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金属学报  1997, Vol. 33 Issue (7): 737-741    
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Mo/SiO_2软X射线多层膜反射镜的界面分析
王凤平;王佩璇;方正知;崔明启;姜晓明;马宏骥
北京科技大学;北京;100083;北京科技大学;北京;100083;北京科技大学;北京;100083;中国科学院高能物理研究所;北京;100039;中国科学院高能物理研究所;北京;100039;中国科学院高能物理研究所;北京;100039
THE INTERFACIAL ANALYSIS OF MO/SiO_2 MULTILAYERS MIRROR FOR SOFT X-RAY
WANG Fengping;WANG Peixuan;FANG Zhengzhi (University of Science and Technology Beting; Beting 100083); CUI Mingqi;JIANG Xiaoming; MA Hong; (Institute of High Energy Physics; Chinese Academy of Sciences; Beijing 100039)
引用本文:

王凤平;王佩璇;方正知;崔明启;姜晓明;马宏骥. Mo/SiO_2软X射线多层膜反射镜的界面分析[J]. 金属学报, 1997, 33(7): 737-741.
, , , , , . THE INTERFACIAL ANALYSIS OF MO/SiO_2 MULTILAYERS MIRROR FOR SOFT X-RAY[J]. Acta Metall Sin, 1997, 33(7): 737-741.

全文: PDF(457 KB)  
摘要: 用X射线衍射的动力学理论对磁控溅射法制备的Mo/SiO2多层膜低角X射线衍射谱进行拟合,定量分析了膜层的周期结构和界面粗糙度.同时,用Auger电子能谱证实了多层膜成分的周期性以及比较明晰的层界面随样品厚度的增加,界面粗糙度增加.
关键词 Mo/SiO_2多层膜磁控溅射同步辐射低角X射线衍射俄歇电子能谱    
Abstract:Groups of Mo/Sio2 multilayer films were fabricated by magnetron sputter ing in Ar atmosphere. Low angle X-ray diffraction analysis of the multilayers was carried out at the diffusion scattering station of BSRF. The interfacial roughness and periodic structure are investigated through simulation of low angle X-ray diffraction spectra based on the dynamical theory. The periodic structure and composition of Mo/SiO2 multilayers were also characterized with AES. The results show that very good composition modulation struc ture formed, and no obvious diffusion of St and / or O through Mo layers is observed.
Key wordsMo/Sio2 multilayer    magnetron sputtering    interfacial roughness    low angle X-ray diffraction    AES
收稿日期: 1997-07-18     
基金资助:国家自然科学基金!59471053
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