金属学报  2003, Vol. 39 Issue (10): 1051-1054

论文 本期目录 | 过刊浏览 |

反应磁控溅射MgO薄膜溅射模式的分形维表征

汪渊; 徐可为

西安交能大学金属材料强度国家重点实验室; 西安 710049

汪渊; 徐可为 . 反应磁控溅射MgO薄膜溅射模式的分形维表征[J]. 金属学报, 2003, 39(10): 1051-1054 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(206 KB)   摘要: 用反应磁控溅射的方法制备了MgO薄膜. 基于原子力显微镜观测, 并借助Fourier变换, 计算了薄膜表面形貌的分形维数. 发现分形维数变化对应于薄膜溅射模式的变化, 二者之间有相关性. 氧分压30%的分形维数是一个临界点. 分形维数若发生明显跌落, 意味着溅射模式发生变化. 界于临界值两侧的分形维数, 分别对应两种截然不同的溅射模式. 与临界值对应的溅射状态则处于金属模式和氧化物模式的混和状态. 关键词 ： 反应溅射,  MgO薄膜,  分形维,  溅射模式     Key words： 收稿日期: 2002-11-28      ZTFLH:  O484   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 汪渊 徐可为 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2003/V39/I10/1051 [1] Wang J S, Ye G X, Xu Y Q, Zhang Q R. Acta Phys Sin,1994;, 43(10) : 1688(王劲松,叶高翔,许宇庆,张其瑞.物理学报,1994;43(10) :1688) [2] McRae G A, Maguire M A, Jeffrey C A, Guzonas D A,Brown C A. Appl Surf Sci, 2002; 191: 94 [3] Wu F, Zhang S Y, Chen Z W, Tan S, Li F Q. J ChinElectro Microsc Soc, 1997; 16(4) : 457(吴 峰,张庶元,陈志文,谭舜,李凡庆.电子显微学报,1997;16(4) :457) [4] Jong C A, Chin T S. Mater Chem Phy, 2002; 74: 201 [5] Wang J H, Lu X C, Qian L M, Shi B, Wen S Z. Tribology,1998; 18(1) : 60(王吉会,路新春,钱林茂,史兵,温诗铸.摩擦学学报,1998;18(1) :60) [6] Nowicki B. Wear, 1985; 102: 161 [7] Wan X J. J Hunan Urbane Construction College, 2000;9(4) : 4(万小军.湖南城建高等专科学校学报,2000;9(4) :4) [8] Sun X, Wu Z Q. Acta Phys Sin, 2001; 50(11) : 2127(孙霞,吴自勤.物理学报,2001;50(11) :2127) [9] Russ J. Fractal Surfaces. New York and London: PlenumPress, 1994: 30 [10] Mandelbrot B B. The Fractal Geometry of Nature. SanFrancisco: Freemen Press, 1982: 5 [11] Liu Y J. PhD Dissertation, South China University ofTechnology, Guangzhou, 2002(刘亚俊.华南理工大学博士论文,广州, 2002) [12] Paul M. Fractal, Scaling and Growth Far from Equilibrium. London: Cambridge University Press, 1998: 80 [13] Cao G S, Zhu Y F, Zhou B C, Ji Z G, Zhao X B. Chinese Journal of Stereology and Image Analysis, 1999; 4(2) : 92(曹高劭,朱云峰,周邦昌,季振国,赵新兵.中国体视学与图像分析, 1999;4(2) :92) [14] Song Q, Zhu G X, Zhu Y T, Lin H T, Li J M. J Data Acquisition & Processing, 1996; 11(2) : 103(宋琪,朱光喜,朱耀庭,林汗同,李建明.数据采集与处理,1996;11(2) :103) [15] Wang W J, Wu Z T, Chen L X, Cao L X. Mech Sci Tech-nol, 1997; 16(6) : 1059(汪慰军,吴昭同,陈历喜,曹麟祥.机械科学与技术, 1997;16(6) :1059) [16] Sarkar N, Chaudhuri B B. IEEE Trans System Man andCyberbetics, 1994; 24: 115 [17] Almqvist N. Surf Sci, 1996; 355: 221 [18] Qian Z X. Plasma Technology of Solid State Electronics,Beijing: Publishing House of Electronics Industry, 1987:120(钱振型.固体电子学中的等离子体技术,北京:北京电子工业出版社,1987:120) [19] Zhu S L, Wang F H, Wu W. J Chin Electro Microsc Soc,1997; 16(4) : 547(朱圣龙,王福会,吴维(?).电子显微学报,1997;16(4) :547) [20] Matsuda Y, Otomo K, Fujiyama H. Thin Solid Films, 2001; 390: 59| [1] 杨杜, 白琴, 胡悦, 张勇, 李志军, 蒋力, 夏爽, 周邦新. GH3535合金中晶界特征对碲致脆性开裂影响的分形分析[J]. 金属学报, 2023, 59(2): 248-256. [2] 曹江海, 侯自兵, 郭中傲, 郭东伟, 唐萍. 过热度对轴承钢凝固组织整体形貌特征及渗透率的影响[J]. 金属学报, 2021, 57(5): 586-594. [3] 侯自兵,曹江海,常毅,王伟,陈晗. 基于分形维数的模具钢电渣重熔铸坯碳偏析形貌特征研究[J]. 金属学报, 2017, 53(7): 769-777. [4] 刘政,张嘉艺,罗浩林,邓可月. 混沌对流下的半固态A356铝合金初生相形貌演变研究*[J]. 金属学报, 2016, 52(2): 177-183. [5] 王彬,熊良银,刘实. 射频反应溅射制备MgO二次电子发射薄膜*[J]. 金属学报, 2016, 52(1): 10-16. [6] 李铸国 三宅正司. 反应磁控溅射法高速低温沉积锐钛矿相TiO2薄膜的结构与光学性能[J]. 金属学报, 2010, 46(1): 13-18. [7] 吴小军 程文 乔生儒 邹武 张鹏 张晓虎. 树脂浸渍炭化过程中C/C复合材料孔隙演化[J]. 金属学报, 2009, 45(11): 1402-1408. [8] 白海力; 姜恩永; 吴萍; 王怡; 王存达 . 对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究[J]. 金属学报, 1999, 35(7): 762-766 . [9] 肖林;顾海澄. Zr及Zr-4合金的循环耗散能、分形维数与疲劳寿命的关系[J]. 金属学报, 1998, 34(7): 705-712. [10] 刘宁;赵兴中;江来珠;罗会国;胡镇华;崔崑. Ni粘结的Ti(C,N)金属陶瓷的横向断裂强度与断口的分形分析[J]. 金属学报, 1995, 31(5): 229-235. [11] 李学良;林建新. 易切削钢冲击断口分维的随机分形分析[J]. 金属学报, 1994, 30(8): 380-384. [12] 类维生;陈丙森. 分形用于金属断裂研究的力学量选择问题[J]. 金属学报, 1994, 30(6): 269-273. [13] 孙力玲;董连科;张静华;胡壮麒. 镍基高温合金定向凝固过程中MC型碳化物的分形分析[J]. 金属学报, 1993, 29(9): 6-10. [14] 孙力玲;董连科;张济山;唐亚俊;张静华;胡壮麒. 高温合金定向凝固行为的分形分析[J]. 金属学报, 1993, 29(3): 19-24. [15] 仪建章;阳志安;朱世杰;王中光. 34CrMoA转子钢高温循环蠕变断口分形维数与蠕变性能的关系[J]. 金属学报, 1992, 28(12): 18-22. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed