金属学报  1996, Vol. 32 Issue (12): 1270-1274

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基材温度对离子镀TiN膜性能的影响

于力;刘技文;赵杰;戴少侠;金柱京;王慧君

中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀与防护国家重点实验室;天津大学冶金分校

EFFECT OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON THE PROPERTIES OF ION PLATING TiN FILMS

YU Li; LIU Jiwen;ZHAO Jie; DAI Shaoxia;JIN Zhujing;WANG Huijun(State Key Laboratory of Corroston and Protection;Institute of Corroston and Protection of Metals; Chinese Academy of Sciences;Shenyang;110015)( Metallurgical College; Mianjing Universily;Tianjin 300400 )(Manuscript received 1995-12-06; in revised form 1996-09-02)

于力;刘技文;赵杰;戴少侠;金柱京;王慧君. 基材温度对离子镀TiN膜性能的影响[J]. 金属学报, 1996, 32(12): 1270-1274.
, , , , , . EFFECT OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON THE PROPERTIES OF ION PLATING TiN FILMS[J]. Acta Metall Sin, 1996, 32(12): 1270-1274.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(339 KB)   摘要: 利用空心阴极离子镀膜设备制备了不同基材加热温度（１５０，２５０，３５０和４５０℃）的ＴｉＮ膜．对其硬度和耐磨性的检测结果表明，随着基材温度的升高，ＨＶ呈缓慢上升趋势；耐磨性基本一致．同时，通过Ｘ射线衍射及扫描电子显微镜的观察，探讨了基材温度对其性能及组织形貌的影响． 关键词 ： ＴｉＮ膜,  离子镀,  基材温度     Abstract：The TiN films were deposited onto low carbon steel substrate materials by hollow cathode discharge ion plating instrument under different substrate temperatures (150,250, 350 and 450℃),and the microhardness and wear resistance were measured.The results show that the values of HV of TiN films slightly increase but the varies of wear resistance can be neglected with change of the substrate temperature. Meanwhile,the textures of tin films were analysis by X-ray diffraction and their morphologies were also observed by scanning electron microscope(SEM). Key words： TiN film    ion plating    substrate tempertature      基金资助:天津２１世纪青年科学基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 于力 刘技文 赵杰 戴少侠 金柱京 王慧君 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1996/V32/I12/1270 1RudigierH,BergmannE,VogelJ．SurfCoatTechnol,1988;36:6752HelmerssonU,SundgrenJE,GreeJE．JVacSciTechnol,1986;4A:5003HibbsMK,JohanssonBO,SundgrenJE,HelmerssonU．ThinSolidFilms,1989;122:1154ChengCC,ErdenirA,FenskeGR．SurfCoatTechnol,1989;39:3655BharatBhushan,GuptaBK．HandbookofTribology．NewYork:McGraw-HillInc,1991:9,326MovchanBA,DemchishinAV．PhysMetMetallogr,1969;28:837蔡泽高,刘以宽,王承忠,郑文龙．金属磨损与断裂．上海:上海交通大学出版社,1985:408孙家枢．金属的磨损．北京:冶金工业出版社,1002:137n [1] 刘冠熙, 黄光宏, 罗学昆, 申造宇, 何利民, 李建平, 牟仁德. 表面喷丸处理对NiCrAlYSi涂层恒温氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 684-692. [2] 郭腾, 李洪涛, 蒋百灵, 邢益彬, 张新宇. 离子镀过程中基体“热影响区”的演变及其对镀层的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 463-469. [3] 刘进,劳远侠,汪渊. Cu对AlN/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2017, 53(4): 465-471. [4] 赵时璐,张震,张钧,王建明,张正贵. 多弧离子镀TiAlZrCr/(Ti, Al, Zr, Cr)N梯度膜的微观结构与耐磨损性能*[J]. 金属学报, 2016, 52(6): 747-754. [5] 彭新, 姜肃猛, 孙旭东, 宫骏, 孙超. 梯度NiCoCrAlYSi涂层的循环氧化及热腐蚀行为*[J]. 金属学报, 2016, 52(5): 625-631. [6] 韩克昌,刘一奇,林国强,董闯,邰凯平,姜辛. 宽固溶区过渡金属氮化物MNx (M=Ti, Zr, Hf)硬质薄膜原子尺度强化机制研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(12): 1601-1609. [7] 杨超,蒋百灵,冯林,郝娟. 靶面放电特性对沉积粒子离化率及沉积行为的影响*[J]. 金属学报, 2015, 51(12): 1523-1530. [8] 吴多利, 姜肃猛, 范其香, 宫骏, 孙超. 镍基高温合金Al-Cr涂层的恒温氧化行为*[J]. 金属学报, 2014, 50(10): 1170-1178. [9] 时惠英 龙艳妮 蒋百灵 陈迪春. 打底层对铝合金表面GLC镀层组织和摩擦学特性的影响[J]. 金属学报, 2012, 48(8): 983-988. [10] 于大千,卢旭阳,马军,姜肃猛,刘山川,宫骏,孙超. 梯度NiCrAlY涂层的1000和1100 ℃氧化行为研究[J]. 金属学报, 2012, 48(6): 759-768. [11] 常正凯, 肖金泉, 陈育秋, 刘山川, 宫骏, 孙超. 电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究[J]. 金属学报, 2012, 48(5): 547-554. [12] 卢旭阳, 于大千, 姜肃猛, 刘山川,宫骏, 孙超. (NiCoCrAlYSiB+AlSiY)复合涂层热腐蚀行为的研究[J]. 金属学报, 2012, 48(4): 461-468. [13] 时婧 裴志亮 宫骏 孙超 MUDERS C M 姜辛. Si含量对电弧离子镀Ti-Al-Si-N薄膜组织结构和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2012, 48(11): 1349-1356. [14] 王维新 姜肃猛 卫广智 马军 宫骏 孙超. NiCoCrAlYSiB+AlSiY梯度涂层恒温氧化行为[J]. 金属学报, 2011, 47(5): 578-586. [15] 肖金泉 郎文昌 赵彦辉 宫骏 孙超 闻立时. 轴对称磁场对电弧离子镀TiN薄膜结构及摩擦性能的影响[J]. 金属学报, 2011, 47(5): 566-572. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed