金属学报  2003, Vol. 39 Issue (1): 55-60

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电弧离子镀(Ti, Al)N复合薄膜的结构和性能研究

李明升;王福会;王铁钢;宫骏;孙超;闻立时

中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护国家重点实验室;沈阳 110016；中国科学院金属研究所; 沈阳 110016

Investigation of Phase Structure and Performance of (Ti, Al)N Films Deposited by Arc Ion Plating

LI Mingsheng; WANG Fuhui; WANG Tiegang; GONG Jun; SUN Chao; WEN Lishi

State Key Laboratory for Corrosion and Protection; Institute of Metal Research; The Chinese Academy of Sciences; Shenyang 110016;Institute of Metal Reach; The Chinese Academy of Sciences; Shenyang 110016

李明升; 王福会; 王铁钢; 宫骏; 孙超; 闻立时 . 电弧离子镀(Ti, Al)N复合薄膜的结构和性能研究[J]. 金属学报, 2003, 39(1): 55-60 .
, , , , , . Investigation of Phase Structure and Performance of (Ti, Al)N Films Deposited by Arc Ion Plating[J]. Acta Metall Sin, 2003, 39(1): 55-60 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(217 KB)   摘要: 利用电弧离子镀设务在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢基体表面沉积了不同成分的(Ti1-xAlx)薄膜；X射线衍射分析表明，x在0-0.5之间时，薄膜是B1型(NaCl)单相结构;x=0.64时,同时出了B1和B4型(ZnS)两种相结构,x≥0.79时,只出现B4型结构;随着Al含量的增加,晶格常数减小,B1结构的薄膜择优取向由(111)向(220)转变.力学性能测试表明,适当Al含量可以提高薄膜的硬度、膜基结合强度及抗磨损性能;B1结构(Ti, Al)薄膜的氧化实验表明,随着Al含量的增加,薄膜抗氧化性能显著提高. 关键词 ： 电弧离子镀,  (Ti,  Al)N薄膜,  结构变化     Key words： 收稿日期: 2002-03-18      ZTFLH:  TG174.444   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 李明升 王福会 王铁钢 宫骏 孙超 闻立时 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y2003/V39/I1/55 [1] Ikeda T, Satoh H. Thin Solid Films, 1991; 195: 99 [2] McCIure G W. J Appl Phys, 1974; 45: 2078 [3] Sanderw D. J Vac Sci Technol, 1987; A7: 2339 [4] Sprou W D, Thin Solid Films, 1983; 107: 141 [5] Tomas P. Mater Australia, 1986; 18: 16 [6] Sundgren J E, Johasson B O, Karlsson S E. Thin SolidFilm, 1983; 105: 353 [7] Janczsk-Bienk E, Jensen J, Sorensen G. Mater Sci Eng,1991; A140: 696 [8] Serikawa, Okamoto A. Thin Solid Films, 1983; 101: 1 [9] Burg S, Blom H O, Larsson T, Nender C. J Vac Sci Tech-nol, 1987; A5(2) : 202 [10] Freller H, Haessler H. Thin Solid Films, 1987; 153: 712 [11] von Richthofen A, Cremer R, Witthaut M, Domnick R,Neuschutz D. Thin Solid Films, 1998; 312: 190 [12] Wuther R, Yeung W Y, Phillips M K, McCredie G. ThinSolid Films, 1996; 290-291: 339 [13] Danienl J, Kester, Russell M. J Mater Res, 1993; 8: 1828 [14] Makino Y. Mater Sci Eng, 1995; 2: 67 [15] Ikeda T, Satoh H. Thin Solid Films, 1991; 195: 99 [16] Wahlstrom U, Hultman L, Sundgren J E, Adibi F, PetrovI, Greene J E. Thin Solid Films, 1993; 235: 62 [17] Schuster J C, Bauer J. J Solid State Chem, 1984; 53: 260 [18] Holleck H. J Vac Sci Technol, 1986; A4: 2661 [19] Konig U. Surf Coat Technol, 1987; 33: 91 [20] Li D H, Xiao J M. Material Surface and Interface. P106, Beijing: Tsinghua University Press, 1990: 106(李恒德,肖纪美.材料表面与界面.北京:清华大学出版社.1990:106) [21] Gilles S, Bourhila N, Ikeda S, Bernard C, Madar R. SurfCoat Technol, 1997; 94-95: 285 [22] Zhou M, Makino Y, Nose M, Nogi K. Thin Solid Films,1999; 339: 203 [23] Inoue S, Uehida H, Yoshinaga Y, Koterzawa K. Thin SolidFilms, 1997; 300: 171 [1] 唐帅, 蓝慧芳, 段磊, 金剑锋, 李建平, 刘振宇, 王国栋. 铁素体区等温过程中Ti-Mo-Cu微合金钢中的共析出行为[J]. 金属学报, 2022, 58(3): 355-364. [2] 刘冠熙, 黄光宏, 罗学昆, 申造宇, 何利民, 李建平, 牟仁德. 表面喷丸处理对NiCrAlYSi涂层恒温氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 684-692. [3] 孙佳孝, 杨可, 王秋雨, 季珊林, 包晔峰, 潘杰. 5356铝合金TIG电弧增材制造组织与力学性能[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 665-674. [4] 刘东雷, 陈情, 王德, 张睿, 王文琴. Ti-6Al-4V表面电子束熔覆(Ti, W)C1-x复合涂层的形成及摩擦性能[J]. 金属学报, 2020, 56(7): 1025-1035. [5] 张可, 孙新军, 张明亚, 李昭东, 叶晓瑜, 朱正海, 黄贞益, 雍岐龙. Ti-V-Mo复合微合金钢中(Ti, V, Mo)C在γ /α中沉淀析出的动力学[J]. 金属学报, 2018, 54(8): 1122-1130. [6] 赵时璐,张震,张钧,王建明,张正贵. 多弧离子镀TiAlZrCr/(Ti, Al, Zr, Cr)N梯度膜的微观结构与耐磨损性能*[J]. 金属学报, 2016, 52(6): 747-754. [7] 彭新, 姜肃猛, 孙旭东, 宫骏, 孙超. 梯度NiCoCrAlYSi涂层的循环氧化及热腐蚀行为*[J]. 金属学报, 2016, 52(5): 625-631. [8] 韩克昌,刘一奇,林国强,董闯,邰凯平,姜辛. 宽固溶区过渡金属氮化物MNx (M=Ti, Zr, Hf)硬质薄膜原子尺度强化机制研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(12): 1601-1609. [9] 李坤,单际国,王春旭,田志凌. T250马氏体时效钢激光焊接-时效处理接头的强韧性*[J]. 金属学报, 2015, 51(8): 904-912. [10] 吴多利, 姜肃猛, 范其香, 宫骏, 孙超. 镍基高温合金Al-Cr涂层的恒温氧化行为*[J]. 金属学报, 2014, 50(10): 1170-1178. [11] 王长军，孙新军，雍岐龙，李昭,张熹，江陆. 贝氏体相变温度对含Ti和Mo低碳热轧TRIP钢的组织与力学性能影响及析出相的微观结构表征[J]. 金属学报, 2013, 29(4): 399-407. [12] 于大千,卢旭阳,马军,姜肃猛,刘山川,宫骏,孙超. 梯度NiCrAlY涂层的1000和1100 ℃氧化行为研究[J]. 金属学报, 2012, 48(6): 759-768. [13] 常正凯, 肖金泉, 陈育秋, 刘山川, 宫骏, 孙超. 电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究[J]. 金属学报, 2012, 48(5): 547-554. [14] 卢旭阳, 于大千, 姜肃猛, 刘山川,宫骏, 孙超. (NiCoCrAlYSiB+AlSiY)复合涂层热腐蚀行为的研究[J]. 金属学报, 2012, 48(4): 461-468. [15] 赵升升 程毓 常正凯 王铁钢 孙超. (Ti, Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备[J]. 金属学报, 2012, 48(3): 277-282. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed