金属学报  1997, Vol. 33 Issue (11): 1165-1170

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离子束轰击对多层膜摩擦学性能的影响

张伟;薛群基;张绪寿

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室;兰州;730000;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室;兰州;730000;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室;兰州;730000

THE INFLUENCE OF ION BEAM BOMBARDMENT TO THE TRIBOLOGICAL PERFORMANCE OF MULTILAYER FILM

ZHANG Wei;XUE Qunji;ZHANG Xushou(Laboratory of Solid Lubrication; Lanzhou Institute of Chemical Physics; The Chinese Academy of Sciences;Lanzhou 730000)

张伟;薛群基;张绪寿. 离子束轰击对多层膜摩擦学性能的影响[J]. 金属学报, 1997, 33(11): 1165-1170.
, , . THE INFLUENCE OF ION BEAM BOMBARDMENT TO THE TRIBOLOGICAL PERFORMANCE OF MULTILAYER FILM[J]. Acta Metall Sin, 1997, 33(11): 1165-1170.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1262 KB)   摘要: 用Ne离子束混合法制备了Ni／Cr多层膜，用Auger光电子能谱（AES）、X射线衍射（XRD）分析离子束混合多层膜的元素组成、分布和相结构，将其结果与简单蒸发沉积的Ni／Cr多层膜结构进行比较同时，对多层膜（轰击与未轰击）的硬度及摩擦学性能进行测定分析比较结果表明，离子束混合多层膜的硬度和抗磨性能与简单蒸发沉积多层膜相比都有提高这主要是因为Ne离子的轰击作用使多层膜更加致密及膜内的碳化铬硬质弥散相向界面处偏聚，使多层界面的强化作用得到加强，从而提高了多层膜的抗磨性能 关键词 ： 离子束混合,  Ni／Cr多层膜,  摩擦磨损,  界面强化     Abstract：Ni/Cr multilayer film was prepared by the way of Ne+ ion beam mixing. The distribution of elements and phase structure in Ni/Cr multilayer film were investigated using Auger electron spectroscopy sputtering depth profiles and X-ray diffraction analysis. The microhardness and tribological properties of multilayer film were measured. The results showed that Ni/Cr ion beam mixing multilayer film had high microhardness and anti-wear property compared with that of Ni/Cr multilayer film without ion beam bombardment. The high anti-wear property of ion beam mixing Ni/Cr multilayer film was attributed to the change of microstructure of the multilayer film and the dispersed chromium carbide microcrystals moved to the interfaces of multilayer film. Key words： ion beam mixing    Ni/Cr multilayer film    friction and wear    interface strengthening 收稿日期: 1997-11-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张伟 薛群基 张绪寿 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1997/V33/I11/1165 1SudarshanTS著,范王殿译.表面改性技术工程师指南.北京:清华大学出版社,1992:1 2HuangRF,BangertH,WenllLS,GuoLP,GongJ,YuBH.SurfCoatTechnol,1992;50:97 3RuffAW,LashmoreDS.In:LudemaKC,BayerRGeds,WearofMaterials-1991,NewYork:ASME,1991:137 4SubramanianC,StraffordKN.Wear,1993;165:85 5ZieglerJF,BiersackJP,LithmackV.TheStoppingandRangeofIonsinSolidsVol.1,NewYork:Pergamon,1985:41 6JCPDSCard6-0694 7CarterG.RadiatEffLett,1979;43:193 [1] 冯力, 王贵平, 马凯, 杨伟杰, 安国升, 李文生. 冷喷涂辅助感应重熔合成AlCo x CrFeNiCu高熵合金涂层的显微组织和性能[J]. 金属学报, 2023, 59(5): 703-712. [2] 苗军伟, 王明亮, 张爱军, 卢一平, 王同敏, 李廷举. AlCr1.3TiNi2 共晶高熵合金的高温摩擦学性能及磨损机理[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 267-276. [3] 王文权, 杜明, 张新戈, 耿铭章. H13钢表面电火花沉积WC-Ni基金属陶瓷涂层微观组织及摩擦磨损性能[J]. 金属学报, 2021, 57(8): 1048-1056. [4] 赵万新, 周正, 黄杰, 杨延格, 杜开平, 贺定勇. FeCrNiMo激光熔覆层组织与摩擦磨损行为[J]. 金属学报, 2021, 57(10): 1291-1298. [5] 赵明雨,甄会娟,董志宏,杨秀英,彭晓. 新型耐磨耐高温氧化NiCrAlSiC复合涂层的制备及性能研究[J]. 金属学报, 2019, 55(7): 902-910. [6] 杨继兰, 蒋元凯, 顾剑锋, 郭正洪, 陈海龑. 奥氏体化温度对中碳淬火-配分钢干滑动摩擦磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(1): 21-30. [7] 楼白杨,王宇星. Mo含量对CrMoAlN薄膜微观结构和摩擦磨损性能的影响*[J]. 金属学报, 2016, 52(6): 727-733. [8] 喻利花, 董鸿志, 许俊华. C含量对TiWCN复合膜微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2014, 50(11): 1350-1356. [9] 王振生,张孟恩,杨双双,郭建亭,周兰章,陈志钢. NiAl－2.5Ta－7.5Cr－1B合金的微观组织、力学性能与摩擦磨损特性[J]. 金属学报, 2013, 49(11): 1325-1332. [10] 魏祥飞,张平则,魏东博,陈小虎,王琼,王若男. γ－TiAl合金表面Cr－W共渗合金层的摩擦磨损性能研究[J]. 金属学报, 2013, 49(11): 1406-1410. [11] 许俊华 鞠洪博 喻利花. Mo含量对TiMoN薄膜微观组织和摩擦磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2012, 48(9): 1132-1138. [12] 许俊华, 曹峻, 喻利花. TiVCN复合膜的微结构、力学性能与摩擦磨损性能研究[J]. 金属学报, 2012, 48(5): 555-560. [13] 喻利花, 马冰洋, 许俊华. C含量对ZrCN薄膜结构和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2012, 48(4): 469-474. [14] 黄彩云 谌祺 柳林. 无Ni型锆基块体非晶合金在生物模拟体液中的摩擦磨损性能[J]. 金属学报, 2010, 46(6): 681-686. [15] 王振生 郭建亭 周兰章 盛立远 胡壮麒. NiAl--Cr(Mo)--Ho--Hf共晶合金的高温磨损特性[J]. 金属学报, 2009, 45(3): 297-301. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed