Pd/Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析

金属学报

1997, Vol. 33

Issue (7): 742-748

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Pd/Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析

陶琨;李彬;骆建

清华大学;北京;100084;清华大学;北京;100084;清华大学;北京;100084

A STUDY OF INTERDIFFUSION OF Pd/Ag BILAYER THIN FILMS BY X-RAY DIFFRACTION STRUCTURE DEPTH PROFILING

TAO Kun;LI Bin;LUO Jian (Tsinghua University; Beijing 100084)

引用本文:

陶琨;李彬;骆建. Pd/Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析[J]. 金属学报, 1997, 33(7): 742-748.
, , . A STUDY OF INTERDIFFUSION OF Pd/Ag BILAYER THIN FILMS BY X-RAY DIFFRACTION STRUCTURE DEPTH PROFILING[J]. Acta Metall Sin, 1997, 33(7): 742-748.

全文: PDF(622 KB)

摘要: 研究了X射线衍射的结构深度分布分析新方法该方法以不同的入射角入射，测量各物相的衍射谱，进而解出各确定深度处薄层的X射线衍射谱，从而可无损和定量地得到各深度处的衍射线的角度位置、强度和线型等全部结构信息此方法可得到各确定深度处的结构信息，而不是由表面到某深度处的平均结构信息；并且适用于具有择优取向的样品和吸收系数随深度而变化的样品．用此方法研究了Pd／Ag双层膜的退火过程，发现在互扩散的过程中，平行于初始界面的薄层中的结构不是微观均匀的，而是由两种具有不同点阵参数的固溶体构成的．结果证实该方法的可行性和有效性，也有利于研究Pd／Ag系统以及相关系统的扩散机理

关键词 ：结构深度分布, X射线衍射, 薄膜，Pd／Ag

Abstract：A method has been presented to obtain all X-ray diffraction information, which including the peak intensity, peak position and peak profile, of each layer at different depth respectively. This method can be named as structure depth profiling or computed depth profiling technique of X-ray diffraction (XRD). The samples of Pd(200 nm)/Ag(200 nm) bilayer thin films were used to test this method and to study the interdiffusion in the Pd/Ag system. For sample annealed at 490℃ for 20 min, it was found that there were two solid solutions with different lattice parameter in each layer at different depth. It means that the structure of each layer parallel to the surface is not homogeneous microscopically in the interdiffusion process.

Key words： structure depth profiling XRD Pd/Ag thin films

收稿日期: 1997-07-18

基金资助:国家自然科学基金!59471066

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1陶琨,骆建,徐育敏.真空科学与技术学报.1995;15:326
2PonsF,MegtertS,PivinJC.J Appl Crystallogr,1988;21:197
3 Riessen A V, Oconnor B H. Ady X-Ray Analt 1992; 35: 169
4骆建,陶琨.物理学报,1995;44:1788
5 LuoJ,TacK,YinH,DuY.Revscilnstrum,1996;67:2859
6骆建,陶琨.物理学报,1995;44:1793
7 Luo J,TaoK.ThinsolidFilms,1996;279:53
8 ZhuXJ, Ballard B, PredeckiP. submitted toAdvX--RayAnalt 1997
9 Anton R, Eggers H, Veletas J. Thin SolidFilms, 1993; 226: 39#

[1]	李时磊, 李阳, 王友康, 王胜杰, 何伦华, 孙光爱, 肖体乔, 王沿东. 基于中子与同步辐射技术的工程材料/部件多尺度残余应力评价[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1001-1014.
[2]	李亦庄,黄明欣. 基于中子衍射和同步辐射X射线衍射的TWIP钢位错密度计算方法[J]. 金属学报, 2020, 56(4): 487-493.
[3]	李长记,邹敏杰,张磊,王元明,王甦程. 外延膜的高分辨X射线衍射分析[J]. 金属学报, 2020, 56(1): 99-111.
[4]	何卫锋, 李翔, 聂祥樊, 李应红, 罗思海. 钛合金薄壁构件激光冲击残余应力稳定性研究[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 411-418.
[5]	史金涛,侯陇刚,左锦荣,卢林,崔华,张济山. 304奥氏体不锈钢超低温轧制变形诱发马氏体转变的定量分析及组织表征^*[J]. 金属学报, 2016, 52(8): 945-955.
[6]	张玉妥,李丛,王培,李殿中. 9Ni钢拉伸性能的同步辐射高能X射线原位研究^*[J]. 金属学报, 2016, 52(4): 403-409.
[7]	曹为民; 陈浩; 石新红; 朱律均; 姬学彬; 张磊 ; 印仁和 . Co/Pd纳米多层膜的制备及其磁性能[J]. 金属学报, 2008, 44(4): 445-450 .
[8]	赵宁; 潘学民; 马海涛; 王来 . Sn-Cu钎料液态结构的研究[J]. 金属学报, 2008, 44(4): 467-472 .
[9]	张俊; 王苏程; 吴尔冬; 张健; 楼琅洪 . X射线衍射法测定加载条件下镍基单晶高温合金的表层应力状态[J]. 金属学报, 2007, 43(11): 1161-1164 .
[10]	姜传海; 程凡雄; 吴建生 . CoSi2薄膜二维X射线衍射线形分析与表征[J]. 金属学报, 2005, 41(5): 487-490 .
[11]	秦敬玉; 谷廷坤; 田学雷; 边秀房 . Fe--Si合金系熔体结构的X射线衍射研究[J]. 金属学报, 2004, 40(7): 689-693 .
[12]	姜传海; 吴建生; 王德尊 . SiCw/Al复合材料高温再结晶行为的X射线衍射分析[J]. 金属学报, 2004, 40(10): 1023-1026 .
[13]	陈骏; 许晓伟 . 立方氮化硼的热膨胀性[J]. 金属学报, 2003, 39(9): 952-954 .
[14]	陈骏; 邢献然; 邓金侠 . Pb1-xSrxTiO3固溶化合物及其热膨胀性[J]. 金属学报, 2003, 39(7): 771-774 .
[15]	江建军; 孙大林 . 氢致LaMg12相分解的原位X射线衍射分析[J]. 金属学报, 2002, 38(3): 288-290 .

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