钢表面化学气相沉积TiC晶体的择优取向

金属学报

1992, Vol. 28

Issue (7): 85-89

论文

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钢表面化学气相沉积TiC晶体的择优取向

郭成言;後藤孝;平井敏雄

吉林工学院材料工程系;长春130012;日本东北大学;日本东北大学

PREFERRED ORIENTATION OF DEPOSITED TiC COATING ON STEEL BY CVD

GUO Chengyan (Jilin Institute of Technology; Changchun); GOTO Takashi; HIRAI Toshio (Tohoku University; Japan)

引用本文:

郭成言;後藤孝;平井敏雄. 钢表面化学气相沉积TiC晶体的择优取向[J]. 金属学报, 1992, 28(7): 85-89.
, , . PREFERRED ORIENTATION OF DEPOSITED TiC COATING ON STEEL BY CVD[J]. Acta Metall Sin, 1992, 28(7): 85-89.

全文: PDF(1100 KB)

摘要: 本文用化学气相沉积(CVD)法,以TiCl_4-CH_4-H_2为原料气体,在不锈钢表面获得了致密的TiC膜.研究了TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向与沉积条什的关系.结果表明,沉积温度T_(dep),碳钛比CH_4/TiCl_4强烈地影响了TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向.CH_4/TiCl_4低时,TiC晶体的择优取向为(220):而CH_4/TiCl_4高时,TiC晶体的择优取向为(200).TiC晶体的择优取向主要取决于气氛中活性碳的平衡浓度。

关键词 ：择优取向, 成膜速度, 表面形貌, 活性碳的平衡浓度

Abstract：Investigation was made of the deposition rate, surface morphology and crystal preferred orientation of the dense TiC coating onto austenitic stainless steel in relation with CH_4/TiCl_4 mole ratio and temperature adopted in CVD processing. When the CH_4/TiCl_4 ratio is low or high, their preferred orientation may be (220) or (200), respectively, which is mainly dependent on the equilibrium concentration of active carbon in vapour phase.

Key words： TiC coating preferred orientation deposition rate surface morphology

收稿日期: 1992-07-18

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