金属学报  2002, Vol. 38 Issue (9): 932-935

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Au/NiCr/Ta多层金属膜择优取向与残余应力的关系

唐武　 徐可为　 王平　 李弦

西安交通大学金属材料强度国家重点实验室;西安710049

唐武; 徐可为; 王平; 李弦 . Au/NiCr/Ta多层金属膜择优取向与残余应力的关系[J]. 金属学报, 2002, 38(9): 932-935 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(180 KB)   摘要: 研究了Au/NiCr/Ta多层金属膜的择优取向、残余应力以及它们之间的关系.结果表明,在实验范围内,残余应力随沉积温度变化不大,沉积态薄膜均表现为残余拉应力,经400℃Ar气中退火60 min转变为压应力.相应出现(111)与(200)衍射峰相对强度比值减小.Au(200)取向增加时,倾向为压应力,择优取向最大时有最低的平均残余压应力;Au(111)择优取向最大时有最高的平均残余拉应力;说明Au膜的择优取向和残余应力状态存在一定的联系. 关键词 ： Au/NiCr/Ta膜,  择优取向,  残余应力     Key words： 收稿日期: 2001-11-19      ZTFLH:  TG115.9   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 唐武 徐可为 王平 李弦 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2002/V38/I9/932 [1] Shute C J, Cohen J B. J Mater Res, 1991; 5: 950 [2] Borgesen P, Lee J K, Gleixner R, Li C Y. Appl Phys Lett,1992; 60: 1706 [3] Vinci R P, Marieb T N, Bravman J C. Mater Res SocSymp Proc, 1993; 308: 297 [4] Cullity B D. Elements of X-Ray Diffraction. Reading,Mass: Addison-Wesley, 1978: 456 [5] Xu K W, He J W. Rare Met Mater Eng, 1989; 5: 7 （徐可为,何家文.稀有金属材料与工程,1989;5:7） [6] Bunshah R F. Proc 7th Int Vac Cong and 3rd Int ConfSolid Surface, Vienna, 1977: 1553 [7] Mayadas A F, Shatzkes M. Phys Rev, 1970; B1: 1382 [8] Attardo M J, Rosenberg R. J Appl Phys, 1970; 41: 2381 [9] Vaidya S, Sinha A K. Thin Solid Films, 1981; 75: 253 [10] Xu K W, Gao R S, Chen J. Vac Sci Technol , 1993; 13: 108 （徐可为,高润生,陈 谨.真空科学与技术,1993;13:108） [11] Zhang J M, Xu K W, Ji V. Appl Surf Sci, 2002; to bepublished [12] Ljungcrantz H, Hultman L, Sundgren J E. J Vac Sci Technol, 1993; 11A: 543 [13] Burnett A F, Cech J M. J Vac Sci Technol, 1993; 11A:297 [14] Murarka S P. Mater Sci Eng, 1997; R19: 87 [15] Ray R A, Cuomo J J, Yee D S. J Vac Sci Technol , 1988;6A: 1621 [16] Kim S P, Choi H M, Choi S K. Thin Solid Films, 1998;322: 298 [17] Zhang J M, Xu K W, Ji V. Appl Surf Sci, 2001; 180: 1 [18] Zhang J M, Xu K W, Ji V. J Cryst Growth, 2001; 226:168 [19] Murakami M, Angelillo J, Huang H W, Segmuller A, Kircher C J. Thin Solid Films, 1979; 60: 1, [1] 杜金辉, 毕中南, 曲敬龙. 三联冶炼GH4169合金研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1159-1172. [2] 毕中南, 秦海龙, 刘沛, 史松宜, 谢锦丽, 张继. 高温合金锻件残余应力量化表征及控制技术研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1144-1158. [3] 李时磊, 李阳, 王友康, 王胜杰, 何伦华, 孙光爱, 肖体乔, 王沿东. 基于中子与同步辐射技术的工程材料/部件多尺度残余应力评价[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1001-1014. [4] 张开元, 董文超, 赵栋, 李世键, 陆善平. 固态相变对Fe-Co-Ni超高强度钢长臂梁构件焊接-淬火过程应力和变形的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1633-1643. [5] 王重阳, 韩世伟, 谢峰, 胡龙, 邓德安. 固态相变和软化效应对超高强钢焊接残余应力的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1613-1623. [6] 卢海飞, 吕继铭, 罗开玉, 鲁金忠. 激光热力交互增材制造Ti6Al4V合金的组织及力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 125-135. [7] 吴进, 杨杰, 陈浩峰. 纳入残余应力时不同拘束下DMWJ的断裂行为[J]. 金属学报, 2022, 58(7): 956-964. [8] 张新房, 向思奇, 易坤, 郭敬东. 脉冲电流调控金属固体中的残余应力[J]. 金属学报, 2022, 58(5): 581-598. [9] 苏凯新, 张继旺, 张艳斌, 闫涛, 李行, 纪东东. 微弧氧化6082-T6铝合金的高周疲劳性能及残余应力松弛机理[J]. 金属学报, 2022, 58(3): 334-344. [10] 骆文泽, 胡龙, 邓德安. SUS316不锈钢马鞍形管-管接头的残余应力数值模拟及高效计算方法开发[J]. 金属学报, 2022, 58(10): 1334-1348. [11] 李索, 陈维奇, 胡龙, 邓德安. 加工硬化和退火软化效应对316不锈钢厚壁管-管对接接头残余应力计算精度的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(12): 1653-1666. [12] 姜霖, 张亮, 刘志权. Al中间层和Ni(V)过渡层对Co/Al/Cu三明治结构靶材背板组件焊接残余应力的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(10): 1433-1440. [13] 毕中南,秦海龙,董志国,王相平,王鸣,刘永泉,杜金辉,张继. 高温合金盘锻件制备过程残余应力的演化规律及机制[J]. 金属学报, 2019, 55(9): 1160-1174. [14] 秦海龙,张瑞尧,毕中南,杜洪标,张金辉. GH4169合金圆盘时效过程残余应力的演化规律研究[J]. 金属学报, 2019, 55(8): 997-1007. [15] 戴培元,胡兴,逯世杰,王义峰,邓德安. 尺寸因素对2D轴对称模型计算不锈钢管焊接残余应力精度的影响[J]. 金属学报, 2019, 55(8): 1058-1066. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed