金属学报, 2020, 56(8): 1103-1112 DOI: 10.11900/0412.1961.2019.00410

打印参数对电子束增材制造Ti-Ni合金性能的影响

任德春1,2, 张慧博1, 赵晓东3, 王福雨4, 侯文韬1, 王绍钢1, 李述军1, 金伟,1, 杨锐1

1 中国科学院金属研究所 沈阳 110016

2 中国科学技术大学材料科学与工程学院 沈阳 110016

3 东北大学材料科学与工程学院材料各向异性与织构教育部重点实验室 沈阳 110819

4 中国航空工业集团公司沈阳飞机设计研究所 沈阳 110035

Influence of Manufacturing Parameters on the Properties of Electron Beam Melted Ti-Ni Alloy

REN Dechun1,2, ZHANG Huibo1, ZHAO Xiaodong3, WANG Fuyu4, HOU Wentao1, WANG Shaogang1, LI Shujun1, JIN Wei,1, YANG Rui1

1 Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China

2 School of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology of China, Shenyang 110016, China

3 Key Laboratory for Anisotropy and Texture of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang 110819, China

4 AVIC Shenyang Aircraft Design and Research Institute, Shenyang 110035, China

通讯作者: 金伟,wjin@imr.ac.cn,主要从事形状记忆合金材料研究

责任编辑: 毕淑娟

收稿日期: 2019-11-29   修回日期: 2020-02-28   网络出版日期: 2020-08-11

基金资助: 中国科学院战略性先导科技专项(A类)项目.  XDA22010103

Corresponding authors: JIN Wei, professor, Tel: (024)23971956, E-mail:wjin@imr.ac.cn

Received: 2019-11-29   Revised: 2020-02-28   Online: 2020-08-11

Fund supported: Strategic Priority Research Program of the Chinese Academy of Sciences.  XDA22010103

作者简介 About authors

任德春,男,1991年生,博士生

摘要

利用SEM、XRD、DSC、TEM和等轴压缩等实验手段,研究和分析了打印参数焦距补偿(FO)和速度函数(SF)对电子束增材制造(EBM)制备的Ti-Ni合金显微组织、相组成、相变行为以及压缩性能的影响。结果表明:EBM打印参数FO和SF在一定范围内调节时均可制备出相对密度较高(97%以上)的Ti-Ni合金样品。由于EBM电子束的功率大,在预合金粉末快速受热熔化过程中,Ni元素的挥发效应大于富Ti相Ti2Ni析出效应对相变温度的影响,使得制备Ti-Ni块体的相变温度大于相应的预合金粉末,而打印参数FO和SF对制备样品的相变温度、相组成以及显微硬度的影响较小。EBM制备过程中在样品内部引入不同种类的缺陷类型,使得Ti-Ni合金样品在相对密度接近的情况下压缩性能表现出极大的差异,其中贯穿型裂纹缺陷对压缩性能的影响最大,使Ti-Ni合金的强度和塑性大幅度降低。

关键词: 电子束增材制造 ; Ti-Ni合金 ; 制备参数 ; 显微组织 ; 压缩性能

Abstract

Electron beam melting (EBM) is one of the additive manufacturing technologies which can be used to fabricate the complex structure and shape samples. Until now, there are few literatures published about the properties of Ti-Ni samples produced by EBM. In this work, the influence of two important manufacturing parameters of focus offset (FO) and speed function (SF) on the density, phase content and transformation behavior, microstructure and mechanical properties was investigated for the equiatomic Ti-Ni shape memory alloy fabricated by EBM used DSC, XRD, SEM, TEM and electronic universal testing machine. The results showed that all the Ti-Ni samples had a high relative density beyond than 97% for fabricated by different combinations of FO and SF in the selected range. The corresponding phase transformation temperatures for all the Ti-Ni samples fabricated by EBM were higher than the pre-alloyed Ti-Ni powder, due to the effect of evaporation of Ni element higher than that of the formation of Ni-rich Ti2Ni phase during the quickly melting and solidification process. On the other hand, the EBM manufacturing parameters of FO and SF had limited influence on the phase contents, phase transformation temperatures and Vickers hardness. Due to the feature of the EBM fabricating method, the different types of defects would be introduced in the Ti-Ni solid samples. Though all the samples had similar high relative density, the performance of the compression behavior were shown great difference, and the crack defect had the larger effect than the gas and lack-of fusion porosities on the compression fracture stress and strain.

Keywords: electron beam melting ; Ti-Ni alloy ; manufacturing parameter ; microstructure ; compression property

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本文引用格式

任德春, 张慧博, 赵晓东, 王福雨, 侯文韬, 王绍钢, 李述军, 金伟, 杨锐. 打印参数对电子束增材制造Ti-Ni合金性能的影响. 金属学报[J], 2020, 56(8): 1103-1112 DOI:10.11900/0412.1961.2019.00410

REN Dechun, ZHANG Huibo, ZHAO Xiaodong, WANG Fuyu, HOU Wentao, WANG Shaogang, LI Shujun, JIN Wei, YANG Rui. Influence of Manufacturing Parameters on the Properties of Electron Beam Melted Ti-Ni Alloy. Acta Metallurgica Sinica[J], 2020, 56(8): 1103-1112 DOI:10.11900/0412.1961.2019.00410

Ti-Ni合金具有良好的耐腐蚀性、生物相容性、形状记忆效应和超弹性等优良的生物和力学特性,因此被广泛应用于医疗和微型智能控制器件中[1,2,3]。Ti-Ni合金主要由高温奥氏体(B2)和低温马氏体(B19')组成,并通过两相之间的固态相变实现形状记忆效应和超弹性,同时其优异的力学性能又使得该合金在机械加工过程中存在以下问题:易出现毛刺、回弹大、切削困难和对加工刀具磨损严重等,因此只能生产棒、丝以及板材等简单结构和形状的产品[4]。随着Ti-Ni合金应用范围的逐渐扩大,简单形状和结构限制了该合金的进一步利用以及器件的整体发展,需要寻找一种可以生产复杂结构和形状的Ti-Ni合金的加工方式。

电子束增材制造(electron beam melting,EBM)技术是一种利用高能量电子束逐层熔化金属粉末制备复杂结构和形状零部件的增材制造方式[5,6]。相较于选区激光熔化(selective laser melting,SLM)技术而言,EBM是在高真空环境下制备样品,可以有效阻止O和N等杂质元素的引入,同时其还有对打印底板和粉末的预热过程,可以降低样品的残余热应力,减少样品内部的缺陷和后续热处理过程[7,8,9,10,11]。目前,研究者已经对SLM制备Ti-Ni形状记忆合金展开了相关研究。Saedi等[12]研究发现,可以通过后续热处理过程来调节SLM制备富镍Ti-Ni形状记忆合金的形状记忆效应和超弹性。Ma等[13]采用不同SLM打印参数制备同一Ti-Ni合金样品的不同部位,结果表明,不同的打印参数可以使得Ti-Ni合金具有不同的相变温度,进而实现4D打印的概念。Moghaddam等[14]研究了SLM扫描方式和打印方向对狗骨形状Ti-Ni形状记忆合金拉伸试样的组织和拉伸力学性能的影响。Habijan等[15]使用SLM技术制备多孔和实体Ti-Ni形状记忆合金,并研究了其对人体骨髓间充质干细胞的生物承载能力。Li等[16]利用SLM 技术制备了负Poisson比结构的富钛Ti-Ni形状记忆合金,并研究通过优化打印参数减少构件中应力诱发裂纹和孔洞的数量。本文作者前期工作[17]研究了SLM扫描速率对制备等原子比Ti-Ni合金显微组织、相变行为和力学性能的影响。然而,利用EBM技术制备Ti-Ni形状记忆合金的参数调控及性能表征却鲜有报道[18]

速度函数(speed function,SF)和焦距补偿(focus offset,FO)是EBM技术的重要打印参数,本工作研究了SF和FO对制备等原子比Ti-Ni形状记忆合金性能的影响。同时对EBM制备Ti-Ni合金样品的显微组织、相组成、相变行为以及压缩性能等进行测试和表征,并对样品打印参数及性能之间的关系进行讨论,以期为后续EBM制备高致密度及优异性能Ti-Ni形状记忆合金样品提供可靠的实验数据参考及理论支撑。

1 实验方法

实验选用气雾化法制备等原子比Ti-Ni预合金粉末,使用Arcam A1型EBM设备制备尺寸为12 mm×12 mm×12 mm的Ti-Ni合金块状样品。EBM采用“之”字型扫描路径且相邻打印层之间旋转90°,粉末层厚度为50 μm,加速电压为60 kV,扫描电流为19 mA,扫描速率为 1500 mm/s,扫描间距为0.2 mm,底板及粉末层的预热温度为750 ℃。通过调整SF和FO,制备了7组样品来研究打印参数对Ti-Ni合金性能的影响,具体参数如表1所示。

表1   电子束增材制造(EBM)制备Ti-Ni合金具体参数

Table 1  Electron beam melting (EBM) parameters for fabrication Ti-Ni alloy

SampleSF / (mm·s-1)FO / mA
S1258
S22515
S32535
S42540
S57015
S68015
S710015

Note: SF—speed function, FO—focus offset

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根据Archimedes原理,利用XS105天平测量样品的密度,并与块体密度(6.45 g/cm3)相比得到相对密度,所有样品测量3次,结果取算数平均值。试样经机械磨抛后利用10%HF+30%HNO3+60%H2O (体积分数)的腐蚀液蚀刻,在配有能谱仪(EDS)的Maia3扫描电子显微镜(SEM)上观察显微组织及断口形貌。利用D/Max-2500PC X 射线衍射仪(XRD)进行物相分析,Cu靶Kα辐射源,扫描速率为2°/min。采用TA Q20差示扫描量热仪(DSC)测试样品的相变温度,升降温速率均为10 ℃/min。使用型号为RE S101精密离子刻蚀仪刻蚀样品后在Tecnai G2 F20透射电子显微镜(TEM)上进行微观形貌观察并进行选区电子衍射(SAED)分析。室温下在INSTRON 5582电子万能试验机上进行等轴压缩实验,压缩速率为1.0×10-3 s-1,加载方向与打印方向相同,样品直径为5 mm、高度为7.5 mm。利用LM-247AT显微硬度计测试Vickers硬度,载荷为0.2 kN,保载时间为15 s。使用Versa XRM-500 X射线三维成像系统检测样品缺陷形貌及分布,之后利用XM Re-constructor和Avizo 7.1软件对数据进行三维重建和分析。

2 实验结果

2.1 EBM制备Ti-Ni合金的密度

图1为EBM打印用Ti-Ni预合金粉末的SEM像。所使用预合金粉末尺寸为53~106 μm,由图可见预合金粉末球形度良好,利于EBM铺粉进程的连续。

图1

图1   电子束增材制造(EBM)用Ti-Ni预合金粉末形貌的SEM像

Fig.1   SEM image of the pre-alloyed Ti-Ni powder used for EBM


图2为不同EBM打印参数制备的Ti-Ni样品的实测密度和相对密度。可以看出,所有样品的实测密度均达到6.30 g/cm3以上,即相对密度均达到97.75%以上,接近完全致密化实体。说明EBM打印参数可以在很宽的调节范围内制备出相对密度较高的Ti-Ni块体,FO和SF对样品实测密度影响不大。从图2还可以看出,当SF固定为25 mm/s时,随着FO增大,样品S1~S4的相对密度呈现出先增大后减小的趋势;当FO固定为15 mA时,随着SF的增大,样品S2、S5~S7的相对密度也呈现出先增大后减小的趋势。

图2

图2   不同EBM打印参数制备的Ti-Ni合金样品的实测密度和相对密度

Fig.2   Measured densities and relative densities of EBMed Ti-Ni alloy samples fabricated with different manufacturing parameters


2.2 EBM制备Ti-Ni合金的相组成

Ti-Ni预合金粉末和EBM制备Ti-Ni合金样品的XRD谱如图3所示。从图中可以看出,EBM制备样品的相组成与所使用Ti-Ni预合金粉末不同,Ti-Ni预合金粉末仅由B19'和Ti2Ni相组成。EBM制备样品中除B19'和Ti2Ni相衍射峰之外,还在衍射角约42.8°处出现B2相的衍射峰。

图3

图3   Ti-Ni预合金粉末和不同EBM打印参数制备的Ti-Ni合金样品的XRD谱

Fig.3   XRD spectra of the pre-alloyed Ti-Ni powder and EBMed Ti-Ni alloy samples fabricated with different manufacturing parameters


2.3 EBM制备Ti-Ni合金的相变行为

Ti-Ni预合金粉末和EBM制备的Ti-Ni合金样品的DSC曲线如图4所示。DSC曲线上的相变峰是高温bcc结构B2相和低温单斜B19'相互相转化吸放热过程。从图4可见,EBM制备Ti-Ni合金样品在加热和冷却过程中都是单步相变过程,仅有一个吸热/放热相变峰的存在,不同于Ti-Ni预合金粉末具有多步相变的过程。由DSC曲线得到的相变温度如表2所示。其中,MfMpMs分别为B2向B19'转变结束温度、峰值温度和开始温度,AsApAf分别为B19'向B2转变开始温度、峰值温度和结束温度。由表2可见,由于预合金粉末存在多个相变峰,因此各相变点温度存在多个数值,但EBM制备Ti-Ni合金样品的各相变点温度均大于Ti-Ni预合金粉末相对应的相变点温度。改变EBM的打印参数FO和SF,对样品各相变点的影响较小,相变温度相对稳定。

图4

图4   Ti-Ni预合金粉末和EBM制备Ti-Ni合金样品的DSC曲线

Fig.4   DSC curves of pre-alloyed Ti-Ni powder and EBMed Ti-Ni alloy samples fabricated with different manufacturing parameters


表2   Ti-Ni预合金粉末和EBM 制备Ti-Ni合金样品的相变温度 (℃)

Table 2  Phase transformation temperatures of pre-alloyed Ti-Ni powder and EBMed Ti-Ni alloy samples obtained from DSC curves

SampleMfMpMsAsApAf
Powder24.8/52.530.8/54.637.1/57.558.1/72.764.9/76.770.9/83.5
S145.558.470.776.692.8103.9
S247.660.972.179.395.1104.8
S341.355.569.773.089.0102.0
S435.657.672.374.390.6101.4
S549.461.573.581.195.8107.0
S648.360.972.282.695.9105.3
S748.661.072.482.495.3105.3

Note:Mf—martensite finish temperature; Mp—martensite peak temperature; Ms—martensite start temperature; As—austenite start temperature; Ap—austenite peak temperature; Af—austenite finish temperature

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2.4 EBM制备Ti-Ni合金的力学性能

图5是EBM制备Ti-Ni合金的室温压缩工程应力-应变曲线。可以看出,EBM打印参数FO和SF均对合金的压缩性能产生了重要影响,样品S5抗压缩强度最高(约2871 MPa)、压缩应变最大(约38%),比最小的样品S1分别增大约1100 MPa和6%。所有样品均表现出Ti-Ni形状记忆合金典型的双屈服现象,从而将整个压缩应力-应变曲线分为4个阶段[17]:奥氏体和马氏体的弹性变形、应力诱发马氏体转变及马氏体变体的再取向和去孪晶化、应力诱发马氏体及再取向马氏体的弹性变形、应力诱发马氏体及再取向马氏体的塑性变形。

图5

图5   EBM制备Ti-Ni合金样品的室温压缩应力-应变曲线

Fig.5   Compression stress-strain curves for EBMed Ti-Ni alloy samples fabricated with different manufacturing parameters at room temperature


EBM制备Ti-Ni合金的Vickers硬度如图6所示。可以明显地看到EBM打印参数SF和FO对样品的显微硬度影响很小,样品S1~S7的平均显微硬度为(205±20) HV0.2。同样可以发现,室温压缩性能最好的样品S5沿打印方向平面显微硬度和打印平面的显微硬度也接近,分别为(220±26)和(210±20) HV0.2

图6

图6   EBM制备不同Ti-Ni合金样品的显微硬度及样品S5沿打印方向平面和打印平面上表面的显微硬度

Fig.6   Vickers hardnesses of EBMed Ti-Ni alloy samples with different manufacturing parameters (a) and sample S5 along the building direction plane and building plane on a straight testing line that spans the entire for ten different positions (b)


2.5 压缩断口形貌

图7是EBM制备Ti-Ni合金样品S1、S5和S7压缩断口的表面形貌。由图7a、d和g可知,样品S5沿与加载方向成45°断裂,即最大压缩剪切力的方向(图7d);而S1样品只有局部脱落,且断裂方向与加载方向平行(图7a);S7样品断裂方向与加载方向之间的夹角介于S1和S5之间(图7g)。样品S1的断裂面不平整且沿压缩方向具有贯穿整个样品的大裂纹存在(图7b),由局部放大图(图7c)可见,沿打印方向样品内部虽未发现未熔融或者半熔融的粉末,但是可以看到层间搭接不良,呈现出一定的松散状态;样品S5断裂表面平滑(图7e)且表面局部放大像(图7f)并未观察到裂纹和未熔融缺陷的存在;样品S7断裂表面局部平滑,但大部分区域与S1样品类似,呈现不平整的形貌(图7h),从2种形貌交界处的局部放大像(图7i)可以看出,样品内部沿打印方向存在不连贯的裂纹。

图7

图7   EBM制备不同Ti-Ni合金样品的显微组织

Fig.7   Morphologies after compression testing (a, d, g), SEM images for whole fracture surface (b, e, h) and locally magnified SEM images for fracture surface (c, f, i) for EBMed Ti-Ni alloy samples S1 (a~c), S5 (d~f) and S7 (g~i)


2.6 EBM制备Ti-Ni合金的显微组织

图8为EBM制备Ti-Ni合金样品S5的表面形貌、显微组织和EDS分析。由图8a可以看出,打印结束后打印平面光洁,无缺陷,平行排列的典型熔池形貌平均宽度约为200 μm。打印平面腐蚀后(图8b)并没有观察到如图8a所示明显熔池痕迹,从局部放大像(图8c)可以看出,其由均匀的等轴晶组成,尺寸为(10±5) μm,在晶界上存在大量的腐蚀坑。不同于上表面,样品沿打印方向的侧表面由于被大量冷粉末包围,使得侧表面存在大量半熔融的粉末(图8d),同时可以清晰地观察到沿打印方向熔池的叠加过程。沿打印方向腐蚀后可以看出,晶粒的形貌与打印平面不尽相同,呈现出沿打印方向的柱状晶组织(图8e)。从局部放大像(图8f)可以看到,与打印平面相似,在晶界上存在大量的腐蚀坑,且腐蚀坑形貌不规则,尺寸可达微米级。为了进一步确定样品的元素分布,对抛光后未腐蚀的形貌进行观察(图8g),发现不同位置形貌的衬度不同,并对不同位置形貌进行EDS分析。对与晶界处腐蚀坑形貌相同的位置(图8g中的点1和2)分析后发现,样品由Ti和Ni构成,且Ti和Ni的原子比为2∶1 (图8h),同时结合图3结果说明,Ti2Ni相主要在样品的晶界处析出。对基体相(图8g中的点3和4)进行分析后发现,其由Ti和Ni构成,原子比为1∶1。

图8

图8   EBM制备Ti-Ni合金样品S5的表面形貌、显微组织和EDS分析

Fig.8   SEM images of top surface (a), low (b) and high (c) magnified microstructures of top surface for building plane, SEM images of side surface (d), low (e) and high (f) magnified microstructures of side surface for building direction plane and SEM image before corrosion for building direction plane (g) for EBMed Ti-Ni alloy sample S5, and EDS results for positions 1~4 in Fig.8g (h, i)


为进一步研究EBM制备Ti-Ni合金样品的显微组织,对样品S5进行TEM观察,如图9所示。由图可以看出,样品形貌呈黑白相间的板条状(图9a),板条之间界面平直清晰。图9a中位置1的SAED谱(图9b)表明,该形貌为Ti-Ni合金的B19'孪晶。图9a中位置2的选区SAED谱(图9c)表明,样品中有母相B2的存在,该结果与图3结果一致,说明室温下EBM制备的等原子比Ti-Ni合金中还有B2相的存在。未在B2结构(位置2)衍射斑的1/3位置处观察到超点阵反射,也即未观察到R相的存在,在位置2所在的黑色板条内部观察到大量位错存在。

图9

图9   EBM制备Ti-Ni合金样品S5显微组织的TEM 像和SAED谱

Fig.9   TEM image of EBMed Ti-Ni alloy sample S5 (a) and the corresponding SAED patterns of positions 1 (b) and 2 (c) in Fig.9a


3 分析与讨论

3.1 EBM打印参数对Ti-Ni合金样品性能的影响

EBM打印过程中不能直接改变电子束的横向位移速率等重要打印参数,但可以通过调节FO和SF等参数来间接控制打印的进程[8,9,11]。其中,FO是由电磁线圈额外产生的电流,为电子束从聚焦平面的零点位置开始的偏移量,控制着熔池的体积[8,19,20],改变FO的数值是一种方便的调节打印样品性能和内部缺陷种类和含量的方式[19]。FO的调节范围为±50 mA,在±10 mA的范围内波动时会导致电子束斑直径改变0.05 mm,且当其数值相等但符号相反时对电子束斑偏移量的改变是不对称的,负值比正值的影响更大,易造成只是表面熔化甚至不熔化现象的出现[19,20],因此本工作只是在正值区间内进行调整。SF是代表聚焦平面上电子束扫描速率和电流关系的指数,其目的是无论电子束电流如何改变,整个打印过程中都可以使熔池深度保持相对恒定,即电子束电流增加时电子束的扫描速率也相应增加以抵消电子束功率改变的影响[20,21]。总体来说,在其它参数固定的情况下,FO的增大将会导致聚焦电子束斑尺寸增大而能量密度降低;在电子束电流确定的情况下,随着SF的增加,电子束扫描速率也会线性增大而能量密度降低[8,20]

图2所示,随着SF和FO的增大,相对密度均不是单调降低,其原因主要是以下几点:第一,本工作中FO和SF的调节范围都是在前期实验的基础上进行的,已经将能导致样品翘曲及表面凸起的过高能量密度的参数和导致样品熔池间搭接不连续的过低能量密度的参数排除掉,有足够的电子束能量将相邻层的预合金粉末完全熔化掉,因此所有样品完全致密化且实际测量密度均在6.30~6.37 g/cm3之间波动,本身差距并不大,仅是归一化成为相对密度后将差值进行了放大;第二,所有样品的相对密度均达到97%以上,说明整体粉末熔化状态良好,在样品内部由于元素挥发以及空心粉带入的孔洞缺陷等不同类型的缺陷并不能被Archimedes密度检测方式检测到[22];第三,不同的打印机器、粉末类型和尺寸、扫描方式以及粉末对输入能量的吸收和反射能力的不同也会在打印过程中引入不可见的影响,导致打印样品在较高相对密度的情况下不随输入能量密度的降低而单调下降[17,23]

尽管打印参数的改变会使样品的相对密度产生一定的波动,但打印参数SF和FO对样品的相组成没有明显影响(图3)。这是由于在增材制造过程中,粉末熔化后再次凝固成形的速率可达103~107 K/s[24],足够快的凝固速率可以将高温B2相在样品中保留到室温[24,25],使得EBM制备的Ti-Ni合金样品与预合金粉末的相组成不同,而相同的增材制备方式使样品冷却速率接近,不同的打印参数并不足以改变相组成,该现象也与SLM技术使用同批次制备但粒度范围不同的Ti-Ni预合金粉时打印样品的结果[17]相同。

同时,增材制备方式的不同也会影响相同成分样品的显微组织。SLM制备的Ti-Ni合金样品中由于熔池边缘和心部冷却速率差异过大,导致熔池内存在大的温度梯度,从而使熔池内部不同区域的组织类型和尺寸差异很大。预热和冷却方式的不同使EBM的冷却速率低于SLM,因此EBM制备样品的熔池形貌不明显且其组织在同一个截面上保持相同并尺寸均匀(图8)。在本工作中,预热温度维持在约750 ℃附近,且在该温度范围内整个打印过程持续约4 h,然后冷却约3 h后成形仓内的温度降低到100 ℃以下将打印的样品取出,因此在沿热流传递的打印方向上样品不再与上表面一样为等轴晶,而是变为柱状晶,且晶界沉淀相Ti2Ni的尺寸也比SLM样品大(图8)[17]

EBM和SLM打印方式的不同造成微观尺度上B19'孪晶形貌和尺寸的差异,样品中不存在R相。EBM和SLM 2种打印方式的参数改变均不对所打印样品的相变温度造成影响(图4),但导致其制备的实体样品相变温度与所使用粒度范围内预合金粉末相比较的变化规律完全不同。这是由于EBM电子束的功率大,使得在打印过程中样品Ni元素的挥发大于SLM,Ni挥发使相变温度升高的效应大于形成富Ti的Ti2Ni相导致的相变温度降低的效应,因此EBM打印样品的相变温度相较于预合金粉末的相变温度升高。

3.2 EBM打印缺陷对样品力学性能的影响

在显微硬度等力学性能测试过程中会发生相转变,因此Ti-Ni合金的力学性能依赖于相关实验的测试温度。EBM制备Ti-Ni合金样品的相组成(图3)和相变温度(图4)均不随打印参数的改变而变化,因此在室温下对样品S1~S7进行显微硬度测试时其值仅在一定范围内波动(图6a),而由于沿打印方向和垂直于打印方向显微组织的差异也造成了沿2个方向的显微硬度并不完全一致,但是由于晶粒尺寸相近(图8)使得其差异可近似忽略(图6b)。但是样品在相同条件下进行等轴压缩时,却发现不同样品间的抗压缩强度以及压缩应变的差值很大(图5)。

考虑到增材制造技术是逐点扫描熔化、逐线扫描搭接、逐层累积成形的方式,预合金粉末熔化再成形的过程中会经历复杂的热力学条件,打印参数选择不佳时会不可避免地产生缺陷,影响打印样品的相关性能,因此EBM制备Ti-Ni合金样品压缩行为的差异可能是由于相关缺陷的存在造成的。增材制造样品中出现的缺陷主要有气孔、未熔合孔洞和裂纹[26]。气孔是由于预合金粉末熔化过程中熔池温度迅速升高,金属液蒸气压升高使得金属元素易于在熔池内蒸发,以及部分粉末在气雾化制备过程中将保护性惰性气体带入成形样品中形成的,其尺寸一般较小且多为球形[5,27]。未熔合孔洞是由于能量输入不足导致预合金粉末无法完全熔化或熔化后扫描线及层间搭接不良造成的,其内部多包含未熔化的粉末且形状不规格、尺寸较大[17,27]。打印过程中熔池及其边界区域的材料受热膨胀时,会受到周围温度低区域材料限制,在内部产生压应力。同时,受热区域的材料由于温度升高而屈服强度降低。当压应力大于降低后的屈服强度时则会使得这部分材料处于塑性热压缩状态,冷却时反而会相对于周围区域缩短、变窄或减小,进而成形过程中受到来自周围材料冷却收缩的约束。此时在熔覆层内会出现残余应力,且该残余应力大于材料强度极限时产生裂纹[27]

图10为EBM制备Ti-Ni合金样品的缺陷分析结果。对比Micro-CT扫描样品上表面和整体三维形貌可以发现,样品S1内部缺陷排列规整(图10a),主要为沿打印方向近乎贯穿于整个样品内部的缺陷(图10b),缺陷数量最少(图10c);样品S5内部的缺陷较分散(图10d),无任何连贯性的缺陷存在(图10e),缺陷数量最多(图10f);样品S7内部的缺陷既有不完全连续但贯穿整个样品的裂纹缺陷(图10g),又包含部分分散型缺陷(图10h),缺陷数量在样品S1和S5之间(图10i),且其压缩性能也处于样品S1和S5之间(图5)。还可以看出,样品S1和S7内部缺陷的尺寸比样品S5大且分布范围广,而样品S5内部缺陷尺寸小且集中。因此,结合压缩断口形貌(图7)可判断样品S1内主要为大尺寸贯穿型裂纹缺陷,样品S5内为气孔或孔洞,而样品S7为裂纹与气孔和裂纹的结合。裂纹的形成是材料本身物理性能和打印过程中热应力综合作用的结果,虽然EBM打印过程中底板及粉末层的预热可以减小熔融区域与周围未熔融粉末和已凝固样品之间的温差,降低温度梯度,但是并无法完全消除样品的热裂纹产生。根据图5可知,气孔和孔洞对压缩性能的影响不大,而贯穿型裂纹的存在使样品压缩性能严重降低,是增材制造样品中对力学性能破坏性最大的一种缺陷,因此,在EBM制备新材料样品的过程中,寻找最佳的打印参数减少缺陷特别是贯穿性裂纹缺陷尤为重要。

图10

图10   EBM 制备Ti-Ni合金样品的缺陷分析

Fig.10   Images of the defect distributions (a, d, g) and views of top surface (b, e, h), and defect size distributions (c, f, i) in the EBMed Ti-Ni alloy samples S1 (a~c), S5 (d~f) and S7 (g~i) from micro-CT

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4 结论

(1) EBM制备参数FO和SF的多种组合均可以制备出相对密度大于97%,接近完全致密的等原子比Ti-Ni合金。

(2) EBM制备Ti-Ni合金的相变温度大于所使用预合金粉末相变点的温度。

(3) EBM制备参数FO和SF的改变对制备Ti-Ni合金的相组成、相变温度以及显微硬度的影响较小。

(4) EBM制备参数FO和SF的改变可以在Ti-Ni合金中引入不同的打印缺陷,其中裂纹缺陷使压缩力学性能大幅度降低。

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多孔NiTi形状记忆合金中Ni的释放行为

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作为硬骨组织的替代,具备三维连通孔隙和良好生物相容性的多孔NiTi形状记忆合金有着广阔的应用前景。由于受孔隙结构、燃烧过程中形成的非平衡相和内应力等多种因素的影响,多孔NiTi合金在生理盐水和模拟体液中的Ni释放速率远大于具有相同名义表面积的致密态NiTi合金。在恒定的静弯曲应变的作用下,多孔NiTi形状记忆合金Ni释放速率呈现增大的趋势。多孔NiTi合金在60℃的4M/L的NaOH溶液中浸泡24h,然后在600℃进行1h处理后,合金表面形成一层氧化膜,该氧化膜阻隔了浸液与基体的接触,明显降低了多孔NiTi合金的Ni释放速率。

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Microstructure, phase transformation and shape memory behavior of chilled Ti-47Ni alloy ribbons

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The micro-actuater materials are needed urgently in micro-electro-mechanical systems (MEMS) which are developing rapidly. The melt-spun Ti-Ni shape memory alloy ribbons have become candidate materials since their fast heat response and large acting density. The bulk Ti-47Ni (atom fraction, %) shape memory alloy is an ideal material to make thermosensitive actuators since its one-stage martensitic transformation and small temperature hysteresis. In order to develop the micro-actuator materials with fast response using in MEMS, the chilled Ti-47Ni alloy ribbons were fabricated by melt-spinning in this research. The effects of the roller speed and the annealing processes on microstructure, phase composition, phase transformation behaviors and shape memory effect of Ti-47Ni alloy ribbons were investigated by CLSM, XRD, DSC and bending test. The results show that the microstructure of as-cast and 300~800 ℃ annealed Ti-47Ni alloy ribbons fabricated under different roller speeds is vertically and horizontally arrayed columnar. The higher the roller speed, the finer the grain is. The annealing processes do nearly affect the microstructure of the alloy ribbons. The composition phases of Ti-47Ni alloy ribbons are martensite (B19' phase, monoclinic structure) and parent phase (B2 phase, CsCl-type structure). The B2→B19'/B19'→B2 type one-stage martensitic transformation occurs in Ti-47Ni alloy ribbons upon cooling and heating, the martensitic transformation temperature and the reverse martensitic transformation temperature are about 54 and 81 ℃, respectively, and the temperature hysteresis is about 27 ℃. With increasing the roller speed, the martensitic transformation temperatures of the alloy ribbons decrease, and the recovery rate of shape memory of the alloy ribbons increases. With increasing the annealing temperature, the transformation behaviors of the alloy ribbons change a little, and the recovery rate of shape memory changes in the range of 93%~98%. The as-cast and annealed Ti-47Ni alloy ribbons are all of excellent shape memory effect.

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激冷Ti-47Ni合金薄带的组织、相变和形状记忆行为

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为了开发微机电系统用快响应微执行器材料,采用熔体快淬法制备了激冷Ti-47Ni (原子分数,%)形状记忆合金薄带,利用CLSM、XRD、DSC和弯曲实验研究了铜辊速率和退火工艺对Ti-47Ni合金薄带显微组织、相组成、相变行为和形状记忆行为的影响。结果表明,不同辊速制备的铸态和300~800 ℃退火态Ti-47Ni合金薄带的显微组织均呈纵横排列的柱状,辊速越高合金薄带的晶粒越细,退火工艺对合金薄带显微组织影响不大。Ti-47Ni合金薄带的组成相为马氏体(B19'相,单斜结构)+母相(B2相,CsCl型结构),冷却/加热时发生B2→B19'/B19'→B2一阶段马氏体相变,正、逆马氏体相变温度分别约为54和81 ℃,相变热滞约为27 ℃。随辊速增加,合金薄带马氏体相变温度降低,形状记忆恢复率提高。随退火温度升高,合金薄带相变行为变化不大,形状记忆恢复率在93%~98%之间变化。铸态和退火态Ti-47Ni合金薄带皆具有优异的形状记忆效应。

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用DSC法研究了预变形对TiNi薄膜相变行为的影响,结果表明,预变形可使马氏体逆相变温度升高,马氏体发生了稳定化.经过一次完全相变循环后,这种稳定化现象消失;若TiNi薄膜在预变形后先经过一次不完全逆相变,则其后的热循环中,除第一次相变循环的逆相变是由两个独立的相变过程共同完成,其他相变循环的逆相变过程相同于变形前的状态.由此可见,预变形造成的TiNi薄膜马氏体稳定化现象,经过完全相变循环后均可以消除,而与预变形后薄膜的相变历史无关.

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