金属学报  2001, Vol. 37 Issue (11): 1217-1222

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热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算

汪爱英　 孙超　 王冰　 宫骏　 黄荣芳　 闻立时

中国科学院金属研究所;沈阳110016

汪爱英; 孙超; 王冰; 宫骏; 黄荣芳; 闻立时 . 热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算[J]. 金属学报, 2001, 37(11): 1217-1222 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(233 KB)   摘要: 对热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中影响衬底温度场的热丝几何参数及其他相关沉积参数进行了模拟计算.结果表明,通过优化参数,用80 mm×80 mm的热丝阵列可以获得76 mm×76 mm面积的均匀衬底温度区,进一步利用辅助热丝则可将均温区面积扩大到100 mm×100 mm.这些结果可以为沉积高质量、大面积金刚石膜的工艺参数提供理论依据. 关键词 ： 热丝化学沉积,  金刚石膜,  温度场     Key words： 收稿日期: 2001-03-18      ZTFLH:  O643.1   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 汪爱英 孙超 王冰 宫骏 黄荣芳 闻立时 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2001/V37/I11/1217 [1] Jiang X L. Thin Film Sci Technol, 1991; 4: 9(蒋翔六.薄膜科学与技术.1991;4:9) [2] Geis M W, Efremow N N, Rathman D D. J Vac Sci Tech-nol, 1988; A6: 1953 [3] Matsumoto S, Tsutsumi Y, Setaka N. J Mater Sci, 1982;17: 3106 [4] Kamo M, Sato Y, matsumoto S, Setaka N. J CrystGrowth, 1983; 62: 642 [5] Yugo S, Kanai T, Kimura T, Muto T. Appl Phys Lett,1991; 58: 1036 [6] Hirose Y, Konda N. In the Proceeding of the First In-ternational Conference on Diamond and Diamond-LikeFilms, the Electrochem Soc, USA, 1989: 80 [7] Chen Y. Ph D Thesis, Institute of Metal Research, TheChinese Academy of Science, 1993(陈 岩.中国科学院金属研究所博士学位论文.1993) [8] Sun C, Zhang W J, Wang N, Chan C Y, Bello I, Lee C S,Lee S T. J Appl Chys, 2000; 88: 3354 [9] Liu Z J, Zhang W, Wan Z Y, Wang J T. Funct Mater,1998: 29: 506(刘志杰,张 卫,万水中,王季陶,功能材料,1998;29:506) [10] Wolden C, Mitra S, Gleason K K. J Appl Phys, 1992; 72:3750 [11] Liu D Y, Huang R F, Yu J, Wen L S, Shi C X. Chin JMater Res, 1996; 10: 279(刘德义,黄荣芳,于 杰,闻立时、师昌绪,材料研究学报,1996 10:279) [12] Song G H, Sun C, Huang R F, Wen L S, Shi C X. SurfCoat Technol, 2000; 131: 500 [13] Isachenko V P, Wang F, Ji S L, Zhou Y Q, Yu X Ctrans. Theory of Heat Transfer, Beijing: Higher Edu-cation Press, 1986(Isachenke著,王 丰,冀守礼,周筠清.喻锡臣译.传热学,北京:高等教育出版社.1986) [14] Thomas L C. Heat Transfer, New Jersey: Prentice-HallInc. Englewood Cliffs Press, 1992: 262 [15] Yu J. Ph D Thesis, Institute of Metal Research, The Chi-nese Academy of Science, 1993(于 杰.中国科学院金属研究所博士学位论文.1993) [16] Goodwill D G, Gavillet G G. J Appl Phys, 1990; 68: 6393 [17] Jansen F, Machonkin M A, Kuhman D E. J Vac Sci Tech-nol, 1990; 8A: 3785h [1] 唐海燕, 李小松, 张硕, 张家泉. 基于恒过热控制的感应加热中间包内钢水的流动与传热[J]. 金属学报, 2020, 56(12): 1629-1642. [2] 刘新华, 付华栋, 何兴群, 付新彤, 江燕青, 谢建新. Cu-Al复合材料连铸直接成形数值模拟研究[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 470-484. [3] 种晓宇, 汪广驰, 杜军, 蒋业华, 冯晶. ZTAp/HCCI复合材料凝固过程中的温度场和热应力的数值模拟[J]. 金属学报, 2018, 54(2): 314-324. [4] 陈亚东, 郑运荣, 冯强. 基于微观组织演变的DZ125定向凝固高压涡轮叶片服役温度场的评估方法研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(12): 1545-1556. [5] 薛鹏, 张星星, 吴利辉, 马宗义. 搅拌摩擦焊接与加工研究进展*[J]. 金属学报, 2016, 52(10): 1222-1238. [6] 赵博,武传松,贾传宝,袁新. 水下湿法FCAW焊缝成形的数值分析[J]. 金属学报, 2013, 49(7): 797-803. [7] 徐庆东,林鑫,宋梦华,杨海欧,黄卫东. 激光成形修复2Cr13不锈钢热影响区的组织研究[J]. 金属学报, 2013, 49(5): 605-613. [8] 庞瑞朋,王福明,张国庆,李长荣. 基于3D－CAFE法对430铁素体不锈钢凝固热参数的研究[J]. 金属学报, 2013, 49(10): 1234-1242. [9] 魏洁 董俊华 柯伟. 热轧螺纹钢化学剂冷却过程温度场的数值模拟及实验研究[J]. 金属学报, 2012, 48(1): 115-121. [10] 冯明杰 王恩刚 赫冀成. 高速钢复合轧辊连铸复合过程温度场的数值模拟 I. 石墨铸型法[J]. 金属学报, 2011, 47(12): 1495-1502. [11] 冯明杰 王恩刚 赫冀成. 高速钢复合轧辊连铸复合过程温度场的数值模拟 II. 铜结晶器法[J]. 金属学报, 2011, 47(12): 1503-1512. [12] 杨巍 汪爱英 柯培玲 蒋百灵. 镁基表面微弧氧化/类金刚石膜的性能表征[J]. 金属学报, 2011, 47(12): 1535-1540. [13] 于海岐 朱苗勇. 圆坯结晶器电磁搅拌过程三维流场与温度场数值模拟[J]. 金属学报, 2008, 44(12): 1465-1473. [14] 徐锋; 左敦稳; 卢文壮; 王珉 . 纳米金刚石薄膜的微结构和残余应力[J]. 金属学报, 2008, 44(1): 74-78 . [15] 张琦; 王同敏; 李廷举; 金俊泽 . 行波磁场作用下空心管坯的两相凝固数值模拟[J]. 金属学报, 2007, 43(6): 668-672 . Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed