金属学报  1993, Vol. 29 Issue (11): 85-90

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溅射Fe_(82)Si_6B_(12)非晶合金膜的晶化动力学研究

姜洪刚;佟华宇;丁炳哲;胡壮麒;宋启洪;董林;周强

中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室;博士研究生;沈阳110015;中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室;沈阳110015;中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室;沈阳110015;中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室;沈阳110015;中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室;沈阳110015;辽宁省理化测试中心;辽宁省理化测试中心

CRYSTALLIZATION KINETICS OF SPUTTERING Fe_(82)Si_6B_(12) AMORPHOUS ALLOY FILM

JIANG Honggang;TONG Huayu;DING Bingzhe;HU Zhuangqi;SONG Qihong;DONG Lin;ZHOU Qiang State Key Laboratory of RSA; Institute of Metal Research; Academia Sinica; Shenyang Liaoning Physical and Chemical Testing Centre; Shenyang

姜洪刚;佟华宇;丁炳哲;胡壮麒;宋启洪;董林;周强. 溅射Fe_(82)Si_6B_(12)非晶合金膜的晶化动力学研究[J]. 金属学报, 1993, 29(11): 85-90.
, , , , , , . CRYSTALLIZATION KINETICS OF SPUTTERING Fe_(82)Si_6B_(12) AMORPHOUS ALLOY FILM[J]. Acta Metall Sin, 1993, 29(11): 85-90.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1000 KB)   摘要: 用动态原位电镜观察方法研究了直流溅射Fe_(82)Si_(6)B_(12)非晶合金膜的晶化动力学过程结果表明:溅射Fe_(82)Si_6B_(12)非晶合金膜的晶化类型为初晶晶化,初晶产物为α(Fe,Si)长大以枝晶方式进行,长大方向沿<110>晶向.α(Fe,Si)初晶形核采取瞬态均匀形核,晶核初始的形状为圆形和多角形,并很快发展成枝晶.α(Fe,Si)枝晶的长大是由B原子在非晶合金中的长程扩散控制的,根据对长大过程的动力学分析,得到了B原子在溅射Fe_(82)Si_(6)B_(12)非晶合金膜中的自扩散系数,且扩散系数与退火温度之间符合Arrhenius关系. 关键词 ： Fe_(82)Si_(6)B_(12)非晶合金,  薄膜,  晶化,  扩散     Abstract：In situ observation under TEM was carried out on the crystallization of prima-ry crystalline α(Fe, Si) in the sputtering Fe_(82)Si_6B_12 amorphous alloy film. The growth ofa(Fe,Si) is of dendritic morphology along <110> orientation. The nucleation of primarycrystalline a(Fe,Si) may be transient homogeneous, in circular or polygonal shape and to berapidly growing into dendrites. The growth of the α(Fe,Si) dendrites is controlled bylong-range diffusion of B atoms in the amorphous alloy. The self-diffusion coefficient of Batom in the sputtering Fe_(82)Si_6B_(12) amorphous alloy film together with the Arrhenius relationbetween diffusion coefficient and annealing temperature were obtained on the basis of kineticanalysis of its growing process. Key words： Fe_(82)Si_6B_(12) amorphous alloy    film    crystallization    diffusion 收稿日期: 1993-11-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 姜洪刚 佟华宇 丁炳哲 胡壮麒 宋启洪 董林 周强 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1993/V29/I11/85 1 Koster U, Herold U. Glassy Metals I, 1981; 225 2 Chang C F, Marti J. J Mater Sci, 1983: 18: 2297 3 Swartz J C, Kossowsky R, Haugh J J, Krause R F. J Appl Phys, 1981; 52: 3324 4 Koster U, Herold U, Hillenbrand H G, Denis J. J Mater Sci Lett, 1980; 15: 2125 5 Zener C J. Appl Phys, 1949: 20: 950 6 Hansen M. Constitution of Binary Alloys, 2nd edn, New York: McGraw-Hill, 1958| [1] 宫声凯, 刘原, 耿粒伦, 茹毅, 赵文月, 裴延玲, 李树索. 涂层/高温合金界面行为及调控研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1097-1108. [2] 徐文国, 郝文江, 李应举, 赵庆彬, 卢炳聿, 郭和一, 刘天宇, 冯小辉, 杨院生. 微量Al、Ti对Inconel 690合金高温氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(12): 1547-1558. [3] 刘路军, 刘政, 刘仁辉, 刘永. Nd90Al10 晶界调控对晶界扩散磁体磁性能和微观结构的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(11): 1457-1465. [4] 李赛, 杨泽南, 张弛, 杨志刚. 珠光体-奥氏体相变中扩散通道的相场法研究[J]. 金属学报, 2023, 59(10): 1376-1388. [5] 沈莹莹, 张国兴, 贾清, 王玉敏, 崔玉友, 杨锐. SiCf/TiAl复合材料界面反应及热稳定性[J]. 金属学报, 2022, 58(9): 1150-1158. [6] 任师浩, 刘永利, 孟凡顺, 祁阳. 应变工程中Bi(111)薄膜的半导体-半金属转变及其机理[J]. 金属学报, 2022, 58(7): 911-920. [7] 郭璐, 朱乾科, 陈哲, 张克维, 姜勇. Fe76Ga5Ge5B6P7Cu1 合金的非等温晶化动力学[J]. 金属学报, 2022, 58(6): 799-806. [8] 李金富, 李伟. 铝基非晶合金的结构与非晶形成能力[J]. 金属学报, 2022, 58(4): 457-472. [9] 李细锋, 李天乐, 安大勇, 吴会平, 陈劼实, 陈军. 钛合金及其扩散焊疲劳特性研究进展[J]. 金属学报, 2022, 58(4): 473-485. [10] 化雨, 陈建国, 余黎明, 司永宏, 刘晨曦, 李会军, 刘永长. 高Cr铁素体耐热钢与奥氏体耐热钢的异种材料扩散连接接头组织演变及力学性能[J]. 金属学报, 2022, 58(2): 141-154. [11] 张金勇, 赵聪聪, 吴宜谨, 陈长玖, 陈正, 沈宝龙. (Fe0.33Co0.33Ni0.33)84 -x Cr8Mn8B x 高熵非晶合金薄带的结构特征及其晶化行为[J]. 金属学报, 2022, 58(2): 215-224. [12] 韩录会, 柯海波, 张培, 桑革, 黄火根. 非晶态U60Fe27.5Al12.5 合金的晶化动力学行为[J]. 金属学报, 2022, 58(10): 1316-1324. [13] 刘仲武, 何家毅. 钕铁硼永磁晶界扩散技术和理论发展的几个问题[J]. 金属学报, 2021, 57(9): 1155-1170. [14] 陈胜虎, 戎利建. 超细晶铁素体-马氏体钢的高温氧化成膜特性及其对Pb-Bi腐蚀行为的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 989-999. [15] 邱龙时, 赵婧, 潘晓龙, 田丰. 高速钢表面TiN薄膜的界面疲劳剥落行为[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1039-1047. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed