金属学报  2001, Vol. 37 Issue (3): 243-246

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蒸发淀积Al和Teflon AF薄膜间的相互作用

丁士进　 王鹏飞　 张卫　 王季陶　 张台文　 夏钟福

复旦大学电子工程系;上海200433

丁士进; 王鹏飞; 张卫; 王季陶; 张台文; 夏钟福 . 蒸发淀积Al和Teflon AF薄膜间的相互作用[J]. 金属学报, 2001, 37(3): 243-246 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(145 KB)   摘要: 通过X-射线光电子光谱(XPS),研究了蒸发淀积Al与Teflon AF薄膜间的相互作用.高分辨率Al2p,Ols,Cls和Fls XPS光谱分析表明在Al和Teflon AF界面处有AI的氟化物(AlxFy)以及C-O-Al有机化合物的形成.考虑到蒸发淀积Al前后,CF3基团降低和CF2基团增加,可以认为AlxFy中氟的来源主要是由于CF3基团中一个C-F键断裂而失去的氟原子,同时产生的CF2游离基和其它游离基间结合,导致界面处CF2基团增加. 关键词 ： Al,  Teflon,  AF,  相互作用,  X-射线光电子光谱     Key words： 收稿日期: 2000-09-12      ZTFLH:  TG115.22   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 丁士进 王鹏飞 张卫 王季陶 张台文 夏钟福 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2001/V37/I3/243 [1] Lee W W, Ho P S. MRS Bulletin, 1997; 22 (10): 19 [2] Wu P K, Yang G R, Ma X F, Lu T M. Appl Phys Lett,1994; 65: 508 [3] Nason T C, Moore J A, Lu T M. Appl Phys Lett, 1992;60: 1866 [4] Blanchet G B. Appl Phys Lett, 1993; 62: 479 [5] Ding S J, Wang P F, Zhang W, Wang J T, Lee W W,Zhang Y W, Xia Z F. Chin Phys, 2000; 9: 778 [6] Ding S J, Wang P F, zhang J Y, Zhang W, Wang J T,Zhang Y W, Xia Z F. Chin J Mat Res, accepted (丁士进,王鹏飞,张剑云,张卫,王季陶,张冶文,夏钟福.材料研究学报,待发表) [7] Moulder J F, Stickle W F, Sobol P E, Bomben K D. In:Chastain J ed, Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy, Minoesota: Perkin-Elmer Corporation, 1992:221 [8] Pireaux J J, Vermeersch M, Gregoire C, Thiry P A, Caudano R. J Chem Phys, 1988; 88: 3353 [9] Matienzo L J, Zimmerman J A, Egitto F D. J Vac SciTechnol, 1994; 12A: 2662 [10] Popovici D, Klemberg-Sapieha J E, Czeremuszkin G. Microelectronic Eng, 1997; 33: 2174 [1] 丁桦, 张宇, 蔡明晖, 唐正友. 奥氏体基Fe-Mn-Al-C轻质钢的研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1027-1041. [2] 孙蓉蓉, 姚美意, 王皓瑜, 张文怀, 胡丽娟, 仇云龙, 林晓冬, 谢耀平, 杨健, 董建新, 成国光. Fe22Cr5Al3Mo-xY合金在模拟LOCA下的高温蒸汽氧化行为[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 915-925. [3] 王宗谱, 王卫国, Rohrer Gregory S, 陈松, 洪丽华, 林燕, 冯小铮, 任帅, 周邦新. 不同温度轧制Al-Zn-Mg-Cu合金再结晶后的{111}/{111}近奇异晶界[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 947-960. [4] 袁江淮, 王振玉, 马冠水, 周广学, 程晓英, 汪爱英. Cr2AlC涂层相结构演变对力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 961-968. [5] 吴东江, 刘德华, 张子傲, 张逸伦, 牛方勇, 马广义. 电弧增材制造2024铝合金的微观组织与力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 767-776. [6] 冯艾寒, 陈强, 王剑, 王皞, 曲寿江, 陈道伦. 低密度Ti2AlNb基合金热轧板微观组织的热稳定性[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 777-786. [7] 王福容, 张永梅, 柏国宁, 郭庆伟, 赵宇宏. Al掺杂Mg/Mg2Sn合金界面的第一性原理计算[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 812-820. [8] 刘满平, 薛周磊, 彭振, 陈昱林, 丁立鹏, 贾志宏. 后时效对超细晶6061铝合金微观结构与力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 657-667. [9] 张志东. 铁磁性三维Ising模型精确解及时间的自发产生[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 489-501. [10] 王迪, 贺莉丽, 王栋, 王莉, 张思倩, 董加胜, 陈立佳, 张健. Pt-Al涂层对DD413合金高温拉伸性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(3): 424-434. [11] 王虎, 赵琳, 彭云, 蔡啸涛, 田志凌. 激光熔化沉积TiB2 增强TiAl基合金涂层的组织及力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 226-236. [12] 李斗, 徐长江, 李旭光, 李双明, 钟宏. La掺杂P型CeyFe3CoSb12 热电材料及涂层的热电性能[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 237-247. [13] 朱智浩, 陈志鹏, 刘田雨, 张爽, 董闯, 王清. 基于不同 α / β 团簇式比例的Ti-Al-V合金的铸态组织和力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1581-1589. [14] 居天华, 舒念, 何维, 丁学勇. 合金溶液中溶质间活度相互作用系数预测模型[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1533-1540. [15] 张丽丽, 吉宗威, 赵九洲, 何杰, 江鸿翔. 亚共晶Al-Si合金中微量元素La变质共晶Si的关键影响因素[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1541-1546. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed