金属学报  2002, Vol. 38 Issue (9): 979-982

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氢等离子体作用下的Zr薄膜氢化特性研究

施立群　 晏国强　 周筑颖　 胡佩钢　 罗顺中　 丁伟

复旦大学现代物理研究所;上海200433

施立群; 晏国强; 周筑颖; 胡佩钢; 罗顺中; 丁伟 . 氢等离子体作用下的Zr薄膜氢化特性研究[J]. 金属学报, 2002, 38(9): 979-982 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(187 KB)   摘要: 本文研究Zr薄膜在等离子体作用下的氢化特性.测试表明,与分子氢相比,氢等离子体作用下氢化速率明显增高,在室温和≈2Pa氢压的DC放电条件下,氧化10 min样品的氢化浓度可达饱和值,即66.67(原子分数,%),远大于该压强下的气体氢化浓度.在非超清洁系统中,等离子体氢化在样品表面产生大量的氧污染和少量的碳污染.少量的表面氧化物并不阻碍等离子体氢化,但随着污染的增加,氢化浓度却大大减少.Ni对样品表面氢分子解离吸附和氢原子再结合逸出有着不同程度的催化作用,在低的放电压强和放电电流下,表面镀Ni使Zr的稳态氢化浓度减小;而在高压强、低电流下,表面镀Ni可增加Zr的氢化效率. 关键词 ： Zr薄膜,  氢化,  等离子体     Key words： 收稿日期: 2001-10-08      ZTFLH:  O53   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 施立群 晏国强 周筑颖 胡佩钢 罗顺中 丁伟 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2002/V38/I9/979 [1] Yamanaka S, Yoshioka K, Uno M, Katsura M, Anada H,Matsuda T and Kobayashi S. J Alloys Compd, 1999; 293-295: 23 [2] Oya Y, Suzuki T, Iinuma K, Morita K, Horikawa T, AbeK. Appl Surf Sci, 2001; 169-170: 246 [3] Bloch J, Mintz M H. J Alloys Compd, 1997; 253-254: 529 [4] Zaluski L, Zaluska A, Strom-Olsen J O. J Alloys Compd,1997; 253-254: 70 [5] Lee S M. Park Y J, Lee H Y, Kim K C, Baik H K. Inter-metallics, 2000; 8: 781 [6] Yoon Y J, Kim K W, Baik H K, Jang S W, Lee S M. ThinSolid Films, 1999; 350: 138 [7] Ashida K, Watanabe K, Ikena S, Mori K. Fusion Eng Design, 1998; 39-40: 1049 [8] Shi L Q, Zhou Z Y, Zhao G Q. J Vac Sci Technol , 2000;A18: 2262 [9] Prodromides A E, Scheuerlein C, Taborelli M. Vacuum,2001; 60: 35 [10] Martin M, Gommel C, Borkhart C, Fromm E. J AlloysCoumpd, 1996; 238: 193 [1] 刘伟, 陈婉琦, 马梦晗, 李恺伦. 聚变堆用W在等离子体作用下的辐照损伤行为研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 986-1000. [2] 彭吴擎亮, 李强, 常永勤, 王万景, 陈镇, 谢春意, 王纪超, 耿祥, 黄伶明, 周海山, 罗广南. 核聚变堆偏滤器热沉材料研究现状及展望[J]. 金属学报, 2021, 57(7): 831-844. [3] 吴玉程. 核聚变堆用W及其合金辐照损伤行为研究进展[J]. 金属学报, 2019, 55(8): 939-950. [4] 吴玉程. 面向等离子体W材料改善韧性的方法与机制[J]. 金属学报, 2019, 55(2): 171-180. [5] 王帅鹏, 罗文华, 李赣, 李海波, 张广丰. La含量对Ce-La合金氢化动力学的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(8): 1187-1192. [6] 周洪波, 李宇浩, 吕广宏. W中H行为的计算模拟研究[J]. 金属学报, 2018, 54(2): 301-313. [7] 孙军, 李苏植, 丁向东, 李巨. 氢化空位的基本性质及其对金属力学行为的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(11): 1683-1692. [8] 夏超, 钱仕, 王东辉, 刘宣勇. 碳离子注入医用Ti性能研究[J]. 金属学报, 2017, 53(10): 1393-1401. [9] 朱敏, 鲁忠臣, 胡仁宗, 欧阳柳章. 介质阻挡放电等离子体辅助球磨及其在材料制备中的应用*[J]. 金属学报, 2016, 52(10): 1239-1248. [10] 杨晓丹, 姜春海, 杨振明, 张劲松. 泡沫SiC负载钴基结构化催化剂的制备及其催化性能*[J]. 金属学报, 2014, 50(6): 762-768. [11] 乐国敏,Godfrey Andrew,刘伟. 烧结细晶Al的微观组织与力学性能研究[J]. 金属学报, 2013, 49(8): 939-945. [12] 雷明凯 王克胜 欧伊翔 张磊. 泵阀用2Cr13马氏体不锈钢等离子体基低能氮离子注入研究[J]. 金属学报, 2011, 47(12): 1490-1494. [13] 于军; 葛昌纯; 孟璐璐; 沈卫平; 燕青芝; 孟月东 . 火花等离子体放电制备高温合金细粉新技术[J]. 金属学报, 2008, 44(7): 892-896 . [14] 刘洪喜; 蒋业华; 周荣; 周荣锋; 金青林; 汤宝寅 . 等离子体浸没离子注入与沉积合成TiN薄膜的滚动接触疲劳寿命和机械性能[J]. 金属学报, 2008, 44(3): 325-330 . [15] 刘慧颖 王学金 王浪平 王小峰 艾红军. 氟离子注入纯Ti表面改性对成骨细胞I型胶原形成和表达的影响[J]. 金属学报, 2008, 44(12): 1485-1490. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed