磁控溅射制备Fe/Ti多层膜的结构和磁性

金属学报

1996, Vol. 32

Issue (1): 85-90

论文

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磁控溅射制备Fe/Ti多层膜的结构和磁性

王振军;常香荣;平爵云;田中卓;肖纪美;闻立时

北京科技大学;中国科学院金属研究所

STRUCTURE AND MAGNETISM OF DC-MAGNETRON SPUTTERING Fe / Ti PERIODICAL NANO-MULTILAYERS

WANG Zhenjun; CHANG Xiangrong; PING Jueyun; TIAN Zhongzhuo; XIAO Jimei (University of Science and Technology Beijing; Beijing 100083); WEN Lishi (Institute of Metal Research; Chinese Academy of Sciences; Shenyang 110015)(Manuscript received 1995-03-03; in revised form 1995-07-21 )

引用本文:

王振军;常香荣;平爵云;田中卓;肖纪美;闻立时. 磁控溅射制备Fe/Ti多层膜的结构和磁性[J]. 金属学报, 1996, 32(1): 85-90.
, , , , , . STRUCTURE AND MAGNETISM OF DC-MAGNETRON SPUTTERING Fe / Ti PERIODICAL NANO-MULTILAYERS[J]. Acta Metall Sin, 1996, 32(1): 85-90.

全文: PDF(336 KB)

摘要: 用磁控溅射技术制备了系列Ｆｅ／Ｔｉ纳米多层膜，周期调制在２２—２４０ｎｍ：用透射电镜和小角、高角Ｘ射线衍射分别研究了样品的结构；用振动样品磁强计和Ｍｏｓｓｂａｕｅｒ谱研究了样品的磁性．发现铁层厚度在２ｎｍ附近时存在铁磁性面心立方γ－Ｆｅ，样品的易磁化方向平行于膜面；随调制周期增大，样品的饱和磁化强度增加，矫顽力下降且与结晶状态有关．

关键词 ：Ｆｅ／Ｔｉ多层膜, γ－Ｆｅ, 磁控溅射

Abstract：A series of Fe/Ti periodical nano-miltilayers was prepared by DC-magnetron sputtering. The modulation period is between 2.2 and 24 nm. The structure of the specimens was examined by TEM and small-or high-angle X-ray diffraction technique. Their magnetism was also studied by the vibratory sample magnetometer and Mossbauer spectrum. The face-centred cubic Fe was found in multilayers containing thinner Fe layers nearby 2 nm. The saturation magnetization increases and the coercivity decreases with increasing modulation period.Correspondent: WANG Zhenjun,(Department of Materials Physics, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083)

Key words： Fe / Ti multilayer γ-Fe DC-magnetron sputtering

收稿日期: 1996-01-18

基金资助:国家自然科学基金

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