金属学报  1995, Vol. 31 Issue (15): 139-144

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单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜结构及性能研究

朱宏;柳襄怀;任琮欣;陈国梁;邹世昌

中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室

STRUCTURE AND PROPERTIES OF DIAMOND LIKE CARBON FILMS BY LOW ENERGY ION BEAM ASSISTED DEPOSITION USING A SINGLE ION SOURCE

ZHU Hong; LIU Xianghuai; REN Congxin; CHEN Guoliang; ZOU Shichang (Ion Beam Lahoratory Shanghai Institute of Metallurgy; Chinese Academy of Sciences;Shanghai 200050)

朱宏;柳襄怀;任琮欣;陈国梁;邹世昌. 单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜结构及性能研究[J]. 金属学报, 1995, 31(15): 139-144.
, , , , . STRUCTURE AND PROPERTIES OF DIAMOND LIKE CARBON FILMS BY LOW ENERGY ION BEAM ASSISTED DEPOSITION USING A SINGLE ION SOURCE[J]. Acta Metall Sin, 1995, 31(15): 139-144.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(428 KB)   摘要: 用单源低能氩离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）法制备了非晶碳薄膜．氩离子能量为４００－１５００ｅＶ．膜面光滑致密，与衬底的结合力较高。用Ｒａｍａｎ，ＦＴＩＲ，ＨＲＴＥＭ，ＴＥＤ，ＳＥＭ，ＥＲＤ及ＲＢＳ研究了薄膜的形貌、结构和组分，测量了膜的电阻率、显微硬度及摩擦系数．薄膜为无定形的类金刚石（ＤＬＣ）．其中含氢约为２０５ａｔ．－％，碳原子与氢原子几乎没有形成Ｃ－Ｈ键．随着离子束能量及束流的增加，显微硬度、摩擦系数增加，电阻率减小．硬度增加是由于薄膜致密度的增加，而电阻率降低是由于膜中金刚石键（ｓｐ~３键）含量减少的缘故． 关键词 ： 离子束辅助沉积,  类金刚石薄膜,  结构,  性能     Abstract：Amorphous carbon films with a smooth surface and a good adhesion to silicon and steel substrates have been prepared by ion beam assisted deposition (IBAD) using a single ion source. The energy of Ar ion ranged from 400 to 1500 eV. The structure and composition of the films were characterized using Raman spectroscopy, FTIR, HRTEM, TED. SEM, ERD and RBS. Electrical resistivity, microhardness and friction coefficient were tested to evaluate the films. The films was proved to be diamond like carbon (DLC). The hydrogen content measured by ERD is about 2.05 at.-%. The carbon hydrogen bond (C-H) seemes unformed. As ion energy and beam current increased. microhardness and friction coefficient increased. but electrical resistivity decreased. The increased microhardness is due to the increased film density and the decreased electrical resistivity is due to the decreased concentration of sp~3 bonds in the film. Key words： diamond like carbon film    ion beam assisted deposition    structure    property      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 朱宏 柳襄怀 任琮欣 陈国梁 邹世昌 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1995/V31/I15/139 1WolfGK,EnsingerW．NuclInstrMeth,1991;B59//60:1732ZhangYuchun,WuYuming．RenCongxin,FuXinding,ChenGuoming．NuclInstrMeth,1985:B6:4473DillonRO,WoollamJohnA．PhysRev,1984;B29:34824KnightDS,WhiteWB．JMaterRes,1989;4:3855TsaiH,BogyDB,JVacSciTechnol,1987;A5:32876CoudercP,CaterineY．ThinSolidFilms,1987;146:937NabotJPh,AndreB．PaidassiS．SurfCoatTechnol．1990;43//44:718SavvidesN,windowB．JVacSciTechnol,1985;A3:2386 [1] 张雷雷, 陈晶阳, 汤鑫, 肖程波, 张明军, 杨卿. K439B铸造高温合金800℃长期时效组织与性能演变[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1253-1264. [2] 宫声凯, 刘原, 耿粒伦, 茹毅, 赵文月, 裴延玲, 李树索. 涂层/高温合金界面行为及调控研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1097-1108. [3] 张健, 王莉, 谢光, 王栋, 申健, 卢玉章, 黄亚奇, 李亚微. 镍基单晶高温合金的研发进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1109-1124. [4] 王磊, 刘梦雅, 刘杨, 宋秀, 孟凡强. 镍基高温合金表面冲击强化机制及应用研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1173-1189. [5] 郑亮, 张强, 李周, 张国庆. 增/降氧过程对高温合金粉末表面特性和合金性能的影响：粉末存储到脱气处理[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1265-1278. [6] 刘伟, 陈婉琦, 马梦晗, 李恺伦. 聚变堆用W在等离子体作用下的辐照损伤行为研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 986-1000. [7] 陈礼清, 李兴, 赵阳, 王帅, 冯阳. 结构功能一体化高锰减振钢研究发展概况[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1015-1026. [8] 李景仁, 谢东升, 张栋栋, 谢红波, 潘虎成, 任玉平, 秦高梧. 新型低合金化高强Mg-0.2Ce-0.2Ca合金挤压过程中的组织演变机理[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1087-1096. [9] 丁桦, 张宇, 蔡明晖, 唐正友. 奥氏体基Fe-Mn-Al-C轻质钢的研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1027-1041. [10] 司永礼, 薛金涛, 王幸福, 梁驹华, 史子木, 韩福生. Cr添加对孪生诱发塑性钢腐蚀行为的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 905-914. [11] 袁江淮, 王振玉, 马冠水, 周广学, 程晓英, 汪爱英. Cr2AlC涂层相结构演变对力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 961-968. [12] 郭福, 杜逸晖, 籍晓亮, 王乙舒. 微电子互连用锡基合金及复合钎料热-机械可靠性研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 744-756. [13] 梁凯, 姚志浩, 谢锡善, 姚凯俊, 董建新. 新型耐热合金SP2215组织与性能的关联性[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 797-811. [14] 李谦, 刘凯, 赵天亮. 弹性拉应力下Q235碳钢在5%NaCl盐雾中的成锈行为及其机理[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 829-840. [15] 吴东江, 刘德华, 张子傲, 张逸伦, 牛方勇, 马广义. 电弧增材制造2024铝合金的微观组织与力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 767-776. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed