金属学报  2002, Vol. 38 Issue (11): 1228-1232

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HFCVD金刚石薄膜温度场的数值研究

汪爱英　 孙超　 邹友生　 黄荣芳　 闻立时

中国科学院金属研究所;沈阳110016

汪爱英; 孙超; 邹友生; 黄荣芳; 闻立时 . HFCVD金刚石薄膜温度场的数值研究[J]. 金属学报, 2002, 38(11): 1228-1232 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(223 KB)   摘要: 热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中,在热丝相关工艺参数取优化值的前提下,对热辐射平衡体系中衬底表面辐照度和衬底温度的空间分布进行了模拟计算,探讨了衬底横向热传导对衬底温度分布的影响.结果表明,在绝热边界和1000 K恒温边界条件下,热传导都使衬底温度的空间分布均匀性明显优于纯热辐射下的温度分布.这些计算结果为大面积高质量金刚石膜的生长进一步提供了理论基础. 关键词 ： 金刚石膜,  辐照度,  温度场,  热传导     Key words： 收稿日期: 2002-02-01      ZTFLH:  TB115   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 汪爱英 孙超 邹友生 黄荣芳 闻立时 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2002/V38/I11/1228 [1] Angus J C, Hayman C C. Science, 1988; 241: 913 [2] Yarbrough W A, Messier R. Science, 1990; 247: 688 [3] Bachmann P K, Leers D, Lydtin H. Diam Rel Mater, 1991;1: 1 [4] Jiang X, Schiffmann, Klages C P. Phys Rev, 1994; B50:8402 [5] Song G H, Sun C, Huang R F, Wen L S. Surf Coat Tech-nol, 2000; 18: 860 [6] Janson F, Machonkin M A, Kuhman D E. J Vac Sci Tech-nol A, 1990; 8: 3785 [7] Mark C M, Wen L H, Michael E C, David S D. J ApplPhys, 1994; 76: 7567 [8] Xu N, Zheng Z H, Zhang X F, Sun Z. Thin Film Sci Tech-nol, 1994; 7: 68（许 宁,郑志豪,张晓峰,孙 卓.薄膜科学与技术,1994;7:68） [9] Song G H, Sun C, Wang B, Wang A Y, Huang R F, WenL S. Mater Lett, 2001; 48: 8 [10] Wolden C, Mitra S, Gleason K K. J App Phys, 1992; 72:3750 [11] Liu D Y, Huang R F, Yu J, Wen L S, Shi C X. Chin JMater Res, 1996; 10: 279（刘德义,黄荣芳,于 杰,闻立时,师昌绪.材料研究学报,1996; 10:279） [12] Wang A Y, Sun C, Wang B, Gong J, Huang R F, Wen L S. Acta Metall Sin, 2001; 37: 1217（汪爱英,孙 超,王 冰,宫 骏,黄荣芳,闻立时.金属学报,2001;37:1217） [13] Tao W S. Numerical Study of Heat Transfer. Xi'an: Xi'an Jiaotong University Press, 1995: 79（陶文铨.数值传热学.西安:西安交通大学出版社,1995:79） [14] Glassbrenner G J, Slack G A. Phys Rev, 1964; 134: 1058 [15] Song G H, Sun C, Wang B; Huang R F, Wen L S. Chinese J Mater Res, 2000; 14: 609（宋贵宏,孙 超,王 冰,黄荣芳,闻立时.材料研究学报,2000; 14:609） [1] 唐海燕, 李小松, 张硕, 张家泉. 基于恒过热控制的感应加热中间包内钢水的流动与传热[J]. 金属学报, 2020, 56(12): 1629-1642. [2] 刘新华, 付华栋, 何兴群, 付新彤, 江燕青, 谢建新. Cu-Al复合材料连铸直接成形数值模拟研究[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 470-484. [3] 种晓宇, 汪广驰, 杜军, 蒋业华, 冯晶. ZTAp/HCCI复合材料凝固过程中的温度场和热应力的数值模拟[J]. 金属学报, 2018, 54(2): 314-324. [4] 陈亚东, 郑运荣, 冯强. 基于微观组织演变的DZ125定向凝固高压涡轮叶片服役温度场的评估方法研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(12): 1545-1556. [5] 薛鹏, 张星星, 吴利辉, 马宗义. 搅拌摩擦焊接与加工研究进展*[J]. 金属学报, 2016, 52(10): 1222-1238. [6] 赵博,武传松,贾传宝,袁新. 水下湿法FCAW焊缝成形的数值分析[J]. 金属学报, 2013, 49(7): 797-803. [7] 徐庆东,林鑫,宋梦华,杨海欧,黄卫东. 激光成形修复2Cr13不锈钢热影响区的组织研究[J]. 金属学报, 2013, 49(5): 605-613. [8] 庞瑞朋,王福明,张国庆,李长荣. 基于3D－CAFE法对430铁素体不锈钢凝固热参数的研究[J]. 金属学报, 2013, 49(10): 1234-1242. [9] 魏洁 董俊华 柯伟. 热轧螺纹钢化学剂冷却过程温度场的数值模拟及实验研究[J]. 金属学报, 2012, 48(1): 115-121. [10] 冯明杰 王恩刚 赫冀成. 高速钢复合轧辊连铸复合过程温度场的数值模拟 I. 石墨铸型法[J]. 金属学报, 2011, 47(12): 1495-1502. [11] 冯明杰 王恩刚 赫冀成. 高速钢复合轧辊连铸复合过程温度场的数值模拟 II. 铜结晶器法[J]. 金属学报, 2011, 47(12): 1503-1512. [12] 杨巍 汪爱英 柯培玲 蒋百灵. 镁基表面微弧氧化/类金刚石膜的性能表征[J]. 金属学报, 2011, 47(12): 1535-1540. [13] 于海岐 朱苗勇. 圆坯结晶器电磁搅拌过程三维流场与温度场数值模拟[J]. 金属学报, 2008, 44(12): 1465-1473. [14] 徐锋; 左敦稳; 卢文壮; 王珉 . 纳米金刚石薄膜的微结构和残余应力[J]. 金属学报, 2008, 44(1): 74-78 . [15] 郭志鹏; 熊守美; 曺尚铉; 崔正吉 . 热传导反算模型的建立及其在求解界面热流过程中的应用[J]. 金属学报, 2007, 43(6): 607-611 . Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed