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金属学报  1991, Vol. 27 Issue (1): 130-136    
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Fe表面多种离子注入层的研究
王佩璇;孙晓冬;张建伟;张国光;卢浩林;杨启法;徐虬
北京科技大学;北京科技大学;北京科技大学;北京科技大学材料物理系;北京100083;原子能研究院;原子能研究院;原子能研究院
MICROSTRUCTURE OF CARBURIZED LAYERS ON IRON SURFACE IMPLANTED WITH Ni~+, Mo~+ AND B~+ OR THEIR COMBINATIONS
WANG Peixuan;SUN Xiaodong;ZHANG Jianwei;ZHANG Guoguang University of Science and Technology Beijing; LU Haolin. YANG Qifa;XU Qiu Institute of Atomic Energy; Beijing
引用本文:

王佩璇;孙晓冬;张建伟;张国光;卢浩林;杨启法;徐虬. Fe表面多种离子注入层的研究[J]. 金属学报, 1991, 27(1): 130-136.
, , , , , , . MICROSTRUCTURE OF CARBURIZED LAYERS ON IRON SURFACE IMPLANTED WITH Ni~+, Mo~+ AND B~+ OR THEIR COMBINATIONS[J]. Acta Metall Sin, 1991, 27(1): 130-136.

全文: PDF(1548 KB)  
摘要: 本文应用Auger电子能谱及透射电镜研究了纯Fe表面分别注入Ni~+,Mo~+,B~+等单种离子及组合注入3种离子所引起的表面层化学成分分布及微观结构的变化。离子能量50—150keV,剂量5×10~(15)-4×10~(17)Ions/cm~2,室温注入。Auger谱表明,注入Ni~+,Mo~+使表面形成浓度达20—30at.-%的碳化层。组合注入形成较厚的表面非晶层,hcp结构的碳化物及fcc结构的奥氏体相。并对级联效应及辐照增强扩散对碳的渗入及形成非晶层的作用进行了讨论。
关键词 离子注入离子束改性表面渗碳辐照效应    
Abstract:The composition profiles and microstructures of Fe surface layers im-planted with Ni~(+), Mo~(+) or B~(+), respectively, or their combinations have been inves-tigated by AES and TEM. The implantations were carried out with ion energy50--150 keV for dose 5×10~(15)--4×10~(17) ions/cm~2 at room temperature. The residualpressure in the target chamber is around 1.3×10~(-3) Pa. AES shows that a carburiz-ed layer containing 20--30 at.-% C formed at the surface. Its thickness dependson the ion species and the ranges. It has been found that a relatively thick surfaceamorphous layer is formed after combined implantations. Metastable carbides of hcpstructure and fcc austenites are also observed. The effects of collision cascades andthe radiation-enhanced diffusion on the surface carburization and the formation ofamorphous layers are discussed.
Key wordsiron    ion implantation    ion beam modification    surface carburization    radiation effect
收稿日期: 1991-01-18     
基金资助:国家自然科学基金,编号:5860259
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