激光合成纳米晶Si粉及粉体性能表征

金属学报

1995, Vol. 31

Issue (13): 21-25

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激光合成纳米晶Si粉及粉体性能表征

李亚利;梁勇;肖克沈;郑丰;胡壮麒

中国科学院金属研究所快速凝固非平衡合金国家重点实验室

LASER SYNTHESIS AND CHARACTERIZATION OF NANO-CRYSTALLINE Si POWDER

LI Yali; LIANG Yong; XIAO Keshen; ZHENG Feng; HU Zhuangqi(State Key Lab of RSA ; Institute of Metal Research; Chinese A cademy of Sciences; Shenyang 110015)(Manuscript received 94-02-28)

引用本文:

李亚利;梁勇;肖克沈;郑丰;胡壮麒. 激光合成纳米晶Si粉及粉体性能表征[J]. 金属学报, 1995, 31(13): 21-25.
, , , , . LASER SYNTHESIS AND CHARACTERIZATION OF NANO-CRYSTALLINE Si POWDER[J]. Acta Metall Sin, 1995, 31(13): 21-25.

全文: PDF(352 KB)

摘要: 本文采用激光诱导高纯硅烷气相反应在不同的合成条件下制备出平均粒径为２０—１００ｎｍ。晶粒度为１８—３７ｎｍ的各种纳米Ｓｉ粉。研究了实验参数对粉体形成的影响并采用多种测试手段（ＴＥＭ．ＸＰＳ，ＸＲＤ，ＦＴＩＲ．ＢＥＴ）研究了粉体粒子形貌、键结构特征及表面状态。结果表明。粉体由团聚态形状不规各单分散球形的多晶粒子组成。较低的激光功率似加大稀释Ａｒ气量有利于单分散细粒子的形成。粉体氧杂质含量为２．０—３．０ｗｔ－％。主要以Ｏ－Ｓｉ－Ｈ键状态存在于粒子表面，是由粉体暴露空气后粒子表面产生化学吸附氧形成的。

关键词 ：激光合成, 纳米晶, Ｓｉ粉、Ｓｉ＿３Ｎ＿４

Abstract：Nano-crystalline Si powder with mean particle diameter of 20 -100 nm and grain diameter of 18-37 nm has been synthesized by laser-induced high purity silane gas reaction. The influences of processing parameters on the formation of the powders was studied and the powders produced were characterized by various techniques (TEM. XPS. XRD.FTIR and BET). Results show that the powder consists of monodispersed spherical particles and agglomerated irregular particles. The Si powder with monodispersed equiaxed particles with small size are favoured to form under lowering laser power and raising Ar dilute. There is 2.0- 3.0 wt-% of oxygen impurities in the Si powder mainly existing on particle surface in O-Si-H bond state. which came from the chemisorption of the powder to oxygen in air. Correspondent. LI Yali, Institute of Metal Research. Chinese Academy of Sciences Sheayang 110015)

Key words： laser synthesis. nano-crystalline Si powder Si_3N_4

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1CannonWR,DanforthSC,HaggertyJS,MarraRA．JAmCeramSoc,1982;65:3242RitterJE,NairSV,GennariPA,DunlayWA,HaggertyJS,GarveyGJ．AdvCeramMater,1988;3:4153LightfootA、KerHL,HaggertyJS．CeramEngSciProc,1990;11(7—8):8424SheldonBW,HaggertyJS．JAmCeramSoc,1991;74:14175FlintJH．HaggertyJS．In:MessingGLed．CeramicTrans,Westerville．OH．1988:2446梁勇,郑丰．佟百运．材料科学进展．1987:2(2):457HaggertyJS．AD,A14439,1984:49<

[1]	黄鼎, 乔岩欣, 杨兰兰, 王金龙, 陈明辉, 朱圣龙, 王福会. 基体表面喷丸处理对纳米晶涂层循环氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 668-678.
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