金属学报  2004, Vol. 40 Issue (10): 1064-

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大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算

郭慧梅 林国强 盛明裕 王德真 董 闯 闻立时

大连理工大学三束材料改性国家重点实验室; 大连 116024

Analysis and Calculation of Forces on Macroparticles in Plasma Sheath

GUO Huimei; LIN Guoqiang; SHENG Mingyu; WANG Dezhen; DONG Chuang;WEN Lishi

State Key Laboratory for Materials Modification by Laser; Ion and Electron beams; Dalian University of Technology; Dalian 116024

郭慧梅; 林国强; 盛明裕; 王德真; 董闯; 闻立时 . 大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算[J]. 金属学报, 2004, 40(10): 1064-.
, , , , , . Analysis and Calculation of Forces on Macroparticles in Plasma Sheath[J]. Acta Metall Sin, 2004, 40(10): 1064-.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(57891 KB)   摘要: 用Edelberg 和Aydil的等离子体鞘层模型, 对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析和计算, 为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象和物理模型提供佐证。 关键词 ： 大颗粒,  电弧离子镀,  脉冲偏压     Abstract：Applying the plasma sheath models given by Edlberg and Aydil, the charging effect and forces acting on macroparticles are analyzed and calculated in pulsed-bias arc ion plating, which gives an evidence to the experimental phenomenon and physical model in which macroparticles would be repulsed from electric force and hence are significantly reduced. Key words： macroparticle    arc ion plating    pulsed bias 收稿日期: 2003-11-13      ZTFLH:  TB43   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 郭慧梅 林国强 盛明裕 王德真 董闯 闻立时 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y2004/V40/I10/1064 [1] Olbrich W, Kampschulte G. Surf Coat Technol, 1993; 59:274 [2] Olbrich W, Fessmann J, Kampschulte G, Ebberink J. SurfCoat Technol, 1991; 49: 258 [3] Li Z Y, Zhu W B, Zhang Y, Li G Y, Cao E Y. Surf CoatTechnol, 2000; 131: 158 [4] Zeng P, Hu S J, Xie G R, Huang N C, Wu Q B. TransMater Neat Treat, 2001; 22: 62(曾鹏,胡社军,谢光荣,黄那灿,吴起白.材料热处理学报,2001;22:62) [5] Huang M D, Lin G Q, Dong C, Sun C, Wen L S. Ada Metall Sin, 2003; 39: 510(黄美东,林国强,董闯,孙超,闻立时.金属学报,2003;39:510) [6] Huang M D, Lin G Q, Zhao Y H, Dong C, Wen L S. SurfCoat Technol, 2003; 176: 109 [7] Edelberg A, Aydil E S. J Appl Phys, 1999; 86: 479 [8] Hou L J, Wang Y N. Ada Phys Sin, 2003; 52: 434(侯璐景,王友年.物理学报,2003;52:434) [9] Huang M D. PhD Thesis. Dalian University of Technology, 2002(黄美东.大连理工大学博士学位论文.大连理工大学,2002) [10] Nitter T. Plasma Sources Sci Technol, 1996; 5: 93 [11] Nitter T, Aslaksen T K, Melands F, Havnes O. IEEE Trans Plasma Sci, 1994; 22(2) : 159" [1] 刘冠熙, 黄光宏, 罗学昆, 申造宇, 何利民, 李建平, 牟仁德. 表面喷丸处理对NiCrAlYSi涂层恒温氧化行为的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 684-692. [2] 彭新, 姜肃猛, 孙旭东, 宫骏, 孙超. 梯度NiCoCrAlYSi涂层的循环氧化及热腐蚀行为*[J]. 金属学报, 2016, 52(5): 625-631. [3] 韩克昌,刘一奇,林国强,董闯,邰凯平,姜辛. 宽固溶区过渡金属氮化物MNx (M=Ti, Zr, Hf)硬质薄膜原子尺度强化机制研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(12): 1601-1609. [4] 吴多利, 姜肃猛, 范其香, 宫骏, 孙超. 镍基高温合金Al-Cr涂层的恒温氧化行为*[J]. 金属学报, 2014, 50(10): 1170-1178. [5] 于大千,卢旭阳,马军,姜肃猛,刘山川,宫骏,孙超. 梯度NiCrAlY涂层的1000和1100 ℃氧化行为研究[J]. 金属学报, 2012, 48(6): 759-768. [6] 常正凯, 肖金泉, 陈育秋, 刘山川, 宫骏, 孙超. 电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究[J]. 金属学报, 2012, 48(5): 547-554. [7] 卢旭阳, 于大千, 姜肃猛, 刘山川,宫骏, 孙超. (NiCoCrAlYSiB+AlSiY)复合涂层热腐蚀行为的研究[J]. 金属学报, 2012, 48(4): 461-468. [8] 时婧 裴志亮 宫骏 孙超 MUDERS C M 姜辛. Si含量对电弧离子镀Ti-Al-Si-N薄膜组织结构和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2012, 48(11): 1349-1356. [9] 王维新 姜肃猛 卫广智 马军 宫骏 孙超. NiCoCrAlYSiB+AlSiY梯度涂层恒温氧化行为[J]. 金属学报, 2011, 47(5): 578-586. [10] 肖金泉 郎文昌 赵彦辉 宫骏 孙超 闻立时. 轴对称磁场对电弧离子镀TiN薄膜结构及摩擦性能的影响[J]. 金属学报, 2011, 47(5): 566-572. [11] 董瑜亮 闫旭波 赵升升 宫骏 孙超. (Ti, Al)N/Ti2AlN涂层的制备[J]. 金属学报, 2010, 46(6): 743-747. [12] 万先松 师玉英 马军 李海庆 宫骏 孙超. 电弧离子镀CrN涂层盐雾腐蚀行为[J]. 金属学报, 2010, 46(5): 600-606. [13] 郎文昌 肖金泉 宫骏 孙超 黄荣芳 闻立时. 轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响[J]. 金属学报, 2010, 46(3): 372-379. [14] 吴博 李红凯 林国强 付宇 候明 衣宝廉. 不锈钢双极板电弧离子镀Cr1-xNx薄膜改性研究[J]. 金属学报, 2009, 45(9): 1125-1129. [15] 徐朝政 姜肃猛 马军 宫骏 孙超. 两种电弧离子镀Ni-Co-Cr-Al-Si-Y涂层的高温氧化行为[J]. 金属学报, 2009, 45(8): 964-970. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed