溅射参量对SiC涂层Ti--6Al--4V显微组织的影响

金属学报

2004, Vol. 40

Issue (4): 359-362

论文

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溅射参量对SiC涂层Ti--6Al--4V显微组织的影响

王玉敏符跃春石南林张德志杨锐

中国科学院金属研究所; 沈阳 110016

EFFECTS OF SPUTTERING PARAMETER ON THE MICROSTRUCTURE OF Ti--6Al--4V COATING ON SiC FIBRE

WANG Yumin; FU Yuechun; SHI Nanlin; ZHANG Dezhi; YANG Rui

Institute of Metal Research; The Chinese Academy of Sciences; Shenyang 110016

引用本文:

王玉敏; 符跃春; 石南林; 张德志; 杨锐 . 溅射参量对SiC涂层Ti--6Al--4V显微组织的影响[J]. 金属学报, 2004, 40(4): 359-362 .
, , , , . EFFECTS OF SPUTTERING PARAMETER ON THE MICROSTRUCTURE OF Ti--6Al--4V COATING ON SiC FIBRE[J]. Acta Metall Sin, 2004, 40(4): 359-362 .

全文: PDF(241 KB)

摘要: 利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积Ti--6Al--4V涂层制备成先驱丝. 在功率密度一定时, 沉积速率和工作气压有关. 环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大. 涂层成分接近Ti--6Al--4V, 沿涂层厚度方向成分分布均匀. 涂层中柱晶晶粒尺寸为20---50 nm, 为α--Ti固溶体.

关键词 ：钛基复合材料, 磁控溅射, SiC纤维

Abstract：The effects of sputtering parameters on the microstructure of Ti--6Al--4V coating on SiC(f) prepared by magnetron sputtering were studied. The results show that the deposition rate is related to the working pressure at a given power density. The morphology of the deposited layer and its binding with the fibre are dependent on temperature. The composition of the coat is close to Ti--6Al--4V, and is uniform throughout the thickness of the coat. The deposited layer consists of crystallites with nonequilibrium hcp structure with grain size of 20---50 nm. The interface between SiC fibre and Ti--6Al--4V coating was investigated by scanning electron microcopy and energy dispersive X--ray spectroscopy. The examination reveals no chemical reaction at the fibre--coat interface which is in nature a sharp interface formed by bonding of the two substances.

Key words： titanium matrix composite magnetron sputtering SiC fibre

收稿日期: 2003-02-24

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TG146.2

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