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金属学报  1991, Vol. 27 Issue (5): 116-119    
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溅射NdFeB薄膜合金的磁各向异性
顾本喜;翟宏如;H.HOMBURG;S.METHFESSEL
南京大学;南京大学;西德波鸿鲁尔大学;西德波鸿鲁尔大学
MAGNETIC ANISOTROPY IN SPUTTERED NdFeB FILMS
GU Benxi;ZHAI Hongru Nanjing University; HOMBURG H; METHFESSEL S Ruhr-Universitat Bochum; Germany
引用本文:

顾本喜;翟宏如;H.HOMBURG;S.METHFESSEL. 溅射NdFeB薄膜合金的磁各向异性[J]. 金属学报, 1991, 27(5): 116-119.
, , , . MAGNETIC ANISOTROPY IN SPUTTERED NdFeB FILMS[J]. Acta Metall Sin, 1991, 27(5): 116-119.

全文: PDF(337 KB)  
摘要: 用RF溅射方法在不同的基片温度下制备了非晶态和晶态NdFeB溥膜合金。研究了薄膜合金的磁各向异性。在600℃溅射得到的晶态样品具有强的垂直各向异性和高的矫顽力。由非晶态晶化得到的晶态合金也呈现了较强的垂直各向异性。
关键词 NdFeB薄膜合金各向异性    
Abstract:The amorphous and crystalline Nd-Fe-B films were prepared by RF sputtering at different substrate temperatures. The crystalline specimens, prepared at 600℃ have strong perpendicular anisotropy and high coercivity. And the cystallized alloy from amorphous state has strong perpendicular anisotropy too.
Key wordsNdFeB    film alloy    anisotropy
收稿日期: 1991-05-18     
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