金属学报  1998, Vol. 34 Issue (6): 667-672

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择优取向对X射线应力测试的影响

于利根;何家文;B.C.Hendrix

中南工业大学粉末冶金国家重点实验室;长沙;410083;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室;西安;710049;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室;西安;710049

THE EFFECT OF PREFERRED ORIENTATION ON X-RAY STRESS MEASUREMENT

YU Ligen(State Key Lab. for Powder Metallurgy; Central South University of Technology; Chungsha 410083)HE Jiawen; B. C.Hendrix(State Key Lab. for Mechanical Behavior of Materials; Xi'an Jiaotong University; Xi'an 710049)Correspondent: YU Ligen; Tel: (0731)8826911-3630; Fad: (0731)8825755

于利根;何家文;B.C.Hendrix. 择优取向对X射线应力测试的影响[J]. 金属学报, 1998, 34(6): 667-672.
, , . THE EFFECT OF PREFERRED ORIENTATION ON X-RAY STRESS MEASUREMENT[J]. Acta Metall Sin, 1998, 34(6): 667-672.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(453 KB)   摘要: 本文从择优取向材料的受力边界条件出发．提出了一种计算择优取向材料X射线弹。性质的近似模型─—加权Hill模型并用这一简化模型计算了一些模型材料的X射线应力测试曲线．为验证新模型，实测了电镀及电刷镀Cu膜的应力实验结果与用新模型计算结果符合得较好从而解释了等离子辅助化学气相沉积（PCVD）TiN膜应力测试曲线的低ψ角弯曲现象．指出这种弯曲是由PCVDTIN中存在的柱状晶定向排列引起当低ψ角弯曲而高ψ角具有线性区段时、可利用高角直线段的斜率计算残余应力 关键词 ： 择优取向,  薄膜,  弹性性质,  加权Hill模型,  X射线应力测试     Abstract：Based on the boundary conditions for prefer--oriellted polycrystals under loading,a new model for the calculation of X--ray elastic constallts (XEC) for prefer--oriented materials,the weighted Hill model, is proposed. The model is applied to calculate the X--my stress measurement curves of some model materials. In order to check the model, the stresses in electroplated and brush--plated copper films are measured. The experimelltal results have good comparison with the calculated results. This helps to explain the low op angle curVature of the stress measuremellt curve for plasma enhanced chemical vapor deposition (PCVD) TiN films. It is mainly caused by the columnar structure exsisted in the PCVD TiN films. When the stress measurement curve has a linear zone at the high op angle, it is suggested to use the slope of the linear zone for the stress calculation. Key words： preferred orientation    thin film    X--ray elastic constant(XEC)    weighted Hill model    X--ray stress measurement 收稿日期: 1998-06-18      基金资助:国家自然科学基金!59581006;;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室开放基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 于利根 何家文 B.C.Hendrix 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1998/V34/I6/667 1 Hauk V M. Adv X-Ray Anal. 1983; 27: 101 2 Noyan I C,Cohen J B.Adv X-Ray Anal 1983;27:129 3 Perry ,A.J:Surf Coat Technol ,1990;4:231 4 Perry A J, Jagner M, Sproul W D, Rudnik P J. Surf Coat Technol 1990; 42: 49 5 Dolle H, Cohen J B. Met Trans , 1980; 11A: 159 6 Dolle H, Hank V. Z Metalkde , 1978; 69: 410 7 Brakman C M.J Appl Cryst, 1983; 16: 325 8 Sprauel J M, Francois M, Barral M. ICRS2, London and New York: Elesevier Applied Science 1989: 172 9 Krier J, Rupporsbery H, Berveiller M, Lipinski P. Textures Microsturct 1991; 14—18: 1147 [1] 任师浩, 刘永利, 孟凡顺, 祁阳. 应变工程中Bi(111)薄膜的半导体-半金属转变及其机理[J]. 金属学报, 2022, 58(7): 911-920. [2] 邱龙时, 赵婧, 潘晓龙, 田丰. 高速钢表面TiN薄膜的界面疲劳剥落行为[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1039-1047. [3] 曹庆平, 吕林波, 王晓东, 蒋建中. 物理气相沉积制备金属玻璃薄膜及其力学性能的样品尺寸效应[J]. 金属学报, 2021, 57(4): 473-490. [4] 郑晓航, 宁睿, 段佳彤, 蔡伟. Ti70-xTa15Zr15Fex (x=0.3、0.6、1.0)形状记忆合金薄膜的马氏体相变与阻尼行为[J]. 金属学报, 2020, 56(12): 1690-1696. [5] 李长记,邹敏杰,张磊,王元明,王甦程. 外延膜的高分辨X射线衍射分析[J]. 金属学报, 2020, 56(1): 99-111. [6] 何东昱,刘玉欣. 0.8PbTiO3-0.2Bi(Mg0.5Ti0.5)O3铁电薄膜90°分步畴转与温度效应[J]. 金属学报, 2019, 55(3): 325-331. [7] 吴厚朴,田修波,张新宇,巩春志. 双脉冲HiPIMS放电特性及CrN薄膜高速率沉积[J]. 金属学报, 2019, 55(3): 299-307. [8] 宋贵宏,李贵鹏,刘倩男,杜昊,胡方. 溅射沉积Mg2(Sn, Si)薄膜组织结构与导电性能[J]. 金属学报, 2019, 55(11): 1469-1476. [9] 何贤美, 童六牛, 高成, 王毅超. Nd含量对磁控溅射Si(111)/Cr/Nd-Co/Cr薄膜结构与磁性的影响[J]. 金属学报, 2019, 55(10): 1349-1358. [10] 马晓琴, 詹清峰, 李金财, 刘青芳, 王保敏, 李润伟. 倾斜溅射对CoFeB薄膜条纹磁畴结构与磁各向异性的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(9): 1281-1288. [11] 董彩虹, 刘永利, 祁阳. 厚度对Bi薄膜表面特性和电学性质的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(6): 935-942. [12] 时惠英, 杨超, 蒋百灵, 黄蓓, 王迪. 双脉冲磁控溅射峰值靶电流密度对TiN薄膜结构与力学性能的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(6): 927-934. [13] 于晓明, 谭丽丽, 刘宗元, 杨柯, 朱忠林, 李扬德. Ti6Al4V表面生物功能纯Mg薄膜制备及性能研究[J]. 金属学报, 2018, 54(6): 943-949. [14] 张广平, 陈红蕾, 罗雪梅, 张滨. 微纳米尺度金属导电材料热疲劳研究进展[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 357-366. [15] 孙亚超, 朱明刚, 韩瑞, 石晓宁, 俞能君, 宋利伟, 李卫. 各向异性稀土永磁薄膜的磁黏滞性[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 457-462. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed