金属学报  2003, Vol. 39 Issue (9): 979-983

论文 本期目录 | 过刊浏览 |

电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度

纪爱玲 汪伟 宋贵宏

中国科学院金属研究所; 沈阳110016

纪爱玲; 汪伟; 宋贵宏 . 电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度[J]. 金属学报, 2003, 39(9): 979-983 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(194 KB)   摘要: 采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3薄膜，研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响。结果表明，氧流量和脉冲偏压对薄膜的相结构有较大的影响，在氧流量为130cm^3／s、脉冲偏压为-100V时，出现Cr2O3{001}面择优取向；氧流量增高，脉冲偏压增大时，薄膜的表面形貌得到改善；在脉冲偏压为-200V、氧流量为130cmf^3／s时，可获得符合Cr2O3化学计量比的薄膜，其硬度达到36 GPa. 关键词 ： Cr2O3薄膜,  电弧离子镀,  组织结构,  脉冲偏压     Key words： 收稿日期: 2002-12-02      ZTFLH:  TG174.44 TG113.2   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 纪爱玲 汪伟 宋贵宏 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2003/V39/I9/979 [1] Samsonov G V. The Oxide Handbook. 2nd ed., New York:IFI/Plenum, 1982: 192, 195 [2] Bhushan B, Theunissen G S A M , Li X D. Thin SolidFilms, 1997; 311: 67 [3] Zieren V, Jongh M D, Groenou A B V, Zon J B V,Lansinki P, Theunissen G S. IEEE Trans Magn, 1994;30: 340 [4] Zhang J L, Huang J, Ding C. J Them Spray Technol, 1998;7: 242 [5] Hones P , Levy F. J Mater Res, 1999; 14: 3629 [6] Kao A S, Doerner M F, Novotny V J. J Appl Phys, 1989;66: 5315 [7] Contoux G, Cosset F, Celerier A, Machet J. Thin SolidFilms, 1997; 292: 75 [8] Wang D Y, Lin J H, Ho W Y. Thin Solid Films, 1998;332: 295 [9] Bhushan B. Thin Solid Films, 1980; 3: 255 [10] Bermudez V M, DeSisto W J. J Vac Sci Technol, 2001; 19: 576 [11] Cheng C S, Gomi H, Sakata H. Phys Status Solidis, 1996; 155: 417 [12] Abass A K, Jaboori E M. Phys Status Solidis, 1989; 116: K111 [13] Han L M. Plasma Heat Treatment. Tianjin: Tianjin University Press, 1997: 178(韩立民.等离子热处理.天津:天津大学出版社,1997:178) [14] Hong M D. PhD Thesis, Dalian: Dalian University of Technology, 2002(黄美东.大连理工大学博士学位论文, 2002) [15] Auciello O, Kelly R. Beam Modification of Materials 1 ?Ion Bombardment Modification of Surfaces. Fundamentals and Application Amsterdam: Elservier Science Publishers, 1984: 56 [16] Igasaki Y, Mitsuhashi H. Thin Solid Films, 1980; 70: 17 [17] Hibbs M K, Hohansson B O, Sundgren J E, Helmersson U. Thin Solid Films, 1984; 122: 115a [1] 王文权, 杜明, 张新戈, 耿铭章. H13钢表面电火花沉积WC-Ni基金属陶瓷涂层微观组织及摩擦磨损性能[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1048-1056. [2] 刘冠熙, 黄光宏, 罗学昆, 申造宇, 何利民, 李建平, 牟仁德. 表面喷丸处理对NiCrAlYSi涂层恒温氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 684-692. [3] 郭腾, 李洪涛, 蒋百灵, 邢益彬, 张新宇. 离子镀过程中基体“热影响区”的演变及其对镀层的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 463-469. [4] 谭丽丽, 陈军修, 于晓明, 杨柯. 生物可降解MgYREZr合金的研究进展[J]. 金属学报, 2017, 53(10): 1207-1214. [5] 彭新, 姜肃猛, 孙旭东, 宫骏, 孙超. 梯度NiCoCrAlYSi涂层的循环氧化及热腐蚀行为*[J]. 金属学报, 2016, 52(5): 625-631. [6] 韩克昌,刘一奇,林国强,董闯,邰凯平,姜辛. 宽固溶区过渡金属氮化物MNx (M=Ti, Zr, Hf)硬质薄膜原子尺度强化机制研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(12): 1601-1609. [7] 崔文芳,曹栋,秦高梧. 磁控溅射沉积Ti/TiN多层膜的组织特征及耐磨损性能*[J]. 金属学报, 2015, 51(12): 1531-1537. [8] 吴多利, 姜肃猛, 范其香, 宫骏, 孙超. 镍基高温合金Al-Cr涂层的恒温氧化行为*[J]. 金属学报, 2014, 50(10): 1170-1178. [9] 田素贵,王欣,谢君,刘臣,郭忠革,刘姣,孙文儒. GH4169G合金热处理期间的相转变特征与机理分析[J]. 金属学报, 2013, 49(7): 845-852. [10] 于大千,卢旭阳,马军,姜肃猛,刘山川,宫骏,孙超. 梯度NiCrAlY涂层的1000和1100 ℃氧化行为研究[J]. 金属学报, 2012, 48(6): 759-768. [11] 常正凯, 肖金泉, 陈育秋, 刘山川, 宫骏, 孙超. 电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究[J]. 金属学报, 2012, 48(5): 547-554. [12] 卢旭阳, 于大千, 姜肃猛, 刘山川,宫骏, 孙超. (NiCoCrAlYSiB+AlSiY)复合涂层热腐蚀行为的研究[J]. 金属学报, 2012, 48(4): 461-468. [13] 时婧 裴志亮 宫骏 孙超 MUDERS C M 姜辛. Si含量对电弧离子镀Ti-Al-Si-N薄膜组织结构和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2012, 48(11): 1349-1356. [14] 王维新 姜肃猛 卫广智 马军 宫骏 孙超. NiCoCrAlYSiB+AlSiY梯度涂层恒温氧化行为[J]. 金属学报, 2011, 47(5): 578-586. [15] 肖金泉 郎文昌 赵彦辉 宫骏 孙超 闻立时. 轴对称磁场对电弧离子镀TiN薄膜结构及摩擦性能的影响[J]. 金属学报, 2011, 47(5): 566-572. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed