler M. Surf In-terface Anal, 1994; 21: 32 [16] Matsumoto S, Xie E Q, Izumi F. Diamond Relat Mater,1999; 8: 1175 [17] Werninghaus T, Zahn D R T, Wang E G, Chen Y. Dza-mond Relat Mater, 1998; 7: 52 [18] Anna E D, De Giorgi M L, Luches A, Martino M, PerroneA, Zocco A. Thin Solid Films, 1999; 347. 72 [19] Ziegler J F, Biersack J P. The Stopping and Range of Ionsin Solids, New York: Pergamer Press, 1985: 302 [20] Lucas S, Terwagne G, Bodart F. Nucl Instrum Methods,1990; 50B: 401 [1] 王宗谱, 王卫国, Rohrer Gregory S, 陈松, 洪丽华, 林燕, 冯小铮, 任帅, 周邦新. 不同温度轧制Al-Zn-Mg-Cu合金再结晶后的{111}/{111}近奇异晶界[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 947-960. [2] 夏大海, 计元元, 毛英畅, 邓成满, 祝钰, 胡文彬. 2024铝合金在模拟动态海水/大气界面环境中的局部腐蚀机制[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 297-308. [3] 高建宝, 李志诚, 刘佳, 张金良, 宋波, 张利军. 计算辅助高性能增材制造铝合金开发的研究现状与展望[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 87-105. [4] 马志民, 邓运来, 刘佳, 刘胜胆, 刘洪雷. 淬火速率对7136铝合金应力腐蚀开裂敏感性的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(9): 1118-1128. [5] 宋文硕, 宋竹满, 罗雪梅, 张广平, 张滨. 粗糙表面高强铝合金导线疲劳寿命预测[J]. 金属学报, 2022, 58(8): 1035-1043. [6] 王春辉, 杨光昱, 阿热达克·阿力玛斯, 李晓刚, 介万奇. 砂型3DP打印参数对ZL205A合金铸造性能的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(7): 921-931. [7] 高川, 邓运来, 王冯权, 郭晓斌. 蠕变时效对欠时效7075铝合金力学性能的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(6): 746-759. [8] 田妮, 石旭, 刘威, 刘春城, 赵刚, 左良. 预拉伸变形对欠时效7N01铝合金板材疲劳断裂的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(6): 760-770. [9] 苏凯新, 张继旺, 张艳斌, 闫涛, 李行, 纪东东. 微弧氧化6082-T6铝合金的高周疲劳性能及残余应力松弛机理[J]. 金属学报, 2022, 58(3): 334-344. [10] 王冠杰, 李开旗, 彭力宇, 张壹铭, 周健, 孙志梅. 高通量自动流程集成计算与数据管理智能平台及其在合金设计中的应用[J]. 金属学报, 2022, 58(1): 75-88. [11] 赵婉辰, 郑晨, 肖斌, 刘行, 刘璐, 余童昕, 刘艳洁, 董自强, 刘轶, 周策, 吴洪盛, 路宝坤. 基于Bayesian采样主动机器学习模型的6061铝合金成分精细优化[J]. 金属学报, 2021, 57(6): 797-810. [12] 孙佳孝, 杨可, 王秋雨, 季珊林, 包晔峰, 潘杰. 5356铝合金TIG电弧增材制造组织与力学性能[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 665-674. [13] 陈军洲, 吕良星, 甄良, 戴圣龙. AA 7055铝合金时效析出强化模型[J]. 金属学报, 2021, 57(3): 353-362. [14] 刘刚, 张鹏, 杨冲, 张金钰, 孙军. 铝合金中的溶质原子团簇及其强韧化[J]. 金属学报, 2021, 57(11): 1484-1498. [15] 李吉臣, 冯迪, 夏卫生, 林高用, 张新明, 任敏文. 非等温时效对7B50铝合金组织及性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(9): 1255-1264. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed