金属学报  1990, Vol. 26 Issue (4): 139-143

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Cu/a—C:H双层膜的网络分形及Cu膜退炎缩聚

张人佶;王望弟;何大韧

清华大学机械系;北京100084;西北大学;西北大学

NETWORK FRACTAL AND ANNEALING-INDUCED AGGREGATION OF Cu/a-C:H BILAYER FILMS

ZHANG Renji;WANG Wangdi;HE Daren Tsinghua University Northwest University; Xi'an Department of Mechanical Engineering;Tsinghua University;Beijing 100084

张人佶;王望弟;何大韧. Cu/a—C:H双层膜的网络分形及Cu膜退炎缩聚[J]. 金属学报, 1990, 26(4): 139-143.
, , . NETWORK FRACTAL AND ANNEALING-INDUCED AGGREGATION OF Cu/a-C:H BILAYER FILMS[J]. Acta Metall Sin, 1990, 26(4): 139-143.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(902 KB)   摘要: 远离平衡生长的Cu/a-C∶H双层膜具有网络分形的结构。在本实验条件下,测量出它的分维数D_f≈1.83。在TEM中对该双层膜进行缓慢加热的原位动态观察,发现原有的网络结构在535℃时完全遭到破坏,同时随着Cu膜的退火缩聚,逐渐出现随机分布的缩聚区,此区的分维值随着退火温度的上升而下降,最后在850℃时变为D_f=1.63。利用金属原子的表面与界面扩散模型,可以解释这种结构特征的变化。 关键词 ： Cu膜,  分形,  退火缩聚     Abstract：The Cu/a--C:H blayer films, grown far from the equilibrium, havethe network fractal structure. Their fractal dimension value D_f=1 .83. An in situdynamic observation of these films under TEM with slowly heating revealed that theinitial network fractal structure was damaged gradually and broken down completelyat 535℃. And as the annealing-induced aggregation developed, the random spreadaggregated gradually, the fractal dimension of the new structure decreased with theincreasing of annealing temperature. Finally, the D_f=1.63 at 850℃. Based on thesurface and interface diffusion model of the metallic atoms, the variation of thestructural character could be explained. Key words： Cu film    fractal    annealing-induced aggregation 收稿日期: 1990-04-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张人佶 王望弟 何大韧 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1990/V26/I4/139 1 吴鹏,于明湘,刘买利,何大韧.应用激光,1988;8:200 2 Witten T A Jr., Sander L M. Phys Rev Lett, 1981; 47: 1400 3 Messier R. J Vac Sci Technol, 1986; A4: 490 4 Morchan B A, Demchishin A V. Phys Met Metallogr (USSR), 1969; 28: 83 5 Messier R, Yehoda J E. J Appl Phys, 1985; 58: 3739 6 张人佶,褚圣麟,吴自勤.物理学报,1986;35:365D [1] 杨杜, 白琴, 胡悦, 张勇, 李志军, 蒋力, 夏爽, 周邦新. GH3535合金中晶界特征对碲致脆性开裂影响的分形分析[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 248-256. [2] 曹江海, 侯自兵, 郭中傲, 郭东伟, 唐萍. 过热度对轴承钢凝固组织整体形貌特征及渗透率的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 586-594. [3] 侯自兵,曹江海,常毅,王伟,陈晗. 基于分形维数的模具钢电渣重熔铸坯碳偏析形貌特征研究[J]. 金属学报, 2017, 53(7): 769-777. [4] 刘政,徐丽娜,余昭福,陈杨政. 电磁场作用下半固态A356-La铝合金初生相形貌及分形维数的研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(6): 698-706. [5] 刘政,张嘉艺,罗浩林,邓可月. 混沌对流下的半固态A356铝合金初生相形貌演变研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(2): 177-183. [6] 黎业生 汪伟. 纳米压痕法测量Cu膜的硬度和弹性模量[J]. 金属学报, 2010, 46(9): 1098-1102. [7] 吴小军 程文 乔生儒 邹武 张鹏 张晓虎. 树脂浸渍炭化过程中C/C复合材料孔隙演化[J]. 金属学报, 2009, 45(11): 1402-1408. [8] 赵达文 李金富. 相场法模拟动力学各向异性对过冷熔体中晶体生长的影响[J]. 金属学报, 2009, 45(10): 1237-1241. [9] 雷洪; 赫冀成 . 连铸结晶器内簇状夹杂物分形生长的Monte--Carlo模拟[J]. 金属学报, 2008, 44(6): 698-702 . [10] 杨吉军; 徐可为 . 磁控溅射Cu膜表面演化的多尺度行为[J]. 金属学报, 2007, 43(9): 903-906 . [11] 杨吉军; 马飞; 徐可为 . 多晶柱状Cu膜的表面粗化与织构[J]. 金属学报, 2006, 42(12): 1233-1237 . [12] 丁国华; 祖方遒; 余谨; 席赟; 张燕 . 温度诱导液态In-80%Sn合金结构非连续变化的分形分析[J]. 金属学报, 2006, 42(12): 1259-1261 . [13] 周耐根; 周浪; 宋固全; 宋照东 . 等轴应变作用下Cu, Al薄膜的取向择优生长[J]. 金属学报, 2005, 41(8): 809-813 . [14] 覃; 明; 嵇宁; 李家宝; 马素媛; 陈昌荣; 宋忠孝; 何家文 . Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系[J]. 金属学报, 2004, 40(7): 716-720 . [15] 王守琰; 宋诗哲 . 基于分形的金属材料海水腐蚀形貌图像分析诊断系统[J]. 金属学报, 2004, 40(1): 94-98 . Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed