柔性基片上In2O3：Sn和ZnO：Al薄膜的制备及其电学和光学特性

金属学报

1999, Vol. 35

Issue (4): 443-448

论文

本期目录 | 过刊浏览

柔性基片上In2O3：Sn和ZnO：Al薄膜的制备及其电学和光学特性

陈猛白雪冬　黄荣芳闻立时

中国科学院金属研究所; 沈阳 110015

引用本文:

陈猛; 白雪冬; 黄荣芳; 闻立时 . 柔性基片上In2O3：Sn和ZnO：Al薄膜的制备及其电学和光学特性[J]. 金属学报, 1999, 35(4): 443-448 .

全文: PDF(392 KB)

摘要: 利用直流磁控反应溅射铟锡合金靶和锌合金钯, 在软基片上低温沉积了Ｉｎ２Ｏ３：Ｓｎ（ＩＴＯ）和ＺｎＯ：Ａｌ（ＺＡＯ）透明电薄膜. 结果表明, ＩＴＯ和ＺＡＯ薄膜均出现晶格畸变；柔性基片上低温沉积薄膜的电阻率对氧分压的依赖性远低于硅和玻璃衬底；尺度效应对薄膜电阻率有重要的影响.

关键词 ：柔性基片, 光学能隙, 半导体薄膜, 制备

Key words：

收稿日期: 1998-11-06

ZTFLH:

TN304.21

	服务

	把本文推荐给朋友
	加入引用管理器
	E-mail Alert
	RSS
	作者相关文章
	陈猛
	白雪冬
	黄荣芳
	闻立时
44.8K

链接本文:

https://www.ams.org.cn/CN/Y1999/V35/I4/443

[1] Jiang X C, Hu Y. Vacuum, 1995; 6: 1(姜燮昌,胡勇,真空,1995; 6: 1)
[2] Tadatsugu M, Hideo S, Shinzo T, Ichiro F. J Vac Sci Tech- nol, 1995; A13: 1053
[3] Jin Z C, Hamberg I, Granqvist C G. J Appl Phys,1988; 64:5117
[4] Karasawa T, Miyata Y. Thin Solid Film, 1993; 223: 135
[5] Chiou Bi-Shiou, Hsich Shu-Ta, Wa Wan-Fa. J Am CeaseSoc, 1994; 77: 1740
[6] Chen M, Bat X D, Pei Z L, Huang R F, Wen L S. J InoroanicMaterials, in press(陈猛,白雪冬,裴志亮,黄荣芳,闻立时,无时材料学报待发表)
[7] Chen M, Bat X D, Pei Z L, Huang R F, Wen L S. Chin JSemiconductors, in press(陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时.半导体学报待发表)
[8] Naseem S, Coutts T J. Thin Solid Film, 1986; 138: 65
[9] Harding G L, Window B. Solar Energy Mated 1990; 20: 367
[10] Ishibashi S, Higuchi Y, Ota Y, Nakamura K J. J Vac SciTechnol, 1990; AS: 1399
[11] Ando M, Takabatake M, Nishimura E, Leblanc F, OnisawaK, Minemura T. J Non-Cryst Solids, 1996; 188: 28
[12] Echertova L. Phonics of Thin Films.New York: PlenumPress, 1977: 180
[13] Tian M B, Liu D L trans eds. Handbook of Thin Film Science and Technology. Beijing: Mechanical industry Press,1991: 103(田民波,刘德令编译.薄膜科学技术手册.北京:机械工业出版社, 1991: 103)
[14] Hamberg I, Granqvist C G. J Appl Phys, 1986; 60: R123
[15] Hamberg I, Granqvist C G, Berggren K B, Sernelius B E,Engstrom L. Solar Enemy Mater, 1985; 12: 479
[16] Ohhata Y, Shinoki F, Yoshida S. Thin Solid Films, 1979;59:255

[1]	马宗义, 肖伯律, 张峻凡, 朱士泽, 王东. 航天装备牵引下的铝基复合材料研究进展与展望[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 457-466.
[2]	张百成, 张文龙, 曲选辉. 基于高通量制备的增材制造材料成分设计[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 75-86.
[3]	张显程, 张勇, 李晓, 王梓萌, 贺琛贇, 陆体文, 王晓坤, 贾云飞, 涂善东. 异构金属材料的设计与制造[J]. 金属学报, 2022, 58(11): 1399-1415.
[4]	赵乃勤, 郭斯源, 张翔, 何春年, 师春生. 基于增强相构型设计的石墨烯/Cu复合材料研究进展[J]. 金属学报, 2021, 57(9): 1087-1106.
[5]	刘健, 彭钦, 谢建新. 选区激光熔化René 88DT高温合金的晶粒组织及冶金缺陷调控[J]. 金属学报, 2021, 57(2): 191-204.
[6]	赵雷, 王辉, 杨丽霞, 陈学斌, 郎润秋, 贺林峰, 陈东风, 王海舟. Fe-Co-Ni系组合合金热等静压高通量制备方法初探[J]. 金属学报, 2021, 57(12): 1627-1636.
[7]	任德春, 张慧博, 赵晓东, 王福雨, 侯文韬, 王绍钢, 李述军, 金伟, 杨锐. 打印参数对电子束增材制造Ti-Ni合金性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(8): 1103-1112.
[8]	张北江,黄烁,张文云,田强,陈石富. 变形高温合金盘材及其制备技术研究进展[J]. 金属学报, 2019, 55(9): 1095-1114.
[9]	张国庆,张义文,郑亮,彭子超. 航空发动机用粉末高温合金及制备技术研究进展[J]. 金属学报, 2019, 55(9): 1133-1144.
[10]	赵乃勤, 刘兴海, 蒲博闻. 多维度碳纳米相增强铝基复合材料研究进展[J]. 金属学报, 2019, 55(1): 1-15.
[11]	王晓军, 向烨阳, 胡小石, 吴昆. 碳纳米材料增强镁基复合材料研究进展[J]. 金属学报, 2019, 55(1): 73-86.
[12]	张学习, 郑忠, 高莹, 耿林. 金属基复合材料高通量制备及表征技术研究进展[J]. 金属学报, 2019, 55(1): 109-125.
[13]	张二林, 王晓燕, 憨勇. 医用多孔Ti及钛合金的国内研究现状[J]. 金属学报, 2017, 53(12): 1555-1567.
[14]	卢柯. 梯度纳米结构材料[J]. 金属学报, 2015, 51(1): 1-10.
[15]	阳靖峰董俊华柯伟陈楠. 硼酸缓冲溶液中pH值和腐蚀产物对低碳钢活化/钝化敏感性的影响[J]. 金属学报, 2011, 47(2): 152-156.

Viewed

Full text

Abstract

Cited

Shared

Discussed