溅射Co-Cr-Al-Y涂层的结构

金属学报

1989, Vol. 25

Issue (6): 96-101

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溅射Co-Cr-Al-Y涂层的结构

楼翰一;王福会;嵇立润;张立新

中国科学院金属腐蚀与防护研究所;副研究员;沈阳(110015);中国科学院金属腐蚀与防护研究所;中国科学院金属腐蚀与防护研究所;中国科学院金属腐蚀与防护研究所

STRUCTURE OF SPUTTERED Co-Cr-Al-Y COATING

LOU Hanyi;WANG Fuhui;JI Lirun;ZHANG Lixin Institute of Corrosion and Protection of Metals; Academia Sinica; Shenyang LOU Hanyi;associate professor; Institute of Corrosion And Protection of Metals;Academia Sinica. Shenvana 110015

引用本文:

楼翰一;王福会;嵇立润;张立新. 溅射Co-Cr-Al-Y涂层的结构[J]. 金属学报, 1989, 25(6): 96-101.
, , , . STRUCTURE OF SPUTTERED Co-Cr-Al-Y COATING[J]. Acta Metall Sin, 1989, 25(6): 96-101.

全文: PDF(1106 KB)

摘要: 研究了平面磁控溅射Co-30Cr-6Al-0.5Y涂层的结晶组织及溅射参数对它的影响。结果表明,溅射层由hcp ε-Co或fcc α-Co钴固溶体与极少量βCoAl相组成。ε-Co在〈100〉,fcc α-Co在〈110〉方向有择优取向,晶体类型和择优取向程度与溅射条件有关。溅射时样品在靶前固定,则溅射层晶粒细,结构致密,表面光洁度好;样品在靶前旋转,则结果相反。

关键词 ：磁控溅射, Co-Cr-Al-Y涂层

Abstract：The phase composition of Co-30Cr-6Al-0.5Y coating deposited by plan-ar magnetron sputtering as well as the effect of sputtering parameters on it havebeen investigated. The sputtered coating is composed of hcp ε-phase or fcc α-phaseof Co solid solution with a minority β-CoAl intermetallic phase. The hcp ε-Cophase and the fcc α-Co phase assumed a <100> and <110> preferred orientationrespectively. Both phase type and orientation extent depend on the sputtering para-meters. If the substrate surface is paralleled to the target face during sputtering, thecoating will be of fine crystal with compact structure and smooth surface; if it isrotated, the coating will be to the contrary.

Key words： magnetron sputtering Co-Cr-Al-Y coating

收稿日期: 1989-06-18

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